Die vakuumgeeigneten Hexapoden der Serie H-850 positionieren hochgenau und zuverlässig hohe Lasten bis zu 80 kg. Hochbelastbare Präzisionslager erlauben Anwendungen mit langer Einschaltdauer.
Die H-850.V sind geeignet für Vakuumumgebung bis 10-6 hPa.
Das parallelkinematische Design für sechs Freiheitsgrade macht den Aufbau wesentlich kompakter und steifer als vergleichbare Seriellkinematik-Systeme. Die Vorteile gegenüber seriellen, also gestapelten Systemen, sind vor allem die bessere Bahntreue und Wiederholgenauigkeit. Zudem ist die bewegte Masse geringer und ermöglicht dadurch eine verbesserte Dynamik, die für alle Bewegungsachsen gleich ist. Da keine Kabel bewegt werden, ist auch das Kabelmanagement unproblematisch.
Die Simulationssoftware simuliert die Grenzen des Arbeitsraums und der Belastbarkeit eines Hexapoden. Damit kann bereits vor einer Kaufentscheidung überprüft werden, ob ein bestimmtes Hexapod-Modell die auftretenden Lasten, Kräfte und Momente in einer Anwendung aufnehmen kann. Das Simulationstool berücksichtigt dazu die Lage und die Bewegung des Hexapoden, sowie die Position des Pivotpunkts und verschiedene Bezugskoordinatensysteme.
Industrie und Forschung. Für Astronomie, Optikpositionierung, Luft- und Raumfahrt.
| Bewegen | H-850.G2V | H-850.H2V | Toleranz |
|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X Y Z θX θY θZ | X Y Z θX θY θZ | |
| Stellweg in X | ± 50 mm | ± 50 mm | |
| Stellweg in Y | ± 50 mm | ± 50 mm | |
| Stellweg in Z | ± 25 mm | ± 25 mm | |
| Rotationsbereich in θX | ± 15 ° | ± 15 ° | |
| Rotationsbereich in θY | ± 15 ° | ± 15 ° | |
| Rotationsbereich in θZ | ± 30 ° | ± 30 ° | |
| Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 2,5 mm/s | 0,15 mm/s | |
| Maximale Geschwindigkeit in Y, unbelastet | 2,5 mm/s | 0,15 mm/s | |
| Maximale Geschwindigkeit in Z, unbelastet | 2,5 mm/s | 0,15 mm/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θX, unbelastet | 30 mrad/s | 1,8 mrad/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θY, unbelastet | 30 mrad/s | 1,8 mrad/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θZ, unbelastet | 30 mrad/s | 1,8 mrad/s | |
| Typische Geschwindigkeit in X, unbelastet | 2 mm/s | 0,1 mm/s | |
| Typische Geschwindigkeit in Y, unbelastet | 2 mm/s | 0,1 mm/s | |
| Typische Geschwindigkeit in Z, unbelastet | 2 mm/s | 0,1 mm/s | |
| Typische Winkelgeschwindigkeit in θX, unbelastet | 25 mrad/s | 1,2 mrad/s | |
| Typische Winkelgeschwindigkeit in θY, unbelastet | 25 mrad/s | 1,2 mrad/s | |
| Typische Winkelgeschwindigkeit in θZ, unbelastet | 25 mrad/s | 1,2 mrad/s | |
| Positionieren | H-850.G2V | H-850.H2V | Toleranz |
| Integrierter Sensor | Inkrementeller Rotationsencoder | Inkrementeller Rotationsencoder | |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θX | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θY | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ | ± 7,5 µrad | ± 9 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in X | 1 µm | 0,3 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in Y | 1 µm | 0,3 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in Z | 0,5 µm | 0,2 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θX | 7,5 µrad | 3 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θY | 7,5 µrad | 3 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θZ | 15 µrad | 5 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in X | 6 µm | 4 µm | typ. |
| Umkehrspiel in Y | 6 µm | 4 µm | typ. |
| Umkehrspiel in Z | 1,5 µm | 0,5 µm | typ. |
| Umkehrspiel in θX | 25 µrad | 7,5 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in θY | 25 µrad | 7,5 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in θZ | 90 µrad | 60 µrad | typ. |
| Antriebseigenschaften | H-850.G2V | H-850.H2V | Toleranz |
| Antriebstyp | DC-Getriebemotor mit ActiveDrive | DC-Getriebemotor mit ActiveDrive | |
| Nennspannung | 24 V | 24 V | |
| Mechanische Eigenschaften | H-850.G2V | H-850.H2V | Toleranz |
| Spindeltyp | Kugelumlaufspindel | Kugelumlaufspindel | |
| Steifigkeit in X | 7 N/µm | 7 N/µm | |
| Steifigkeit in Y | 7 N/µm | 7 N/µm | |
| Steifigkeit in Z | 100 N/µm | 100 N/µm | |
| Maximale Haltekraft, passiv, beliebige Ausrichtung | 85 N | 500 N | |
| Maximale Haltekraft, passiv, horizontale Ausrichtung | 250 N | 2000 N | |
| Maximale Nutzlast, beliebige Ausrichtung | 10 kg | 40 kg | |
| Maximale Nutzlast, horizontale Ausrichtung | 25 kg | 80 kg | |
| Gesamtmasse | 17 kg | 17 kg | |
| Material | Aluminium | Aluminium | |
| Anschlüsse und Umgebung | H-850.G2V | H-850.H2V | Toleranz |
| Anschluss Versorgungsspannung | M12 4-polig (m) | M12 4-polig (m) | |
| Vakuumklasse | 10E-6 hPa | 10E-6 hPa | |
| Empfohlene Controller / Treiber | C-887.5xx | C-887.5xx | |
| Kabellänge | 2 m | 2 m | |
| Betriebstemperaturbereich | -10 bis 50 °C | -10 bis 50 °C | |
| Maximale Ausheiztemperatur | 80 °C | 80 °C | |
| Anschluss Datenübertragung | HD D-Sub 78-polig (m) | HD D-Sub 78-polig (m) |
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Präziser Hexapod-Mikroroboter, DC-Getriebemotor, Rotationsencoder, 25 kg Belastbarkeit, 2,5 mm/s Geschwindigkeit, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa, Kabelsatz 2 m vakuumseitig, Durchführung. Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
Präziser Hexapod-Mikroroboter, DC-Getriebemotor, Rotationsencoder, 80 kg Belastbarkeit, 0,15 mm/s Geschwindigkeit, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa, Kabelsatz 2 m vakuumseitig, Durchführung. Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
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EtherCAT Netzwerke integrieren PI-Controller als Slave. ACS Motion Controller können als EtherCAT Master oder untergeordnet in einer bestehenden Busarchitektur eingebunden werden.
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Hexapoden sind Systeme für die Bewegung und Positionierung, Justierung und Verschiebung von Lasten in sechs Achsen im Raum, linear und rotatorisch.
Positioning the Vacuum Chamber for X-ray Diffraction Experiment
Sample Manipulators in High-Vacuum
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.
At DESY in Hamburg, the P05 Imaging Beamline is operated by the HZG.
