6230V61000 NEW!
Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 25 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; metrische Gewindespindel; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
VT-80 V6 Vakuumgeeigneter Lineartisch
Basisversion für universelle Einsatzgebiete
- Vakuumgeeignet bis zu 10-6 hPa
- Stellwege von 25 bis 300 mm
- Flache Bauform
- Max. Geschwindigkeit bis 10 mm/s
- Belastbar bis 5 kg
6230V66000
6230V61000, Abmessungen in mm
6230V62000, Abmessungen in mm
6230V64000, Abmessungen in mm
6230V65000, Abmessungen in mm
6230V66000, Abmessungen in mm
VT-80 V6 Vakuumgeeigneter Lineartisch
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Lineartisch der Standardklasse
Kugelumlaufführungen und Präzisions-Gewindespindel für ruhigen und gleichmäßigen Vorschub. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität. Kompakte XY-Kombinationen. Zwei mechanische Endschalter.
Kugelumlaufführungen
Kugelumlaufführungen zeichnen sich bei entsprechend sorgfältiger Montage durch eine vorteilhafte Kombination aus hoher Belastbarkeit, Lebensdauer, Wartungsfreiheit und Führungsgenauigkeit aus. Der bewegliche Teil der Tische wird von vier vorgespannten Kugelumlaufschuhen, die auf zwei Führungsschienen laufen, getragen. Jeder Lagerschuh beinhaltet zwei unabhängige Reihen umlaufender Kugeln.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung
Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.
Antrieb
2-Phasen-Schrittmotor für hohes Drehmoment auch bei kleinen Geschwindigkeiten und hohe Auflösung
Einsatzgebiete
Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
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| Bewegen | 6230V61000 | 6230V62000 | 6230V64000 | 6230V65000 | 6230V66000 | 6230V68000 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | X | X | X | X | |
| Stellweg in X | 25 mm | 50 mm | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 300 mm | |
| Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | |
| Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in X) | ± 8 µm | ± 10 µm | ± 12 µm | ± 14 µm | ± 20 µm | ± 35 µm | typ. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X) | ± 8 µm | ± 10 µm | ± 12 µm | ± 14 µm | ± 20 µm | ± 35 µm | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 100 µrad | ± 110 µrad | ± 130 µrad | ± 150 µrad | ± 170 µrad | ± 210 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 150 µrad | ± 150 µrad | ± 150 µrad | ± 150 µrad | ± 150 µrad | ± 150 µrad | typ. |
| Positionieren | 6230V61000 | 6230V62000 | 6230V64000 | 6230V65000 | 6230V66000 | 6230V68000 | Toleranz |
| Systemauflösung in X | 5000 nm | 5000 nm | 5000 nm | 5000 nm | 5000 nm | 5000 nm | |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 0,4 µm | 0,4 µm | 0,4 µm | 0,4 µm | 0,4 µm | 0,4 µm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 10 µm | ± 10 µm | ± 10 µm | ± 10 µm | ± 10 µm | ± 10 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in X | 0,2 µm | 0,2 µm | 0,2 µm | 0,2 µm | 0,2 µm | 0,2 µm | typ. |
| Endschalter | Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN | Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN | Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN | Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN | Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN | Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN | |
| Antriebseigenschaften | 6230V61000 | 6230V62000 | 6230V64000 | 6230V65000 | 6230V66000 | 6230V68000 | Toleranz |
| Antriebstyp | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | |
| Motorauflösung | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | |
| Nennspannung | 24 V | 24 V | 24 V | 24 V | 24 V | 24 V | |
| Spitzenspannung | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | typ. |
| Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | typ. |
| Mechanische Eigenschaften | 6230V61000 | 6230V62000 | 6230V64000 | 6230V65000 | 6230V66000 | 6230V68000 | Toleranz |
| Führung | Kugelumlaufführung | Kugelumlaufführung | Kugelumlaufführung | Kugelumlaufführung | Kugelumlaufführung | Kugelumlaufführung | |
| Spindeltyp | metrische Gewindespindel | metrische Gewindespindel | metrische Gewindespindel | metrische Gewindespindel | metrische Gewindespindel | metrische Gewindespindel | |
| Spindelsteigung | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | |
| Haltekraft in X, passiv | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 160 g | 160 g | 170 g | 170 g | 180 g | 180 g | |
| Zulässige Druckkraft in Y | 30 N | 30 N | 30 N | 30 N | 30 N | 30 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässiges Moment in θX | 2,5 N·m | 2,5 N·m | 2,5 N·m | 2,5 N·m | 2,5 N·m | 2,5 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θY | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θZ | 2,5 N·m | 2,5 N·m | 2,5 N·m | 2,5 N·m | 2,5 N·m | 2,5 N·m | max. |
| Gesamtmasse | 550 g | 650 g | 750 g | 850 g | 950 g | 1250 g | |
| Material | Aluminium, eloxiert | Aluminium, eloxiert | Aluminium, eloxiert | Aluminium, eloxiert | Aluminium, eloxiert | Aluminium, eloxiert | |
| Anschlüsse und Umgebung | 6230V61000 | 6230V62000 | 6230V64000 | 6230V65000 | 6230V66000 | 6230V68000 | Toleranz |
| Anschluss | HD D-Sub 15-pol. (m) | HD D-Sub 15-pol. (m) | HD D-Sub 15-pol. (m) | HD D-Sub 15-pol. (m) | HD D-Sub 15-pol. (m) | HD D-Sub 15-pol. (m) | |
| Vakuumklasse | 10E-6 hPa | 10E-6 hPa | 10E-6 hPa | 10E-6 hPa | 10E-6 hPa | 10E-6 hPa | |
| Empfohlene Controller / Treiber | C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller | C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller | C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller | C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller | C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller | C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller | |
| Betriebstemperaturbereich | 0 bis 80 °C | 0 bis 80 °C | 0 bis 80 °C | 0 bis 80 °C | 0 bis 80 °C | 0 bis 80 °C | |
| Maximale Ausheiztemperatur | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C |
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Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
User Manual 6230T0003
6230V63000 Precision linear stage with stepper drive for vacuum applications (1 E-6 hPa)
Version / Datum
2020-05-08
pdf - 294 KB
Englisch
Dokumentation
User Manual 6230T0001
6230V61000 Precision linear stage with stepper drive for vacuum applications (1 E-6 hPa)
Version / Datum
2021-10-08
pdf - 506 KB
Englisch
Dokumentation
Benutzerhandbuch VT-80
Lineartisch
Version / Datum
2019-12-04
pdf - 1 MB
Version / Datum
2019-12-05
pdf - 1 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
3D-Modell VT-80 V6
Version / Datum
2021-03-26
zip - 4 MB
Englisch
Separates Anschlusskabel jeweils erforderlich für Motor- und Sensorverbindung.
Angebot / Bestellung
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6230V62000 NEW!
Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 50 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; metrische Gewindespindel; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
6230V64000 NEW!
Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 100 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; metrische Gewindespindel; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
6230V65000 NEW!
Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 150 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; metrische Gewindespindel; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
6230V66000 NEW!
Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 200 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; metrische Gewindespindel; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
6230V68000
Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 300 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; metrische Gewindespindel; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
