Die Basis des Faserjustage-Systems ist ein XYZ-Aufbau aus drei motorisierten Linearverstellern der M-111 Reihe für die Grobverstellung und einem P-611 NanoCube® Nanopositionierer. Die motorisierten Antriebe ermöglichen längere Stellwege, gleichzeitig sorgt der NanoCube® Nanopositionierer für schnelle Scanning-Bewegungen und präzise Positionierung. Festkörperführungen und vollkeramisch isolierte PICMA® Aktoren garantieren eine lange Lebensdauer. Da alle Antriebe über Positionssensoren verfügen, können z. B. Kollisionen mit einem teuren Silizium-Wafer zuverlässig verhindert werden.
Für die Ansteuerung des P-611 NanoCube® Nanopositionierer ist die hochentwickelte Scan-Routine direkt im Controller integriert. Die Leistungsfähigkeit wird deutlich verbessert und die Integration erleichtert. Damit können alle Anwendungen, denen eine Analogsignal-Optimierung zu Grunde liegt, wie zum Beispiel im Bereich der Photonik, optimal bewältigt werden.
Das Faserjustage-System wird komplett mit den notwendigen Controllern C-884.4DC und E-727.AS, sowie mit einem umfangreichen Softwarepaket ausgeliefert, welches die grafische Bediensoftware PIMikroMove für die Inbetriebnahme und Bedienung sämtlicher PI Systeme enthält.
Programmier-Schnittstellen, die dem Anwender die Integration eines PI Controllers in seine eigenen Anwenderprogramme ermöglichen, sind ebenfalls in dem Softwarepaket enthalten. Die Ansteuerung des Positioniersystems wird so Teil des Anwenderprogramms. Schnittstellen stehen für alle gängigen Programmiersprachen einschließlich NI LabVIEW und MATLAB zur Verfügung.
Darüber hinaus besteht die Option, die Software C-990.FA1 zu erwerben. Sie bietet eine besonders komfortable Möglichkeit, das Scannen der Achsen einzurichten, die Scans durchzuführen und die Ergebnisse darzustellen.
Das optische Intensitätssignal wird den Controllern direkt über deren analoge Eingänge zur Verfügung gestellt. Der E-727.AS Controller, der den NanoCube® Nanopositionierer ansteuert, verfügt über einen extrem hochauflösenden und hochdynamischen Analogeingang. Das optische Signal kann dadurch besonders schnell und präzise erfasst und das Intensitätsmaximum automatisch gefunden werden.
Ausrichtung optischer Komponenten, Qualifizierung von optischen Bauteilen in der Siliziumphotonik
Bewegen und Positionieren | F-131.3SD1 | Einheit |
|---|---|---|
Anzahl aktiver Achsen | 6 | |
Grobpositionierung | ||
Aktive Achsen | X, Y, Z | |
Stellweg in X, Y, Z | 15, 15, 15 | mm |
Kleinste Schrittweite typ. | 0,05 | µm |
Rechnerische Auflösung | 0,0069 | µm |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit, typ. | 0,25 | µm |
Umkehrspiel X, Y, Z, typ. | 3 | µm |
Max. Geschwindigkeit | 1,5 | mm/s |
Sensortyp | Rotationsencoder | |
Führung | Kugelführung | |
Antriebsart | DC-Getriebemotor | |
Feinpositionierung | ||
Aktive Achsen | X, Y, Z | |
Stellweg in X, Y, Z, geregelt | 100 | µm |
Auflösung, ungeregelt, typ. | 0,2 | nm |
Auflösung, geregelt, typ. | 1 | nm |
Linearitätsabweichung, für gesamten Stellweg typ. | 0,1 | % |
Wiederholgenauigkeit (bidirektional) typ. | <10 | nm |
Sensortyp | DMS | |
Antriebsart | PICMA® |
F-131.3SD1 X,Y,Z Alignment System
E-727.AS Digitaler Mehrkanal-Piezocontroller mit Flächenscan-Routinen für schnelles optisches Alignment in der Siliziumphotonik
P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
M-110.xxx1 / M-111.xxx1 / M-112.xxx1 Mikrostelltisch
C-884.4DC und C-884.6DC Motion Controller für DC-Motoren und bürstenlose DC-Motoren, 4 oder 6 Achsen
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Ausrichtung ist der wichtigste Kostenfaktor für Durchsatz und Produktionskosten bei Prüfung, Aufbau und Verbindung von photonischen Bauteilen. Maximale Leistung erfordert die optimale Kombination aus Genauigkeit, Geschwindigkeit und intelligenter Automatisierung.
Mikromontage verlangt heute nach präzisen Positioniersystemen, die möglichst kompakt sein sollen, um sich gut in die Fertigungseinheiten zu integrieren.
