VT-80 V6 Linear Stage Suitable for Vacuum

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Bewegen	6230V61000	6230V62000	6230V64000	6230V65000	6230V66000	Toleranz
Aktive Achsen	X	X	X	X	X
Stellweg in X	25 mm	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm
Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s
Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in X)	± 8 µm	± 10 µm	± 12 µm	± 14 µm	± 20 µm	typ.
Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X)	± 8 µm	± 10 µm	± 12 µm	± 14 µm	± 20 µm	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X)	± 100 µrad	± 110 µrad	± 130 µrad	± 150 µrad	± 170 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X)	± 150 µrad	± 150 µrad	± 150 µrad	± 150 µrad	± 150 µrad	typ.
Positionieren	6230V61000	6230V62000	6230V64000	6230V65000	6230V66000	Toleranz
Systemauflösung in X	5000 nm	5000 nm	5000 nm	5000 nm	5000 nm
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	0,4 µm	0,4 µm	0,4 µm	0,4 µm	0,4 µm	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	± 10 µm	± 10 µm	± 10 µm	± 10 µm	± 10 µm	typ.
Kleinste Schrittweite in X	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	typ.
Endschalter	Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN	Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN	Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN	Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN	Mechanisch, Öffner, bis 30 V, NPN
Antriebseigenschaften	6230V61000	6230V62000	6230V64000	6230V65000	6230V66000	Toleranz
Antriebstyp	2-Phasen-Schrittmotor	2-Phasen-Schrittmotor	2-Phasen-Schrittmotor	2-Phasen-Schrittmotor	2-Phasen-Schrittmotor
Motorauflösung	200 Vollschritte/U	200 Vollschritte/U	200 Vollschritte/U	200 Vollschritte/U	200 Vollschritte/U
Nennspannung	24 V	24 V	24 V	24 V	24 V
Spitzenspannung	48 V	48 V	48 V	48 V	48 V
Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N	typ.
Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N	typ.
Mechanische Eigenschaften	6230V61000	6230V62000	6230V64000	6230V65000	6230V66000	Toleranz
Führung	Kugelumlaufführung	Kugelumlaufführung	Kugelumlaufführung	Kugelumlaufführung	Kugelumlaufführung
Spindeltyp	Trapezgewindespindel	Trapezgewindespindel	Trapezgewindespindel	Trapezgewindespindel	Trapezgewindespindel
Spindelsteigung	1 mm	1 mm	1 mm	1 mm	1 mm
Haltekraft in X, passiv	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
Bewegte Masse in X, unbelastet	160 g	160 g	170 g	170 g	180 g
Zulässige Druckkraft in Y	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	max.
Zulässiges Moment in θX	2,5 N·m	2,5 N·m	2,5 N·m	2,5 N·m	2,5 N·m	max.
Zulässiges Moment in θY	5 N·m	5 N·m	5 N·m	5 N·m	5 N·m	max.
Zulässiges Moment in θZ	2,5 N·m	2,5 N·m	2,5 N·m	2,5 N·m	2,5 N·m	max.
Gesamtmasse	550 g	650 g	750 g	850 g	950 g
Material	Aluminium, eloxiert	Aluminium, eloxiert	Aluminium, eloxiert	Aluminium, eloxiert	Aluminium, eloxiert
Anschlüsse und Umgebung	6230V61000	6230V62000	6230V64000	6230V65000	6230V66000	Toleranz
Anschluss	HD D-Sub 15-pin (m)	HD D-Sub 15-pin (m)	HD D-Sub 15-pin (m)	HD D-Sub 15-pin (m)	HD D-Sub 15-pin (m)
Vakuumklasse	10E-6 hPa hPa	10E-6 hPa hPa	10E-6 hPa hPa	10E-6 hPa hPa	10E-6 hPa hPa
Empfohlene Controller / Treiber	C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller	C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller	C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller	C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller	C-663.12 (eine Achse) SMC Hydra (zwei Achsen) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller
Betriebstemperaturbereich	0 bis 80 °C	0 bis 80 °C	0 bis 80 °C	0 bis 80 °C	0 bis 80 °C
Maximale Ausheiztemperatur	80 °C	80 °C	80 °C	80 °C	80 °C

Datenblatt

Datenblatt VT-80 V

Version / Datum

2021-04-08

Version / Datum

2021-04-08

Version / Datum

2021-01-14

Dokumentsprache

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Dokumentation

User Manual 6230T0003

6230V63000 Precision linear stage with stepper drive for vacuum applications (1 E-6 hPa)

Version / Datum

2020-05-08

Dokumentsprache Englisch

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Dokumentation

User Manual 6230T0001

6230V61000 Precision linear stage with stepper drive for vacuum applications (1 E-6 hPa)

Version / Datum

2020-06-29

Dokumentsprache Englisch

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Dokumentation

Benutzerhandbuch VT-80

Lineartisch

Version / Datum

2019-12-04

Version / Datum

2019-12-05

Dokumentsprache

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Dokumentation

Kurzanleitung MP146EK

Positionierer mit Elektromotoren: DT-xx / HPS-170 / L-xxx / LS-xxx / MTS-65 / PRS-xxx / RS-40 / UPL-120 / VT-80 / WT-xx / WT-xxx

Version / Datum

2.0.0 01/2020

Version / Datum

2.0.0 01/2020

Dokumentsprache

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3-D-Modelle

3D-Modell VT-80 V6

Version / Datum

2021-03-26

Dokumentsprache Englisch

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Zu Angebot / Bestellung

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6230V61000 NEW!

Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 25 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Trapezgewindespindel; vakuumkompatibel bis 10 hPa

6230V62000 NEW!

Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 50 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Trapezgewindespindel; vakuumkompatibel bis 10 hPa

6230V64000 NEW!

Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 100 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Trapezgewindespindel; vakuumkompatibel bis 10 hPa

6230V65000 NEW!

Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 150 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Trapezgewindespindel; vakuumkompatibel bis 10 hPa

6230V66000 NEW!

Vakuumgeeigneter Lineartisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 200 mm Stellweg; 50 N Belastbarkeit; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; Trapezgewindespindel; vakuumkompatibel bis 10 hPa