P-587 6-Achsen-Piezopräzisionsversteller
Große Stellwege, mit direkter Positionsmessung
- Zum Scannen und Positionieren in X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Linearstellweg 800 µm × 800 µm × 200 µm
- Rotation bis 1 mrad
- Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
- Kapazitive Sensoren für höchste Linearität
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Aktive Kompensation in allen 6 Freiheitsgraden
Einsatzgebiete
- Interferometrie
- Messtechnik
- Nanoimprint
- Halbleitertests
- Halbleiterfertigung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen
Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.
Spezifikationen
Spezifikationen
P-587.6CD | Einheit | Toleranz | |
---|---|---|---|
Aktive Achsen | X, Y, Z, θX, θY, θZ | ||
Bewegung und Positionieren | |||
Integrierter Sensor | Kapazitiv | ||
Stellweg in X, Y, geregelt | 800 | µm | |
Stellweg in Z, geregelt | 200 | µm | |
Kippwinkel in θX, θY, geregelt | ±0,5 | mrad | |
Kippwinkel in θZ, geregelt | ±0,5 | mrad | |
Auflösung in X, Y, ungeregelt / geregelt | 0,9 / 2,2 | nm | typ. |
Auflösung in Z, ungeregelt / geregelt | 0,4 / 0,7 | nm | typ. |
Auflösung in θX, θY, ungeregelt / geregelt | 0,05 / 0,1 | µrad | typ. |
Auflösung in θZ, ungeregelt / geregelt | 0,1 / 0,3 | µrad | typ. |
Linearitätsabweichung in X, Y, Z | 0,01 | % | typ. |
Linearitätsabweichung in θX, θY, θZ | 0,1 | % | typ. |
Wiederholgenauigkeit in X, Y | ±3 | nm | typ. |
Wiederholgenauigkeit in Z | ±2 | nm | typ. |
Wiederholgenauigkeit in θX, θY | ±0,1 | µrad | typ. |
Wiederholgenauigkeit in θZ | ±0,15 | µrad | typ. |
Ebenheit | <15 | nm | typ. |
Mechanische Eigenschaften | |||
Steifigkeit in X / Y / Z | 0,55 / 0,55 / 1,35 | N / µm | |
Resonanzfrequenz unbelastet in X / Y / Z | 103 / 103 / 235 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 500 g | 88 / 88 / 175 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 2000 g | 65 / 65 / 118 | Hz | ±20 % |
Belastbarkeit* | 5 | kg | max. |
Antriebseigenschaften | |||
Keramiktyp | PICMA® | ||
Elektrische Kapazität in X / Y / Z | 81 / 81 / 18,4 | µF | ±20 % |
Anschlüsse und Umgebung | |||
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 | °C | |
Material | Aluminium | ||
Masse | 7,2 | kg | ±5 % |
Kabellänge | 3,0 | m | ±10 mm |
Sensor- / Spannungsanschluss | 2 × D-Sub 25W3 (m) | ||
Empfohlene Elektroniken | E-712 |
Downloads
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ251
P-587.6CD 6-Achsen-Nanopositioniersystem mit kapazitiven Sensoren
3-D-Modelle
3D-Modell P-587.6CD
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Technologie

PICMA® Technologie
Hohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.

Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.

Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.

Digitale Motion Controller
Digitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.

Kapazitive Sensoren
Präzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.