3D-Oberflächeninspektion mit Weißlichtinterferometrie

Hochauflösende Kamerasysteme in Kombination mit Weißlichtinterferometrie

Mit hochentwickelten, berührungslosen und zerstörungsfreien Verfahren lassen sich Oberflächenkonturen und Rauigkeit mit Picometer-Auflösung in Echtzeit analysieren und das bei den verschiedensten Materialien. Dazu werden hochauflösende Kamerasysteme mit Weißlichtinterferometrie kombiniert.

Wichtige Voraussetzung für die keineswegs triviale Auswertung und das "Zusammensetzen" der einzelnen Messergebnisse zu aussagekräftigen Bilder ist eine schnelle und präzise Positionierung der Objektive.

Die Objektiv-Position muss genau dem jeweiligen Einzelbild zuordnen lassen, nur dann ist die hochpräzise 3D-Oberflächeninspektion überhaupt erst möglich.

Positioniersystem für den Revolver

Piezobasierte Positioniersysteme sind hier eine gute Wahl:
Sie lassen sich direkt im Mikroskop integrieren und bewegen den kompletten Revolver, so dass sich die unterschiedlichen Objektive nacheinander in Richtung der z-Achse hochpräzise verfahren lassen. Sie arbeiten verschleiß- und reibungsfrei sowie ohne Spiel. Außerdem können sie mit bis zu 10 g beschleunigen und eignen sich damit für die hohen Frequenzen, die für die 3D-Oberflächenmessung in Echtzeit erforderlich sind.

Hohe Fokusstabilität

Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen sorgen für eine hohe Fokusstabilität. Die Verfahrgenauigkeit der Kinematik liegt im Nanometerbereich. Die Festkörpergelenke zur Kraft- und Bewegungsübertragung arbeiten ebenfalls verschleißfrei.

Für die präzise Positionserfassung im Bewegungsablauf sorgen kapazitive Sensoren. Sie messen direkt und berührungslos den bewegten Teil der Mechanik (Direktmetrologie). Weder Reibung noch Hysterese beeinträchtigen die Messung. In Kombination mit der Positionsauflösung im Sub-Nanometer-Bereich werden so sehr gute Linearitätswerte erreicht.

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Broschüre: PI Produkte für die Mikroskopie

Schnell, Präzise und Kompakt
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Success Story: Schnelle, hochgenaue 3D-Oberflächeninspektion

Automatische Piezoaktoren positionieren Objektive
SUCCESS STORY pi1073D
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