P-733.2 XY-Scanner

Hochpräziser XY-Scanner mit Apertur

Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X und Y
Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
Hochgeschwindigkeitsversionen mit Direktantrieb
Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen auf Anfrage
Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen

P-733.2CD / .2CL, Abmessungen in mm

P-733.2DD, Abmessungen in mm

Scanning-Mikroskopie
Konfokale Mikroskopie
Masken- / Waferpositionierung
Oberflächenmesstechnik
Nanoimprint
Mikromanipulation
Bildverarbeitung / -stabilisierung
Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.

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Datenblatt

Version / Datum

2020-10-29

pdf - 435 KB

Version / Datum

2020-10-29

pdf - 439 KB

Version / Datum

2018-06-14

pdf - 728 KB

Version / Datum

2018-07-11

pdf - 809 KB

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	P-733.2CD P-733.2CL	P-733.2DD	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	X, Y	X, Y
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	Kapazitiv	Kapazitiv
Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt	115 µm × 115 µm	33 µm × 33 µm		+20 % / -0 %
Stellweg, geregelt	100 µm × 100 µm	30 µm × 30 µm
Auflösung, ungeregelt	0,2	0,1	nm	typ.
Auflösung, geregelt	0,3	0,1	nm	typ.
Linearitätsabweichung (X, Y)	0,03	0,03*	%	typ.
Wiederholgenauigkeit (X, Y)	<2	<2	nm	typ.
Neigen (X, Y)	±3	±5	µrad	typ.
Gieren (X, Y)	±10	±10	µrad	typ.
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit	1,5	20	N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz unbelastet	500	2230	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz, belastet, 120 g	370	–	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz, belastet, 200 g	340	1550	Hz	±20 %
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung	50 / 20	50 / 20	N	max.
Antriebseigenschaften
Piezokeramik	PICMA® P-885	PICMA® P-885
Elektrische Kapazität	6 (pro Achse)	6,2 (pro Achse)	µF	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material	Aluminium	Aluminium
Masse	0,58	0,58	kg	±5 %
Kabellänge	1,5	1,5	m	±10 mm
Sensor- / Spannungsanschluss	CD-Version: D-Sub 25W3 (m) CL-Version: LEMO	D-Sub 25W3 (m)
Empfohlene Elektroniken	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727

* Mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Positionierer typ. bis 0,1 % betragen.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Datenblatt

Version / Datum

2020-10-29

pdf - 435 KB

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2020-10-29

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Version / Datum

2018-06-14

pdf - 728 KB

Version / Datum

2018-07-11

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Dokumentation

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum

1.1.0 2020-10-26

pdf - 2 MB

Version / Datum

1.1.0 2020-10-26

pdf - 2 MB

3-D-Modelle

zip - 2 MB

Broschüre

Probentische und -halter für inverse Mikroskope

Version / Datum

BRO70E R3D

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Angebot / Bestellung

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P-733.2DD

Hochdynamischer, hochpräziser XY-Nanopositionierer, 30 µm × 30 µm, Direktantrieb, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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P-733.2CD

Hochpräziser XY-Nanopositionierer, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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P-733.2CL

Hochpräziser XY-Nanopositionierer, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

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P-733.AP1

Adapterplatte zur Montage von P-733-Piezotischen auf M-545-Kreuztische und U-760-Kreuztisch-Systeme

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