P-561.3CD
PIMars Nanopositioniertisch; 100 µm × 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m)
P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch
Hochpräziser Nanopositionierer für bis zu 3 Achsen
- Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik in den Achsen X und Y
- Stellwege bis 300 × 300 × 300 µm
- Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Exzellente Scan-Ebenheit
- Hochdynamische XYZ-Version
- Freie Apertur 66 mm × 66 mm
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- UHV-Versionen bis 10-9 hPa
Ansprechverhalten des P-562.3CD: Einschwingen in weniger als 10 ms in X, Y und Z.
P-56x.3CD und P-56x.3CL, Abmessungen in mm
P-561.3DD, Abmessungen in mm
P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch
Produktbeschreibung
Spezifikationen
Downloads
Angebot / Bestellung
Einsatzgebiete
- Scanning-Mikroskopie
- Masken- / Waferpositionierung
- Interferometrie
- Messtechnik
- Biotechnologie
- Scanning und Screening
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung
Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.
Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen
Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
| Bewegen | P-561.3CD | P-561.3CL | P-562.3CD | P-562.3CL | P-563.3CD | P-563.3CL | P-561.3DD | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X Y Z | X Y Z | X Y Z | X Y Z | X Y Z | X Y Z | X Y Z | |
| Stellweg in X | 100 µm | 100 µm | 200 µm | 200 µm | 300 µm | 300 µm | 45 µm | |
| Stellweg in Y | 100 µm | 100 µm | 200 µm | 200 µm | 300 µm | 300 µm | 45 µm | |
| Stellweg in Z | 100 µm | 100 µm | 200 µm | 200 µm | 300 µm | 300 µm | 15 µm | |
| Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 150 µm | 150 µm | 300 µm | 300 µm | 340 µm | 340 µm | 58 µm | +20 / -0 % |
| Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 150 µm | 150 µm | 300 µm | 300 µm | 340 µm | 340 µm | 58 µm | +20 / -0 % |
| Stellweg in Z, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 150 µm | 150 µm | 300 µm | 300 µm | 340 µm | 340 µm | 18 µm | +20 / -0 % |
| Linearitätsabweichung in X | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | max. |
| Linearitätsabweichung in Y | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | max. |
| Linearitätsabweichung in Z | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,08 % | max. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in X bei Bewegung in Z) | ± 30 nm | ± 30 nm | ± 50 nm | ± 50 nm | ± 50 nm | ± 50 nm | ± 20 nm | typ. |
| Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in Z) | ± 30 nm | ± 30 nm | ± 50 nm | ± 50 nm | ± 50 nm | ± 50 nm | ± 20 nm | typ. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X) | ± 15 nm | ± 15 nm | ± 20 nm | ± 20 nm | ± 25 nm | ± 25 nm | ± 10 nm | typ. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in Y) | ± 15 nm | ± 15 nm | ± 20 nm | ± 20 nm | ± 25 nm | ± 25 nm | ± 10 nm | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y) | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 2 µrad | ± 2 µrad | ± 2 µrad | ± 2 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z) | ± 15 µrad | ± 15 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 2 µrad | ± 2 µrad | ± 2 µrad | ± 2 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z) | ± 15 µrad | ± 15 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 6 µrad | ± 6 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y) | ± 6 µrad | ± 6 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Positionieren | P-561.3CD | P-561.3CL | P-562.3CD | P-562.3CL | P-563.3CD | P-563.3CL | P-561.3DD | Toleranz |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 4 nm | ± 4 nm | ± 4 nm | ± 4 nm | ± 2 nm | typ. |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,4 nm | 0,4 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,1 nm | typ. |
| Auflösung in Y, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,4 nm | 0,4 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,1 nm | typ. |
| Auflösung in Z, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,4 nm | 0,4 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,1 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | |
| Systemauflösung in X | 0,8 nm | 0,8 nm | 1 nm | 1 nm | 2 nm | 2 nm | 0,2 nm | |
| Systemauflösung in Y | 0,8 nm | 0,8 nm | 1 nm | 1 nm | 2 nm | 2 nm | 0,2 nm | |
| Systemauflösung in Z | 0,8 nm | 0,8 nm | 1 nm | 1 nm | 2 nm | 2 nm | 0,2 nm | |
| Antriebseigenschaften | P-561.3CD | P-561.3CL | P-562.3CD | P-562.3CL | P-563.3CD | P-563.3CL | P-561.3DD | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität in X | 5,2 µF | 5,2 µF | 7,4 µF | 7,4 µF | 7,4 µF | 7,4 µF | 38 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Y | 5,2 µF | 5,2 µF | 7,4 µF | 7,4 µF | 7,4 µF | 7,4 µF | 38 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Z | 10,4 µF | 10,4 µF | 14,8 µF | 14,8 µF | 14,8 µF | 14,8 µF | 6 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-561.3CD | P-561.3CL | P-562.3CD | P-562.3CL | P-563.3CD | P-563.3CL | P-561.3DD | Toleranz |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 190 Hz | 190 Hz | 160 Hz | 160 Hz | 140 Hz | 140 Hz | 920 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 350 g | 150 Hz | 150 Hz | 125 Hz | 125 Hz | 93 Hz | 93 Hz | 640 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 190 Hz | 190 Hz | 160 Hz | 160 Hz | 140 Hz | 140 Hz | 920 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 350 g | 150 Hz | 150 Hz | 125 Hz | 125 Hz | 93 Hz | 93 Hz | 640 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 380 Hz | 380 Hz | 315 Hz | 315 Hz | 250 Hz | 250 Hz | 1050 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 350 g | 260 Hz | 260 Hz | 211 Hz | 211 Hz | 148 Hz | 148 Hz | 695 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 60 N | 60 N | 50 N | 50 N | 40 N | 40 N | 200 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 60 N | 60 N | 50 N | 50 N | 40 N | 40 N | 200 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 100 N | 100 N | 60 N | 60 N | 30 N | 30 N | 250 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 30 N | 30 N | 70 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 30 N | 30 N | 70 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 100 N | 100 N | 60 N | 60 N | 30 N | 30 N | 60 N | max. |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Direktantrieb | |
| Gesamtmasse | 1450 g | 1450 g | 1450 g | 1450 g | 1450 g | 1450 g | 1550 g | ±5 % |
| Material | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g | 145 Hz | 145 Hz | 120 Hz | 120 Hz | 860 Hz | ±20 % | ||
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g | 145 Hz | 145 Hz | 120 Hz | 120 Hz | 860 Hz | ±20 % | ||
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g | 275 Hz | 275 Hz | 215 Hz | 215 Hz | 950 Hz | ±20 % | ||
| Anschlüsse und Umgebung | P-561.3CD | P-561.3CL | P-562.3CD | P-562.3CL | P-563.3CD | P-563.3CL | P-561.3DD | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Anschluss | D-Sub 25W3 (m) | LEMO LVPZT | D-Sub 25W3 (m) | LEMO LVPZT | D-Sub 25W3 (m) | LEMO LVPZT | D-Sub 25W3 (m) | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | +50 / -0 mm |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 |
Linearitätsabweichung des P-561.3DD: Mit Digitalcontroller. Die mit Analogcontrollern gemessene Linearitätsabweichung von direkt getriebenen Positionierern beträgt typischerweise bis zu 0,1 %.
Parallelkinematik nur für die Achsen X und Y verfügbar (nicht in Z).
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Superinvar- und Titan-Versionen verfügbar.
Sonderausführungen auf Anfrage.
Downloads
Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Technical Note P500T0002
Unpacking and Packing P-5xx Positioners
Version / Datum
2019-03-04
pdf - 448 KB
Englisch
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ248
P-561, P-562, P-563 PIMars XYZ-Nanopositioniersysteme
Version / Datum
2.1.0 2023-11-20
pdf - 2 MB
Version / Datum
2.1.0 2023-11-20
pdf - 2 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-56x 3D-Modell
zip - 3 MB
Angebot / Bestellung
Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie Ihre gewünschte Modifikation.
P-561.3CL
PIMars Nanopositioniertisch; 100 µm × 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; LEMO LVPZT
P-562.3CD
PIMars Nanopositioniertisch; 200 µm × 200 µm × 200 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m)
P-562.3CL
PIMars Nanopositioniertisch; 200 µm × 200 µm × 200 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; LEMO LVPZT
P-563.3CD
PIMars Nanopositioniertisch; 300 µm × 300 µm × 300 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m)
P-563.3CL
PIMars Nanopositioniertisch; 300 µm × 300 µm × 300 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; LEMO LVPZT
P-561.3DD
PIMars Nanopositioniertisch; 45 µm × 45 µm × 15 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m); Direktantrieb
Angebot anfordern
Auf ANGEBOT / BESTELLUNG klicken
Variante zur Anfrageliste hinzufügen
Anfrageformular ausfüllen
Preisanfrage an PI senden
Wir werden Sie in Kürze kontaktieren
Fragen Sie den Fachmann!
Erhalten Sie innerhalb kürzester Zeit per E-Mail oder Telefon eine Rückmeldung zu Ihren Fragen von einem PI Vertriebsingenieur.
Kompatible Elektroniken
Kompatibles Zubehör
Verwandte Produkte
Technologie
PICMA® Technologie
Hohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.
Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.
Digitale Motion Controller
Digitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.
Kapazitive Sensoren
Präzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.
Piezopositioniersysteme mit paralleler Kinematik
Der Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.