Q-521 Q‑Motion® Miniatur-Lineartisch

Kleinster Lineartisch mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis

Nur 21 mm breit und 10 mm hoch
Direkte Positionsmessung mit integriertem inkrementellen Encoder
Encoderauflösung bis zu 1 nm
Kleinste Schrittweite bis zu 2 nm
Aufbau von Mehrachssystemen mit Adapterplatte oder -winkel (optional erhältlich)

Q-521.1xx, Abmessungen in mm.

Q-521.2xx, Abmessungen in mm.

Q-521.3xx, Abmessungen in mm.

Piezoträgheitsantriebe sind platzsparende und preiswerte piezobasierte Antriebe mit relativ hohen Haltekräften und prinzipiell unbegrenztem Stellweg. Das Trägheitsantriebsprinzip basiert auf einem einzelnen piezoelektrischen Aktor, der über die Treiberelektronik mit einer modifizierten Sägezahnspannung angesteuert wird. Der Aktor dehnt sich langsam aus und nimmt einen Läufer mit. Die darauf folgende schnelle Kontraktion des Aktors kann der Läufer aufgrund seiner Trägheit nicht nachvollziehen und verharrt auf seiner Position. Mit einer Betriebsfrequenz von bis zu 20 kHz erreichen direkt auf den Läufer wirkende Antriebe Geschwindigkeiten bis max. 6 mm/s.

Die Lineartische sind mit berührungslos messendem optischen Linearencoder sowie Referenzschalter ausgestattet. Auflösung versionsabhängig 4 nm oder 1 nm.

Mikromontage. Photonik. Optische Justage. Mikroskopie. Beamline-Instrumentierung. Halbleitertechnik. Testanwendungen.

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Datenblatt

Version / Datum

2020-06-24

pdf - 508 KB

Version / Datum

2020-06-24

pdf - 507 KB

Version / Datum

2021-01-14

pdf - 621 KB

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Bewegen und Positionieren	Q-521.130 / Q-521.140	Q-521.230 / Q-521.240	Q-521.330 / Q-521.340	Einheit
Aktive Achse	X	X	X
Stellweg	12	22	32	mm
Maximale Geschwindigkeit, geregelt*	6	6	6	mm/s
Kleinste Schrittweite	Q-521.130: 8 Q-521.140: 2	Q-521.230: 8 Q-521.240: 2	Q-521.330: 8 Q-521.340: 2	nm
Neigen	300	300	300	µrad
Gieren	100	300	400	µrad
Linearität	3,5	3,5	3,5	µm
Integrierter Sensor	Linearencoder	Linearencoder	Linearencoder
Sensorauflösung	Q-521.130: 4 Q-521.140: 1	Q-521.230: 4 Q-521.240: 1	Q-521.330: 4 Q-521.340: 1	nm
Referenzschalter	optisch	optisch	optisch
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit	Q-521.130: 150 Q-521.140: 80	Q-521.230: 150 Q-521.240: 80	Q-521.330: 150 Q-521.340: 80	nm

Mechanische Eigenschaften	Q-521	Einheit
Max. Belastbarkeit, horizontal	0,3	kg
Max. Belastbarkeit, beliebig	0,06	kg
Führungstyp	Kreuzrollenlager

Antriebseigenschaften	Q-521	Einheit
Antriebskraft	0,6	N
Selbsthemmung	1,3	N
Motortyp	Piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Sonstiges	Q-521.1xx	Q-521.2xx	Q-521.3xx	Einheit
Betriebstemperatur	0 bis 40	0 bis 40	0 bis 40	°C
Kabellänge	1	1	1	m
Motor-/Sensoranschluss	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)
Masse ohne Kabel und Stecker	24	34	48	g
Masse inkl. Kabel und Stecker	110	126	135	g
Material	Edelstahl	Edelstahl	Edelstahl
Abmessungen	30 mm × 21 mm × 10 mm	31,6 mm × 21 mm × 10 mm	42,2 mm × 21 mm × 10 mm
Empfohlene Elektroniken	E-873.1AT, E-873.10C885	E-873.1AT, E-873.10C885	E-873.1AT, E-873.10C885

* Typische Geschwindigkeit bei einer Ansteuerfrequenz von 20 kHz

Spezifikationen getestet mit E-873.1AT

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Produktmitteilung

Version / Datum

2019-03-26

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Englisch

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Datenblatt

Version / Datum

2020-06-24

pdf - 508 KB

Version / Datum

2020-06-24

pdf - 507 KB

Version / Datum

2021-01-14

pdf - 621 KB

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Dokumentation

Q-Motion® Positionierer: Q-5xx, Q-6xx

Version / Datum

4.2.0 12/2019

pdf - 1 MB

Version / Datum

4.2.0 12/2019

pdf - 1 MB

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Dokumentation

Q-521 Q-Motion Miniatur-Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Version / Datum

1.1.2 2020-07-29

pdf - 2 MB

Version / Datum

1.1.2 2020-07-29

pdf - 2 MB

3-D-Modelle

zip - 2 MB

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Q-521.130

Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H)

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Q-521.140

Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H)

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Q-521.230

Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H)

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Q-521.240

Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H)

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Q-521.330

Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H)

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Q-521.340

Q-Motion® Miniatur-Lineartisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 0,6 N Antriebskraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H)

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