P-733.Z Hochdynamischer Z-Nanostelltisch

Direkte Positionsmessung und Apertur

P-733.Z Hochdynamischer Z-Nanostelltisch
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Stellweg 100 µm
  • Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren
  • Auflösung bis 0,3 nm, geregelt
  • Freie Apertur 50 mm × 50 mm
  • Weitere Versionen mit zusätzlichen Freiheitsgraden erhältlich
  • XY- und XYZ-Versionen verfügbar
  • Vakuumkompatible Versionen auf Anfrage

Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Konfokale Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Oberflächenmesstechnik
  • Nanoimprint
  • Mikromanipulation
  • Bildverarbeitung / -stabilisierung
  • Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-733.Z

Version / Datum
2020-10-29
Version / Datum
2020-10-29
Dokumentsprache
pdf - 2 MB
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Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-733.Z

Version / Datum
2020-10-29
Version / Datum
2020-10-29
Dokumentsprache
pdf - 2 MB
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Dokumentation

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx
Version / Datum
6.1.0 10/2019
Version / Datum
6.1.0 10/2019
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ103

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
Dokumentsprache
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3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-733.Z 3D Modell

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