P-733.2 XY-Piezo-Nanopositionierer

Hochpräziser XY-Scanner mit Apertur

Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X und Y
Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
Hochgeschwindigkeitsversionen mit Direktantrieb
Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen auf Anfrage
Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen

Angebot / Bestellung

P-733.2CD / .2CL, Abmessungen in mm

P-733.2DD, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Scanning-Mikroskopie
Konfokale Mikroskopie
Masken- / Waferpositionierung
Oberflächenmesstechnik
Nanoimprint
Mikromanipulation
Bildverarbeitung / -stabilisierung
Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik

In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.

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Datenblatt

Version / Datum

2024-04-08

pdf - 769 KB

Version / Datum

2024-04-08

pdf - 781 KB

Version / Datum

2018-06-14

pdf - 728 KB

Version / Datum

2018-07-11

pdf - 809 KB

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Toleranz
Aktive Achsen	X Y	X Y	X Y
Stellweg in X	100 µm	100 µm	30 µm
Stellweg in Y	100 µm	100 µm	30 µm
Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	115 µm	115 µm	33 µm	+20 / -0 %
Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	115 µm	115 µm	33 µm	+20 / -0 %
Linearitätsabweichung in X	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Linearitätsabweichung in Y	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X)	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y)	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Positionieren	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Toleranz
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Auflösung in X, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	0,1 nm	typ.
Auflösung in Y, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	0,1 nm	typ.
Integrierter Sensor	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung
Systemauflösung in X	0,3 nm	0,3 nm	0,1 nm	typ.
Systemauflösung in Y	0,3 nm	0,3 nm	0,1 nm	typ.
Antriebseigenschaften	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität in X	6 µF	6 µF	6,2 µF	±20 %
Elektrische Kapazität in Y	6 µF	6 µF	6,2 µF	±20 %
Mechanische Eigenschaften	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Toleranz
Steifigkeit in X	1,5 N/µm	1,5 N/µm	20 N/µm	±20 %
Steifigkeit in Y	1,5 N/µm	1,5 N/µm	20 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	500 Hz	500 Hz	2230 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 120 g	370 Hz	370 Hz		±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 200 g	340 Hz	340 Hz	1550 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, unbelastet	500 Hz	500 Hz	2230 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 120 g	370 Hz	370 Hz		±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 200 g	340 Hz	340 Hz	1550 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in X	50 N	50 N	50 N	max.
Zulässige Druckkraft in Y	50 N	50 N	50 N	max.
Zulässige Zugkraft in X	20 N	20 N	20 N	max.
Zulässige Zugkraft in Y	20 N	20 N	20 N	max.
Gesamtmasse	580 g	580 g	580 g	±5 %
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Anschlüsse und Umgebung	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	D-Sub 25W3 (m)	LEMO FFS.00.250.CTCE24	D-Sub 25W3 (m)
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m	±10 mm
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727
Sensoranschluss		LEMO FFA.00.250.CTLC31

P-733.2DD: Linearitätsabweichung mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Positionierer typ. bis 0,1 % betragen.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Version / Datum

2024-04-08

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