Hubtisch der Präzisionsklasse
Hohe Führungsgenauigkeit und Steifigkeit durch Kugelumlaufspindel und Kreuzrollenführungen. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität. 2-Phasen-Schrittmotor für hohes Drehmoment auch bei kleinen Geschwindigkeiten und hohe Auflösung. Kontaktlose End- und Referenzschalter (Hall-Effekt). Referenzschalter mit Richtungserkennung in der Mitte des Stellwegs. Integrierter Linearencoder, zentrisch montiert.
Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder
Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung
Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.
Einsatzgebiete
Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.
| Bewegen | L-310.021211V6 | Toleranz |
|---|---|---|
| Aktive Achsen | Z | |
| Stellweg in Z | 26 mm | |
| Maximale Geschwindigkeit in Z, unbelastet | 7,5 mm/s | |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in X bei Bewegung in Z) | ± 3 µm | typ. |
| Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in Z) | ± 3 µm | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z) | ± 150 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z) | ± 150 µrad | typ. |
| Positionieren | L-310.021211V6 | Toleranz |
| Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | 0,1 µm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 0,2 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in Z | 0,05 µm | typ. |
| Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | |
| Sensorsignalperiode | 20 µm | |
| Referenzschalter | Hall-Effekt, Öffner, 5 V, NPN | |
| Wiederholgenauigkeit des Referenzschalters | 2 µm | |
| Endschalter | Hall-Effekt, Öffner, 5 V, NPN | |
| Antriebseigenschaften | L-310.021211V6 | Toleranz |
| Antriebstyp | 2-Phasen-Schrittmotor | |
| Motorauflösung | 200 Vollschritte/U | |
| Nennspannung | 24 V | |
| Spitzenspannung | 48 V | |
| Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in Z | 55 N | typ. |
| Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in Z | 55 N | typ. |
| Mechanische Eigenschaften | L-310.021211V6 | Toleranz |
| Führung | Kreuzrollenführung | |
| Spindeltyp | Kugelumlaufspindel | |
| Spindelsteigung | 1 mm | |
| Haltekraft in Z, passiv | 50 N | |
| Bewegte Masse in Z, unbelastet | 900 g | |
| Zulässige Druckkraft in X | 100 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 50 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 55 N | max. |
| Zulässiges Moment in θX | 40 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θY | 80 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θZ | 80 N·m | max. |
| Gesamtmasse | 2600 g | |
| Material | Aluminium eloxiert | |
| Anschlüsse und Umgebung | L-310.021211V6 | Toleranz |
| Anschluss | HD D-Sub 26-polig (m) | |
| Sensoranschluss | D-Sub 9-polig (m) | |
| Vakuumklasse | 10⁻⁶ hPa | |
| Empfohlene Controller / Treiber | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 Modularer ACS Controller | |
| Betriebstemperaturbereich | 5 bis 40 °C |
L-310.021211V6
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Vakuumgeeigneter Präzisionshubtisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 26 mm Stellweg; 55 N Belastbarkeit; 7,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Die drehenden Elektromotoren, wie zum Beispiel DC- oder Schrittmotoren, werden in Verbindung mit Spindel- oder Schneckenantrieb eingesetzt.
