P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch

Hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit

P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch

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Ansprechverhalten eines P-752.11C bei Rechteckansteuerung mit 3-nm-Amplitude. Sub-nm Auflösung, Stabilität und bidirektionale Wiederholbarkeit sind deutlich zu sehen. Controller: E-501.00, E 503.00, E-509.C1; Servoregeleinstellung: 240 Hz Bandbreite.

Auflösung 0,1 nm
Schnelles Ansprechverhalten
Stellweg bis 35 µm
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Reibungsfreie Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Scanning-Mikroskopie
Messtechnik
Prüfverfahren und Qualitätssicherung
Photonik
Faserpositionierung

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

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Datenblatt

Datenblatt P-752

Version / Datum

2018-04-16

Version / Datum

2018-04-13

Version / Datum

2018-06-08

Version / Datum

2018-06-08

Dokumentsprache

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	P-752.11C	P-752.1CD	P-752.21C	P-752.2CD	Einheiten	Toleranz
Aktive Achsen	X	X	X	X
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	Kapazitiv	Kapazitiv	Kapazitiv	Kapazitiv
Stellweg bei -20 bis +120V, ungeregelt	20	20	35	35	µm	+20 % / -0 %
Stellweg, geregelt	15	15	30	30	µm
Auflösung, ungeregelt / geregelt	0,1	0,1	0,2	0,2	nm	typ.
Linearitätsabweichung, geregelt	0,03	0,03	0,03	0,03	%	typ.
Wiederholgenauigkeit	±1	±1	±2	±2	nm	typ.
Neigen / Gieren	±1	±1	±1	±1	µrad	typ.
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit in Stellrichtung	30	30	20	20	N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz unbelastet	3200	3200	2100	2100	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet, 300 g	980	980	600	600	Hz	±20 %
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung	100 / 10	100 / 10	100 / 10	100 / 10	N	max.
Belastbarkeit	30	30	30	30	N	max.
Antriebseigenschaften
Keramiktyp	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-885
Elektrische Kapazität	2,1	2,1	3,7	3,7	µF	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material	Stahl	Stahl	Stahl	Stahl
Abmessungen	66 mm × 40 mm × 13,5 mm	66 mm × 40 mm × 13,5 mm	84 mm × 40 mm × 13,5 mm	84 mm × 40 mm × 13,5 mm
Masse	0,25	0,25	0,35	0,35	kg	±5 %
Kabellänge	1,5	1,5	1,5	1,5	m	±10 mm
Sensor- / Spannungsanschluss	LEMO	D-Sub 7W2 (m)	LEMO	D-Sub 7W2 (m)
Empfohlene Elektroniken	E-505, E-610, E-625, E-665, E-754	E-505, E-610, E-625, E-665, E-754	E-505, E-610, E-625, E-665, E-754	E-505, E-610, E-625, E-665, E-754

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum

2021-04-19

Dokumentsprache Englisch

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Datenblatt

Datenblatt P-752

Version / Datum

2018-04-16

Version / Datum

2018-04-13

Version / Datum

2018-06-08

Version / Datum

2018-06-08

Dokumentsprache

pdf - 884 KB

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Dokumentation

User Manual P752T0002

P-752 High Precision Nanopositioning Stage

Version / Datum

2018-06-27

Dokumentsprache Englisch

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Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Dokumentsprache

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3-D-Modelle

P-752 3D-Modell

Version / Datum

2017-10-12

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Zu Angebot / Bestellung

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P-752.11C

Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

Verfügbar im PI Store

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P-752.1CD

Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

Verfügbar im PI Store

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P-752.21C

Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 30 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

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P-752.2CD