Q-521 Q‑Motion® Miniatur-Lineartisch

Kleinster Lineartisch mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis

Q-521 Q‑Motion® Miniatur-Lineartisch
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  • Nur 21 mm breit und 10 mm hoch
  • Direkte Positionsmessung mit integriertem inkrementellen Encoder
  • Encoderauflösung bis zu 1 nm
  • Kleinste Schrittweite bis zu 2 nm
  • Aufbau von Mehrachssystemen mit Adapterplatte oder -winkel (optional erhältlich)
  • Vakuumversionen bis 10-6 hPa auf Anfrage

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Piezoträgheitsantriebe sind platzsparende und preiswerte piezobasierte Antriebe mit relativ hohen Haltekräften und prinzipiell unbegrenztem Stellweg. Das Trägheitsantriebsprinzip basiert auf einem einzelnen piezoelektrischen Aktor, der über die Treiberelektronik mit einer modifizierten Sägezahnspannung angesteuert wird. Der Aktor dehnt sich langsam aus und nimmt einen Läufer mit. Die darauf folgende schnelle Kontraktion des Aktors kann der Läufer aufgrund seiner Trägheit nicht nachvollziehen und verharrt auf seiner Position. Mit einer Betriebsfrequenz von bis zu 20 kHz erreichen direkt auf den Läufer wirkende Antriebe Geschwindigkeiten bis max. 6 mm/s.

Direktes Messprinzip

Die Lineartische sind mit berührungslos messendem optischen Linearencoder sowie Referenzschalter ausgestattet. Auflösung versionsabhängig 4 nm oder 1 nm.

Vakuum

Auf Anfrage sind Vakuumversionen bis 10-6 hPa verfügbar.

Einsatzgebiete

Mikromontage, Photonik, Optische Justage, Mikroskopie, Beamline-Instrumentierung, Halbleitertechnik, Testanwendungen

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt Q-521

Version / Datum
2019-10-29
Version / Datum
2019-10-29
Version / Datum
2018-11-05
Dokumentsprache
pdf - 884 KB
pdf - 876 KB
pdf - 800 KB

Downloads

Produktmitteilung

Produktmitteilung

Product Change Notification Q-xxx; N-765

Version / Datum
2019-03-26
Dokumentsprache Englisch
pdf - 435 KB

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt Q-521

Version / Datum
2019-10-29
Version / Datum
2019-10-29
Version / Datum
2018-11-05
Dokumentsprache
pdf - 884 KB
pdf - 876 KB
pdf - 800 KB

Dokumentation

Dokumentation

Kurzanleitung MP139EK

Q-Motion® Positionierer: Q-5xx, Q-6xx
Version / Datum
4.1.0 2019/07
pdf - 1 MB
Dokumentation

Benutzerhandbuch MP145

Q-521 Q-Motion Miniatur-Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Version / Datum
1.1.0 2019-05-22
Version / Datum
1.1.0 2019-05-22
Dokumentsprache

3-D-Modelle

3-D-Modelle

Q-521 3D-Modell

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Q-521.130
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H)
Q-521.140
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H)
Q-521.230
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H)
Q-521.240
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H)
Q-521.330
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H)
Q-521.340
Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H)