N-216.1A1
NEXLINE® Linearaktor; NEXLINE® Piezoschreitantrieb; 20 mm Stellweg; 300 N Vorschubkraft; inkrementeller Linearencoder; 2 m Kabellänge
N-216 NEXLINE® Linearaktor
Nanopositionierung über große Stellwege, mit hohen Kräften, PiezoWalk® Prinzip
- Stellkraft bis 600 N
- Haltekraft bis 800 N
- Stellweg 20 mm
- Direktmessender Linearencoder mit Auflösung 5 nm
Vergleich der Bewegungsarten eines NEXLINE® Aktors: Der Nanoschrittbetrieb bewirkt eine sehr gleichmäßige Bewegung, während der Vollschrittbetrieb eine höhere Geschwindigkeit erlaubt.
N-216, Abmessungen in mm
N-216 NEXLINE® Linearaktor
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Einsatzgebiete
- Industrielle Präzisionspositionierung
- Halbleitertechnik
- Halbleitertests
- Wafer-Inspektion
- Lithografie
- Nanoimprint
- Nanometrologie
- Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum
Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben
Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.
Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder
Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.
Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen
Piezomotoren von PI können vakuumtauglich gestaltet werden und sind für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Toleranz |
|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | |
| Stellweg in X | 20 mm | 20 mm | |
| Stellweg in X (Analogbetrieb) | ± 3 µm | ± 3 µm | |
| Geschwindigkeit (10 % Ansteuerung, Vollschrittbetrieb) | 1 mm/s | 1 mm/s | max. |
| Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Vollschrittbetrieb) | 0,6 mm/s | 0,6 mm/s | max. |
| Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Nanoschrittbetrieb) | 0,4 mm/s | 0,4 mm/s | max. |
| Positionieren | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Toleranz |
| Referenzschalter | Optisch, richtungserkennend (Referenzflankenspur), 5 V, TTL | Optisch, richtungserkennend (Referenzflankenspur), 5 V, TTL | |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,03 nm | 0,03 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | |
| Systemauflösung in X | 5 nm | 5 nm | |
| Antriebseigenschaften | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Toleranz |
| Antriebstyp | NEXLINE® Piezoschreitantrieb | NEXLINE® Piezoschreitantrieb | |
| Betriebsspannung | -250 bis +250 V | -250 bis +250 V | |
| Antriebskraft in X | 300 N | 600 N | max. |
| Mechanische Eigenschaften | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Toleranz |
| Haltekraft in X, passiv | 400 N | 800 N | min. |
| Gesamtmasse | 1150 g | 1250 g | |
| Material | Aluminium, Edelstahl | Aluminium, Edelstahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | N-216.1A1 | N-216.2A1 | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | 0 bis 55 °C | 0 bis 55 °C | |
| Anschluss | D-Sub 25-polig (m) | D-Sub 25-polig (m) | |
| Kabellänge | 2 m | 2 m | +50 / -0 mm |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-712.1AM | E-712.1AM |
Geschwindigkeit im Vollschrittbetrieb: Abhängig von der Steuerelektronik.
Geschwindigkeit im Nanoschritt-Betrieb: Abhängig von der Steuerelektronik. Die Maximalgeschwindigkeit im Nanoschritt-Betrieb ist auf größtmögliche Konstanz ausgelegt, so dass keine Geschwindigkeitsschwankungen beim Ausführen der Schritte auftreten.
Antriebskraft: Die Angaben beziehen sich auf die Bewegung im Vollschritt-Betrieb.
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Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch MP120
N-216 NEXLINE® Linearaktor
Version / Datum
1.1.0 2022-11-08
pdf - 2 MB
Version / Datum
1.1.0 2022-11-08
pdf - 2 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
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N-216.2A1
NEXLINE® Linearaktor; NEXLINE® Piezoschreitantrieb; 20 mm Stellweg; 600 N Vorschubkraft; inkrementeller Linearencoder; 2 m Kabellänge
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