Kreuztische

Für die Probenpositionierung in Mikroskopie oder industrieller Fertigung

Kreuztische dienen der Probenpositionierung oder dem Rasterscan in zwei Ebenen. Hauptsächliches Anwendungsgebiet ist die Topologiemessung. Mikroskoptische bewegen z. B. biologische Proben unter dem Objektiv. Dabei kommt es auf Präzision, Stabilität und Dynamik für hohe Durchsatzraten an. Dieselben Anforderungen ergeben sich auch für industrielle Messverfahren wie der Weißlichtinterferometrie, nur dass dort die Proben wesentlich größer und schwerer sein können (z. B. LCD-Bildschirme).