Q-521 Q‑Motion® Miniatur-Lineartisch
Kleinster Lineartisch mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis
- Nur 21 mm breit und 10 mm hoch
- Direkte Positionsmessung mit integriertem inkrementellen Encoder
- Encoderauflösung bis zu 1 nm
- Kleinste Schrittweite bis zu 2 nm
- Aufbau von Mehrachssystemen mit Adapterplatte oder -winkel (optional erhältlich)
Piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Piezoträgheitsantriebe sind platzsparende und preiswerte piezobasierte Antriebe mit relativ hohen Haltekräften und prinzipiell unbegrenztem Stellweg. Das Trägheitsantriebsprinzip basiert auf einem einzelnen piezoelektrischen Aktor, der über die Treiberelektronik mit einer modifizierten Sägezahnspannung angesteuert wird. Der Aktor dehnt sich langsam aus und nimmt einen Läufer mit. Die darauf folgende schnelle Kontraktion des Aktors kann der Läufer aufgrund seiner Trägheit nicht nachvollziehen und verharrt auf seiner Position. Mit einer Betriebsfrequenz von bis zu 20 kHz erreichen direkt auf den Läufer wirkende Antriebe Geschwindigkeiten bis max. 6 mm/s.
Direktes Messprinzip
Die Lineartische sind mit berührungslos messendem optischen Linearencoder sowie Referenzschalter ausgestattet. Auflösung versionsabhängig 4 nm oder 1 nm.
Einsatzgebiete
Mikromontage. Photonik. Optische Justage. Mikroskopie. Beamline-Instrumentierung. Halbleitertechnik. Testanwendungen.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen und Positionieren | Q-521.130 / Q-521.140 | Q-521.230 / Q-521.240 | Q-521.330 / Q-521.340 | Einheit |
---|---|---|---|---|
Aktive Achse | X | X | X | |
Stellweg | 12 | 22 | 32 | mm |
Maximale Geschwindigkeit, geregelt* | 6 | 6 | 6 | mm/s |
Kleinste Schrittweite | Q-521.130: 8 Q-521.140: 2 | Q-521.230: 8 Q-521.240: 2 | Q-521.330: 8 Q-521.340: 2 | nm |
Neigen | 300 | 300 | 300 | µrad |
Gieren | 100 | 300 | 400 | µrad |
Linearität | 3,5 | 3,5 | 3,5 | µm |
Integrierter Sensor | Linearencoder | Linearencoder | Linearencoder | |
Sensorauflösung | Q-521.130: 4 Q-521.140: 1 | Q-521.230: 4 Q-521.240: 1 | Q-521.330: 4 Q-521.340: 1 | nm |
Referenzschalter | optisch | optisch | optisch | |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit | Q-521.130: 150 Q-521.140: 80 | Q-521.230: 150 Q-521.240: 80 | Q-521.330: 150 Q-521.340: 80 | nm |
Sonstiges | Q-521.1xx | Q-521.2xx | Q-521.3xx | Einheit |
---|---|---|---|---|
Betriebstemperatur | 0 bis 40 | 0 bis 40 | 0 bis 40 | °C |
Kabellänge | 1 | 1 | 1 | m |
Motor-/Sensoranschluss | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | |
Masse ohne Kabel und Stecker | 24 | 34 | 48 | g |
Masse inkl. Kabel und Stecker | 110 | 126 | 135 | g |
Material | Edelstahl | Edelstahl | Edelstahl | |
Abmessungen | 30 mm × 21 mm × 10 mm | 31,6 mm × 21 mm × 10 mm | 42,2 mm × 21 mm × 10 mm | |
Empfohlene Elektroniken | E-873.1AT, E-873.10C885 | E-873.1AT, E-873.10C885 | E-873.1AT, E-873.10C885 |
Downloads
Produktmitteilung
Product Change Notification Q-xxx; N-765
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch MP145
Q-521 Q-Motion Miniatur-Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
3-D-Modelle
Q-521 3D-Modell
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