P-752.11C
Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch
Hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit
- Auflösung 0,1 nm
- Schnelles Ansprechverhalten
- Stellweg bis 35 µm
- Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
- Reibungsfreie Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
P-752.2xx, Abmessungen in mm
P-752.1xx, Abmessungen in mm
Ansprechverhalten eines P-752.11C bei Rechteckansteuerung mit 3-nm-Amplitude. Sub-nm Auflösung, Stabilität und bidirektionale Wiederholbarkeit sind deutlich zu sehen. Controller: E-501.00, E 503.00, E-509.C1; Servoregeleinstellung: 240 Hz Bandbreite.
P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch
Produktbeschreibung
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Einsatzgebiete
- Scanning-Mikroskopie
- Messtechnik
- Prüfverfahren und Qualitätssicherung
- Photonik
- Faserpositionierung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Spezifikationen
Spezifikationen
P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Einheiten | Toleranz | |
|---|---|---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X | X | X | X | ||
Bewegung und Positionieren | ||||||
Integrierter Sensor | Kapazitiv | Kapazitiv | Kapazitiv | Kapazitiv | ||
Stellweg bei -20 bis +120V, ungeregelt | 20 | 20 | 35 | 35 | µm | +20 % / -0 % |
Stellweg, geregelt | 15 | 15 | 30 | 30 | µm | |
Auflösung, ungeregelt / geregelt | 0,1 | 0,1 | 0,2 | 0,2 | nm | typ. |
Linearitätsabweichung, geregelt | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | % | typ. |
Wiederholgenauigkeit | ±1 | ±1 | ±2 | ±2 | nm | typ. |
Neigen / Gieren | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | µrad | typ. |
Mechanische Eigenschaften | ||||||
Steifigkeit in Stellrichtung | 30 | 30 | 20 | 20 | N/µm | ±20 % |
Resonanzfrequenz unbelastet | 3200 | 3200 | 2100 | 2100 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz belastet, 300 g | 980 | 980 | 600 | 600 | Hz | ±20 % |
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung | 100 / 10 | 100 / 10 | 100 / 10 | 100 / 10 | N | max. |
Belastbarkeit | 30 | 30 | 30 | 30 | N | max. |
Antriebseigenschaften | ||||||
Keramiktyp | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | ||
Elektrische Kapazität | 2,1 | 2,1 | 3,7 | 3,7 | µF | ±20 % |
Anschlüsse und Umgebung | ||||||
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 | -20 bis 80 | -20 bis 80 | -20 bis 80 | °C | |
Material | Stahl | Stahl | Stahl | Stahl | ||
Abmessungen | 66 mm × 40 mm × 13,5 mm | 66 mm × 40 mm × 13,5 mm | 84 mm × 40 mm × 13,5 mm | 84 mm × 40 mm × 13,5 mm | ||
Masse | 0,25 | 0,25 | 0,35 | 0,35 | kg | ±5 % |
Kabellänge | 1,5 | 1,5 | 1,5 | 1,5 | m | ±10 mm |
Sensor- / Spannungsanschluss | LEMO | D-Sub 7W2 (m) | LEMO | D-Sub 7W2 (m) | ||
Empfohlene Elektroniken | E-505, E-610, E-625, E-665, E-754 | E-505, E-610, E-625, E-665, E-754 | E-505, E-610, E-625, E-665, E-754 | E-505, E-610, E-625, E-665, E-754 |
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-752 3D-Modell
Version / Datum
2017-10-12
zip - 213 KB
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P-752.1CD
Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
P-752.21C
Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 30 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
P-752.2CD
Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 30 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
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