RS-40 V7 Vakuumgeeigneter kompakter Rotationstisch
Präzise Positionierung
- Vakuumgeeignet bis zu 10-7 hPa
- Unbegrenzter Stellbereich
- Wiederholgenauigkeit bis 87 µrad
- 20 mm Ø Apertur
- Referenzschalter
Rotationstisch der Standardklasse
Schneckenantrieb. Apertur mit 20 mm Ø. Referenzschalter.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung
Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden.
Höhere Güte für Anwendungen im Hochvakuum
Hier werden spezielle hochvakuumgeeignete Komponenten eingesetzt, wie Motor, Messsystem und Endschalter. Zusätzlich ist die Oberfläche aus blankem Aluminium, Spindeln und Führungen sind aus Edelstahl. Dadurch wird die PI Vakuumklasse V7 erreicht, d. h. bis zu 10-7 hPa .
Antrieb
Schrittmotor mit Getriebe.
Einsatzgebiete
Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen und Positionieren | 3216V21000 | Einheit | Toleranz |
---|---|---|---|
Aktive Achsen | θZ | ||
Rotationsbereich | >360 | ° | |
Taumeln | ±35 | µrad | typ. |
Ebenheit | ±5 | µm | typ. |
Exzentrizität | ±5 | µm | typ. |
Winkelgeschwindigkeit | 20 | °/s | max. |
Integrierter Sensor | – | ||
Rechnerische Auflösung | 349 | µrad | |
Kleinste Schrittweite | 87 | µrad | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit | 87 | µrad | typ. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit | ±700 | µrad | typ. |
Referenzschalter | Hall-Effekt, Öffner, 3,8V bis 24V, NPN |
Mechanische Eigenschaften | 3216V21000 | Einheit | Toleranz |
---|---|---|---|
Lager | Kugellager | ||
Schneckengetriebe-Untersetzung | 90:1 | ||
Belastbarkeit / Axialkraft | 20 | N | max. |
Zulässige Querkraft | 5 | N | max. |
Haltemoment in θZ, unbestromt | 0,2 | Nm | typ. |
Zulässiges Drehmoment MX in θX | 2 | Nm | max. |
Zulässiges Drehmoment MY in θY | 2 | Nm | max. |
Zulässiges Drehmoment MZ in θZ | 0,2 | Nm | max. |
Trägheitsmoment | 15 | kg·mm² | ±20 % |
Anschlüsse und Umgebung | 3216V21000 | Einheit | Toleranz |
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Betriebstemperaturbereich | 5 bis 40 | °C | |
Material | Aluminium, Edelstahl, Rotguss | ||
Masse | 0,4 | kg | ±5 % |
Bewegte Masse | 0,088 | kg | ±5 % |
Fixkabel*, vakuumseitig: Kabellänge | 2 | m | |
Anschluss | D-Sub 15 (f) | ||
Empfohlene Controller / Treiber | C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller |
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Datenblatt
Dokumentation
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