P-733.Z Hochdynamischer Z-Nanostelltisch
Direkte Positionsmessung und Apertur
- Stellweg 100 µm
- Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren
- Auflösung bis 0,3 nm, geregelt
- Freie Apertur 50 mm × 50 mm
- Weitere Versionen mit zusätzlichen Freiheitsgraden erhältlich
- XY- und XYZ-Versionen verfügbar
- Vakuumkompatible Versionen auf Anfrage
Einsatzgebiete
- Scanning-Mikroskopie
- Konfokale Mikroskopie
- Masken- / Waferpositionierung
- Oberflächenmesstechnik
- Nanoimprint
- Mikromanipulation
- Bildverarbeitung / -stabilisierung
- Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Spezifikationen
Spezifikationen
P-733.ZCD / P-733.ZCL | Einheit | Toleranz | |
---|---|---|---|
Aktive Achsen | Z | ||
Bewegung und Positionieren | |||
Integrierter Sensor | Kapazitiv | ||
Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt | 115 | µm | +20 % / -0 % |
Stellweg, geregelt | 100 | µm | |
Auflösung, ungeregelt | 0,2 | nm | typ. |
Auflösung, geregelt | 0,3 | nm | typ. |
Linearitätsabweichung | 0,03 | % | typ. |
Wiederholgenauigkeit | <2 | nm | typ. |
Verkippung um Z | <10 | µrad | typ. |
Verkippung um X | <5 | µrad | typ. |
Verkippung um Y | <5 | µrad | typ. |
Mechanische Eigenschaften | |||
Steifigkeit | 2,5 | N/µm | ±20 % |
Resonanzfrequenz, unbelastet | 700 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz, belastet, 120 g | 530 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz, belastet, 200 g | 415 | Hz | ±20 % |
Druck- / Zugbelastbarkeit | 50 / 20 | N | max. |
Antriebseigenschaften | |||
Piezokeramik | PICMA® P-885 | ||
Elektrische Kapazität | 6 | µF | ±20 % |
Anschlüsse und Umgebung | |||
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 | °C | |
Material | Aluminium | ||
Abmessungen | 100 mm × 100 mm × 25 mm | ||
Masse | 580 | g | ±5 % |
Kabellänge | 1,5 | m | ±10 mm |
Sensor- / Spannungsanschluss | CD-Version: D-Sub 7W2 (m) CL-Version: LEMO | ||
Empfohlene Elektroniken | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-754 |
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ103
P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
3-D-Modelle
P-733.Z 3D Modell
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Technologie

PICMA® Technologie
Hohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.

Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.

Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.

Digitale Motion Controller
Digitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.

Kapazitive Sensoren
Präzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.