P-587 6-Achsen-Piezopräzisionsversteller

Große Stellwege, mit direkter Positionsmessung

Zum Scannen und Positionieren in X, Y, Z, θ_X, θ_Y, θ_Z
Linearstellweg 800 µm × 800 µm × 200 µm
Rotation bis 1 mrad
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Kapazitive Sensoren für höchste Linearität
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Aktive Kompensation in allen 6 Freiheitsgraden

P-587, Abmessungen in mm

Interferometrie
Messtechnik
Nanoimprint
Halbleitertests
Halbleiterfertigung

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Download Datenblatt Spezifikationen

Datenblatt

Version / Datum

2018-05-08

pdf - 635 KB

Version / Datum

2018-05-08

pdf - 643 KB

Version / Datum

2018-06-07

pdf - 728 KB

Version / Datum

2018-07-18

pdf - 813 KB

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	P-587.6CD	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	X, Y, Z, θ_X, θ_Y, θ_Z
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	Kapazitiv
Stellweg in X, Y, geregelt	800	µm
Stellweg in Z, geregelt	200	µm
Kippwinkel in θ_X, θ_Y, geregelt	±0,5	mrad
Kippwinkel in θ_Z, geregelt	±0,5	mrad
Auflösung in X, Y, ungeregelt / geregelt	0,9 / 2,2	nm	typ.
Auflösung in Z, ungeregelt / geregelt	0,4 / 0,7	nm	typ.
Auflösung in θ_X, θ_Y, ungeregelt / geregelt	0,05 / 0,1	µrad	typ.
Auflösung in θ_Z, ungeregelt / geregelt	0,1 / 0,3	µrad	typ.
Linearitätsabweichung in X, Y, Z	0,01	%	typ.
Linearitätsabweichung in θ_X, θ_Y, θ_Z	0,1	%	typ.
Wiederholgenauigkeit in X, Y	±3	nm	typ.
Wiederholgenauigkeit in Z	±2	nm	typ.
Wiederholgenauigkeit in θ_X, θ_Y	±0,1	µrad	typ.
Wiederholgenauigkeit in θ_Z	±0,15	µrad	typ.
Ebenheit	<15	nm	typ.
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit in X / Y / Z	0,55 / 0,55 / 1,35	N / µm
Resonanzfrequenz unbelastet in X / Y / Z	103 / 103 / 235	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 500 g	88 / 88 / 175	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 2000 g	65 / 65 / 118	Hz	±20 %
Belastbarkeit*	5	kg	max.
Antriebseigenschaften
Keramiktyp	PICMA®
Elektrische Kapazität in X / Y / Z	81 / 81 / 18,4	µF	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	°C
Material	Aluminium
Masse	7,2	kg	±5 %
Kabellänge	3,0	m	±10 mm
Sensor- / Spannungsanschluss	2 × D-Sub 25W3 (m)
Empfohlene Elektroniken	E-712

* Bei horizontaler Einbaulage (auf Oberfläche stehend, nicht hängend).

Der maximale Rotationswinkel in θ_Z beträgt 8 mrad, die Kippwinkel in X und Y betragen 3 mrad.

Aufgrund der Parallelkinematik ist in der Extremposition der Kippwinkel keine lineare Bewegung in X oder Y gleichzeitig möglich.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Englisch

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Datenblatt

Version / Datum

2018-05-08

pdf - 635 KB

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2018-05-08

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Version / Datum

2018-06-07

pdf - 728 KB

Version / Datum

2018-07-18

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Dokumentation

P-587.6CD 6-Achsen-Nanopositioniersystem mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum

1.1.0 2022-04-22

pdf - 1 MB

Version / Datum

1.1.0 2022-04-22

pdf - 1 MB

Dokumentation

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.1.0 10/2019

pdf - 1 MB

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6.1.0 10/2019

pdf - 1 MB

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3-D-Modelle

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P-587.6CD

6-Achsen-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 800 µm × 800 µm × 200 µm, ±0,5 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren

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