L-417 Hochlast-Lineartisch

Hohe Leistungsfähigkeit, Spindelantrieb

L-417 Hochlast-Lineartisch
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
L-417, Abmessungen in mm
L-417 mit 813 mm Stellweg, Linearencoder und Haltebremse.
  • Breite 166 mm
  • Stellweg bis 813 mm
  • Präzisions-Kugelumlaufspindel
  • Inkrementeller oder absoluter Linearencoder, verschiedene Auflösungen
  • Präzise Kugelumlaufführungen, Belastbarkeit bis 450 N
  • Seitliches Abdeckband zum Schutz vor Partikeln

Leistungsstarker Lineartisch für den Einsatz in anspruchsvollen Industrieapplikationen

Präzise Kugelumlaufspindeln, leistungsfähige Synchron-Servomotoren, hochbelastbare Kugelumlaufführungen und präzise Rotations- und Linearencoder ermöglichen den dauerhaften und zuverlässigen Betrieb unter Hochlast. Die optionale Haltebremse ermöglicht den Einsatz als Z-Achse. Die Kugelumlaufspindel ist von außen ohne Demontage nachschmierbar, für hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer. Auch die Integration in eine kundenseitige Zentralschmieranlage ist möglich. Das seitliche Abdeckband und der Spülluftanschluss verhindern die Kontaminierung mit Partikeln.

Wegweisende Bauweise

Die Kugelumlaufführungen der L-417-Serie sind auf hohe Belastbarkeit und hohe Dynamik ausgelegt. Mit ihrer hohen Auflösung ermöglichen die Motoren verbessertes Führungsverhalten, kleinere Folgefehler und verbesserte Einschwingzeiten.

Optionen

  • Haltebremse (L-417.xxxxxxB)
  • Verschiedene Rotations- und Linearencoder, absolut und inkrementell
  • Versionen mit Linearencoder mit Schleppkette und Anschlussbox (L-417.xxxxxxE1).
  • Auf Anfrage: Gefalteter Antriebsstrang mit Riemengetriebe. Diese Modifikation reduziert die Gesamtlänge.
  • Auf Anfrage: Kalibrierung und Zertifizierung

Synchron-Servomotor

Diese Motoren verfügen über hohe Positioniergenauigkeit und Überlastfähigkeit in einem großen Drehzahlbereich. Hohes Drehmoment und geringe bewegte Eigenmassen sorgen für eine hohe Dynamik der Antriebe. Die lange Lebensdauer, hohe Leistung und Robustheit dieser Motoren ermöglichen hervorragende Ergebnisse in Anwendungen der industriellen Automatisierung.

Einsatzgebiete

Laserschneiden. Elektronikfertigung. AOI (Automatische optische Inspektion). Automatisierung. Anwendungen mit hohen Anforderungen an Dynamik, Präzision, gleichmäßige Bewegungen, kurze Einschwingzeiten und kleinen Tracking-Fehlern.

Download Datenblatt Zu den Spezifikationen

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt L-417

Version / Datum
2020-08-04
Version / Datum
2020-08-04
Version / Datum
2020-03-26
Version / Datum
2019-07-08
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Product Change Notification L-412 and L-417

Streamlining L-412 and L-417
Version / Datum
2020-02-27
Dokumentsprache Englisch
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Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt L-417

Version / Datum
2020-08-04
Version / Datum
2020-08-04
Version / Datum
2020-03-26
Version / Datum
2019-07-08
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Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch L417UM0020

L-417.xx9054 Hochlast-Lineartisch
Version / Datum
2020-04-30
Version / Datum
2020-04-30
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Dokumentation

Benutzerhandbuch L417UM0021

L-417.xx9054B Hochlast-Lineartisch
Version / Datum
2020-04-30
Version / Datum
2020-04-30
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Kurzanleitung MP187EK

Positionierer mit Elektromotor bis 320 V: L-412 / L-417
Version / Datum
1.0.0 05/2019
Dokumentsprache Englisch
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Benutzerhandbuch L417M0003

L-417.xx9025E0 Hochlast-Lineartisch
Version / Datum
2019-09-10
Version / Datum
2019-09-10
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Benutzerhandbuch L417M0011

L-417.xx9025E0B Hochlast-Lineartisch
Version / Datum
2019-09-10
Version / Datum
2019-09-10
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Benutzerhandbuch L417M0012

L-417.xx9025E1 Hochlast-Lineartisch
Version / Datum
2019-09-10
Version / Datum
2019-09-10
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Benutzerhandbuch L417M0013

L-417.xx9025E1B Hochlast-Lineartisch
Version / Datum
2019-09-10
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2019-09-10
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Benutzerhandbuch L417M0014

L-417.xx9211E0 Hochlast-Lineartisch
Version / Datum
2019-09-10
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2019-09-10
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Benutzerhandbuch L417M0015

L-417.xx9211E0B Hochlast-Lineartisch
Version / Datum
2019-09-10
Version / Datum
2019-09-10
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Benutzerhandbuch L417M0016

L-417.xx9211E1 Hochlast-Lineartisch
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2019-09-10
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2019-09-10
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Benutzerhandbuch L417M0017

L-417.xx9211E1B Hochlast-Lineartisch
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2019-09-10
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2019-09-10
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Benutzerhandbuch L417M0009

L-417.xx9232 Hochlast-Lineartisch
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2019-09-10
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2019-09-10
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Benutzerhandbuch L417M0010

L-417.xx9232B Hochlast-Lineartisch
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2019-07-09
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2019-07-09
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3-D-Modelle

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3D-Modell L-417.059xxxxxx

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2019-10-16
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3D-Modell L-417.099xxxxxx

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2019-10-01
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3D-Modell L-417.139xxxxxx

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2019-10-01
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3D-Modell L-417.179xxxxxx

Version / Datum
2019-10-01
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3D-Modell L-417.219xxxxxx

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2019-10-01
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3D-Modell L-417.259xxxxxx

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2019-10-01
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3D-Modell L-417.339xxxxxx

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2019-10-01
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L-417.059025E1

Hochlast-Lineartisch, 102 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.059025E1B

Hochlast-Lineartisch, 102 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.059054

Hochlast-Lineartisch, 102 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.059054B

Hochlast-Lineartisch, 102 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.059211E1

Hochlast-Lineartisch, 102 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.059211E1B

Hochlast-Lineartisch, 102 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.059232

Hochlast-Lineartisch, 102 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.059232B

Hochlast-Lineartisch, 102 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.099025E1

Hochlast-Lineartisch, 204 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.099025E1B

Hochlast-Lineartisch, 204 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.099054

Hochlast-Lineartisch, 204 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.099054B

Hochlast-Lineartisch, 204 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.099211E1

Hochlast-Lineartisch, 204 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.099211E1B

Hochlast-Lineartisch, 204 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.099232

Hochlast-Lineartisch, 204 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.099232B

Hochlast-Lineartisch, 204 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.139025E1

Hochlast-Lineartisch, 305 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.139025E1B

Hochlast-Lineartisch, 305 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.139054

Hochlast-Lineartisch, 305 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.139054B

Hochlast-Lineartisch, 305 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.139211E1

Hochlast-Lineartisch, 305 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.139211E1B

Hochlast-Lineartisch, 305 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.139232

Hochlast-Lineartisch, 305 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.139232B

Hochlast-Lineartisch, 305 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.179025E1

Hochlast-Lineartisch, 407 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.179025E1B

Hochlast-Lineartisch, 407 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.179054

Hochlast-Lineartisch, 407 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.179054B

Hochlast-Lineartisch, 407 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.179211E1

Hochlast-Lineartisch, 407 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.179211E1B

Hochlast-Lineartisch, 407 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.179232

Hochlast-Lineartisch, 407 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.179232B

Hochlast-Lineartisch, 407 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.219025E1

Hochlast-Lineartisch, 508 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.219025E1B

Hochlast-Lineartisch, 508 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.219054

Hochlast-Lineartisch, 508 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.219054B

Hochlast-Lineartisch, 508 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.219211E1

Hochlast-Lineartisch, 508 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.219211E1B

Hochlast-Lineartisch, 508 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.219232

Hochlast-Lineartisch, 508 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.219232B

Hochlast-Lineartisch, 508 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.259025E1

Hochlast-Lineartisch, 610 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.259025E1B

Hochlast-Lineartisch, 610 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.259054

Hochlast-Lineartisch, 610 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.259054B

Hochlast-Lineartisch, 610 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.259211E1

Hochlast-Lineartisch, 610 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.259211E1B

Hochlast-Lineartisch, 610 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.259232

Hochlast-Lineartisch, 610 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.259232B

Hochlast-Lineartisch, 610 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.339025E1

Hochlast-Lineartisch, 813 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.339025E1B

Hochlast-Lineartisch, 813 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Linearencoder mit EnDat 2.2-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.339054

Hochlast-Lineartisch, 813 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.339054B

Hochlast-Lineartisch, 813 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, absoluter Rotationsencoder (Multiturn) mit EnDat 2.1-Signalübertragung, 8192 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.339211E1

Hochlast-Lineartisch, 813 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Synchron-Servomotor, bis 320 V

​
L-417.339211E1B

Hochlast-Lineartisch, 813 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Signalperiode, Schleppkette, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.339232

Hochlast-Lineartisch, 813 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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L-417.339232B

Hochlast-Lineartisch, 813 mm Stellweg, 166 mm Breite, 450 N Belastbarkeit, inkrementeller Rotationsencoder mit A/B-Quadratur-Signalübertragung, 20000 Impulse/U, Haltebremse, Synchron-Servomotor, bis 320 V

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V-412 Hochlast-Lineartisch

Hohe Leistungsfähigkeit, Linearmotor

L-412 Hochlast-Lineartisch

Hohe Leistungsfähigkeit, Spindelantrieb

L-741 Präzisions-Kreuztisch

Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität, 305 × 305 mm Stellweg

V-731 Hochpräzisions-Kreuztisch

Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität, Linearmotor

L-731 Präzisions-Kreuztisch

Hohe Ablaufgenauigkeit und Stabilität

PI M-417

M-417 Präzisions-Linearversteller

500 mm Stellweg mit hoher Führungsgenauigkeit

M-414 Präziser Hochlast-Lineartisch

Hohe Zyklenzahlen, preiswert

M-413 Hochlast-Lineartisch

Preiswert, zuverlässig, präzise

LS-270 Lineartisch für sehr hohe Lasten

Robustes Design mit hoher Steifigkeit

M-511 • M-521 • M-531 Hochpräzisions-Lineartisch

Hohe Ablaufgenauigkeit, große Stellwege, viele Motorvarianten

LS-180 Lineartisch für hohe Lasten

Robustes Design für industriellen Einsatz

PI L-511

L-511 Hochpräziser Lineartisch

Hohe Ablaufgenauigkeit

PI Extended Warranty

PI Extended Warranty

Schutz und Sicherheit von Investitionen

PI Express

PI Express

Priorität bei Support-Dienstleistungen

PI On-Site Scheduled Services

PI Vor-Ort-Dienstleistungen

Systemaufbau, Wartung, Schulung und Support

R-TRAINING PI Customer Training

PI Kundentraining

Training direkt am Produkt

Anwendungen

Halbleiterfertigung

Halbleiterfertigung

Lithografieverfahren liefern die Grundlage dafür, dass die Chips immer kleiner werden und sich extrem feine Strukturen auf den Siliziumwafern realisieren lassen. Piezoantriebe haben durch ihre Performance und Zuverlässigkeit diese technischen Fortschritte möglich gemacht.
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CAD-Zeichnung des hochauflösenden Mess-AFM

Rasterkraftmikroskope (AFM)

Ein piezobasiertes sechsachsiges Nanopositioniersystem ist für präzise Scans bei Rasterkraftmikroskopen (AFM) sehr gut geeignet.
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