S-340 Piezokippplattform

Hochdynamisch für Spiegel und Optiken bis Ø 75 mm (3 Zoll)

S-340 Piezokippplattform

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S-340, Abmessungen in mm. Für alle nicht tolerierten Maße gilt die Allgemeintoleranz DIN ISO 2768-f-H.

Auflösung bis 20 nrad, hervorragende Positionsstabilität
Optischer Ablenkwinkel bis 4 mrad
Unterschiedliche Materialien für CTE-Anpassung zwischen Plattform und Spiegel
Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
Sub-ms-Ansprechzeit
Für Spiegel bis Ø 75 mm (3 Zoll); Ø 100 mm (4 Zoll) auf Anfrage
Positionsgeregelte Versionen für bessere Linearität
Hervorragende Temperaturstabilität

Bildverarbeitung / -stabilisierung
Optische Falle
Laserscanning / -strahlsteuerung mit großen Ablenkwinkeln
Lasertuning
Optische Filter / Schalter
Optik
Strahlstabilisierung

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.

Folgende Materialpaarungen sind für einen angepassten Wärmeausdehnungskoeffizienten empfohlen:

Plattform aus Aluminium: Spiegel aus Aluminium
Plattform aus Invar: Spiegel aus Quarzglas / Zerodur

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Datenblatt

Datenblatt S-340

Version / Datum

2020-07-24

Version / Datum

2020-07-24

Version / Datum

2018-06-18

Version / Datum

2018-07-19

Dokumentsprache

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	S-340.ASD / S-340.ASL	S-340.ISD / S-340.ISL	S-340.A0L	S-340.I0L	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	θ_X, θ_Y	θ_X, θ_Y	θ_X, θ_Y	θ_X, θ_Y
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	DMS	DMS	-	-
Kippwinkel in θ_X, θ_Y bei -20 bis +120V, ungeregelt	2	2	2	2	mrad	min.
Kippwinkel in θ_X, θ_Y, geregelt	2	2	-	-	mrad
Auflösung in θ_X, θ_Y, ungeregelt	0,02	0,02	0,02	0,02	µrad	typ.
Auflösung in θ_X, θ_Y, geregelt	0,2	0,2	-	-	µrad	typ.
Linearitätsabweichung in θ_X, θ_Y	0,1	0,1	-	-	%	typ.
Wiederholgenauigkeit in θ_X, θ_Y	0,15	0,15	-	-	µrad	typ.
Mechanische Eigenschaften
Resonanzfrequenz unbelastet in θ_X, θ_Y	1,7	1,1	1,7	1,1	kHz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet in θ_X, θ_Y (mit Glasspiegel, Ø 50 mm, Dicke 5 mm, 21 g)	1,4	1,0	1,4	1,0	kHz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet in θ_X, θ_Y (mit Glasspiegel, Ø 50 mm, Dicke 13 mm, 63 g)	1,0	0,85	1,0	0,85	kHz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet in θ_X, θ_Y (mit Glasspiegel, Ø 75 mm, Dicke 19 mm, 197 g)	0,55	0,5	0,55	0,5	kHz	±20 %
Abstand Drehpunkt-Plattformoberfläche	7,5	7,5	7,5	7,5	mm	±1 mm
Trägheitsmoment der Plattform	18000	54000	18000	54000	g × mm²	±20 %
Antriebseigenschaften
Keramiktyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität	6 / Achse	6 / Achse	6 / Achse	6 / Achse	µF	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material Gehäuse	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Material Plattform	Aluminium	Invar	Aluminium	Invar
Masse	0,355	0,443	0,355	0,443	kg	±5 %
Kabellänge	2	2	2	2	m	+100 mm / -0 mm
Sensor- / Spannungsanschluss	ASD-Version: D-Sub 25 (m) ASL-Version: LEMO	ISD-Version: D-Sub 25 (m) ISL-Version: LEMO	LEMO	LEMO
Empfohlene Elektroniken	E-727	E-727	E-727	E-727

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum

2021-04-19

Dokumentsprache Englisch

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Datenblatt

Datenblatt S-340

Version / Datum

2020-07-24

Version / Datum

2020-07-24

Version / Datum

2018-06-18

Version / Datum

2018-07-19

Dokumentsprache

pdf - 386 KB

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Dokumentation

Kurzanleitung PZ277

Piezokippplattformen: S-3xx

Version / Datum

1.2.0 03/2020

Version / Datum

1.2.0 03/2020

Dokumentsprache

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pdf - 1 MB

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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ75

S-340 Piezokippplattform

Version / Datum

3.0.1 2020-12-02

Version / Datum

3.0.1 2020-12-02

Dokumentsprache

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3-D-Modelle

S-340 3D-Modell

Anfrage Downloadlink

Whitepaper

Piezokippsysteme

Aufbau – Performance – Tuning

Version / Datum

WP4012E 2018-10

Version / Datum

WP4012D 2018-10

Dokumentsprache

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Zu Angebot / Bestellung

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S-340.A0L

Kippplattform, 2 mrad, ungeregelt, LEMO-Stecker, Aluminium-Deckplatte

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S-340.ASL

Kippplattform, 2 mrad, DMS, LEMO-Stecker, Aluminium-Deckplatte

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S-340.ASD

Kippplattform, 2 mrad, DMS, D-Sub-Stecker, Aluminium-Deckplatte

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S-340.I0L

Kippplattform, 2 mrad, ungeregelt, LEMO-Stecker, Invar-Deckplatte

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