P-733.2 XY-Piezonanopositionierer

Hochpräziser XY-Scanner mit Apertur

  • Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X und Y
  • Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
  • Hochgeschwindigkeitsversionen mit Direktantrieb
  • Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen auf Anfrage
  • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
  • Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen
P-733.2 XY-Piezonanopositionierer
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Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Konfokale Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Oberflächenmesstechnik
  • Nanoimprint
  • Mikromanipulation
  • Bildverarbeitung / -stabilisierung
  • Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik

In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.

 

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-733.2

Version / Datum
2020-10-29
pdf - 435 KB
Version / Datum
2020-10-29
pdf - 439 KB
Version / Datum
2018-06-14
pdf - 728 KB
Version / Datum
2018-07-11
pdf - 809 KB

Downloads

Produktmitteilung

Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-733.2

Version / Datum
2020-10-29
pdf - 435 KB
Version / Datum
2020-10-29
pdf - 439 KB
Version / Datum
2018-06-14
pdf - 728 KB
Version / Datum
2018-07-11
pdf - 809 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ103

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
pdf - 2 MB
Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
pdf - 2 MB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-733 3D Modell

zip - 2 MB

Broschüre

Broschüre

Mikroskoptisch-Konfigurator

Probentische und -halter für inverse Mikroskope

Version / Datum
BRO70E R3D
pdf - 4 MB
Englisch

Angebot / Bestellung

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Versionen mit D-Sub-Stecker

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