P-611.XZ • P-611.2 XZ- und XY-Nanopositionierer

Aktive Achsen

X, Y

X, Y

X, Z

X, Z

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

–

DMS

–

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

120

120

120

120

µm

+20 % / -0 %

Stellweg, geregelt

100

–

100

–

µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

2

–

2

–

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,1

–

0,1

–

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<10

–

<10

–

nm

typ.

Neigen in X, Y

±5

±5

±5

±5

µrad

typ.

Verkippung θ_X (Bewegung in Z)

–

–

±10

±10

µrad

typ.

Gieren in X

±20

±20

±20

±20

µrad

typ.

Gieren in Y

±10

±10

–

–

µrad

typ.

Verkippung θ_Y (Bewegung in Z)

–

–

±10

±10

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

0,2

0,2

0,2

Z: 0,35

0,2

Z: 0,35

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

X: 345;

Y: 270

X: 345;

Y: 270

X: 365;

Z: 340

X: 365;

Z: 340

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 30 g

X: 270;

Y: 225

X: 270;

Y: 225

X: 280;

Z: 295

X: 280;

Z: 295

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 100 g

X: 180;

Y: 165

X: 180;

Y: 165

X: 185;

Z: 230

X: 185;

Z: 230

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

15 / 10

15 / 10

15 / 10

15 / 10

N

max.

Belastbarkeit

15

15

15

15

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

1,5

1,5

1,5

1,5

µF

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Abmessungen

44 mm × 44 mm × 25 mm

44 mm × 44 mm × 25 mm

44 mm × 44 mm × 34 mm

44 mm × 44 mm × 34 mm

Masse

0,235

0,235

0,27

0,27

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

LEMO

–

LEMO

–

Spannungsanschluss

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

Empfohlene Elektroniken

E-503, E-505, E-663, E-664, E-727

E-503, E-505, E-663, E-664, E-727

E-503, E-505, E-663, E-664, E-727

E-503, E-505, E-663, E-664, E-727