Anwendungen & Märkte

Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen Anwendungsbereichen obligatorisch. Halbleiterfertigung, Mikroskopie, Oberflächenmesstechnik, Biotechnologie, Medizintechnik und Automatisierungstechnik benötigen häufig Positioniersysteme mit Auflösungen und Wiederholgenauigkeiten im Nanometerbereich. Hinzu kommen Forderungen nach kurzer Ansprechzeit, vakuumgerechter Auslegung und Funktion in einem weiten Temperaturbereich.