P-561.3CD
PIMars XYZ-Nanopositionierer mit großem Stellweg, 100 µm × 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch
Hochpräziser Nanopositionierer für bis zu 3 Achsen
- Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
- Stellwege bis 300 × 300 × 300 µm
- Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Exzellente Scan-Ebenheit
- Hochdynamische XYZ-Version
- Freie Apertur 66 mm × 66 mm
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- UHV-Versionen bis 10-9 hPa
P-56x.3CD und P-56x.3CL, Abmessungen in mm
P-561.3DD, Abmessungen in mm
Ansprechverhalten des P-562.3CD: Einschwingen in weniger als 10 ms in X, Y und Z.
P-561.3DD
P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch
Produktbeschreibung
Spezifikationen
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Einsatzgebiete
- Scanning-Mikroskopie
- Masken- / Waferpositionierung
- Interferometrie
- Messtechnik
- Biotechnologie
- Scanning und Screening
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung
Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.
Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen
Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.
Spezifikationen
Spezifikationen
| P-561.3CD P-561.3CL | P-562.3CD P-562.3CL | P-563.3CD P-563.3CL | P-561.3DD | Einheit | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit geregeltem Stellweg von | 100 × 100 × 100 | 200 × 200 × 200 | 300 × 300 × 300 | 45 × 45 × 15, Direktantrieb | µm |
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Bewegung und Positionieren |
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Integrierter Sensor | Kapazitiv | Kapazitiv | Kapazitiv | Kapazitiv |
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Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt | 150 × 150 × 150 | 300 × 300 × 300 | 340 × 340 × 340 | 58 × 58 × 18 | µm | +20 % / -0 % |
Auflösung, ungeregelt | 0,2 | 0,4 | 0,5 | 0,1 | nm | typ. |
Auflösung, geregelt | 0,8 | 1 | 2 | 0,2 | nm | typ. |
Linearitätsabweichung | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,01* | % | typ. |
Wiederholgenauigkeit in X / Y / Z | 2 / 2 / 2 | 2 / 2 / 4 | 2 / 2 / 4 | 2 / 2 / 2 | nm | typ. |
Neigen in X, Y | ±1 | ±2 | ±2 | ±3 | µrad | typ. |
Übersprechen θX, θY (Bewegung in Z) | ±15 | ±20 | ±25 | ±3 | µrad | typ. |
Gieren in X, Y | ±6 | ±10 | ±10 | ±3 | µrad | typ. |
Ebenheit in X, Y | ±15 | ±20 | ±25 | ±10 | nm | typ. |
Übersprechen in X, Y (Bewegung in Z) | ±30 | ±50 | ±50 | ±20 | nm | typ. |
Mechanische Eigenschaften |
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Resonanzfrequenz unbelastet in X / Y / Z | 190 / 190 / 380 | 160 / 160 / 315 | 140 / 140 / 250 | 920 / 920 / 1050 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 100 g | - | 145 / 145 / 275 | 120 / 120 / 215 | 860 / 860 / 950 | Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 330 g | 140 / 140 / 300 | 130 / 130 / 195 | 110 / 110 / 170 | 500 / 500 / 470 | Hz | ±20 % |
Belastbarkeit** | 5 | 5 | 5 | 5 | kg | max. |
Antriebseigenschaften |
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Piezokeramik | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 | PICMA® P-885 in Z, P-888 in XY |
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Elektrische Kapazität in X / Y / Z | 5,2 / 5,2 / 10,4 | 7,4 / 7,4 / 14,8 | 7,4 / 7,4 / 14,8 | 38 / 38 / 6 | µF | ±20 % |
Anschlüsse und Umgebung |
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Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 | -20 bis 80 | -20 bis 80 | -20 bis 80 | °C |
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Material | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium |
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Masse | 1,45 | 1,45 | 1,45 | 1,55 | kg | ±5 % |
Sensor- / Spannungsanschluss | CD-Version: D-Sub 25W3 (m), 1,5 m Kabel CL-Version: LEMO | CD-Version: D-Sub 25W3 (m), 1,5 m Kabel CL-Version: LEMO | CD-Version: D-Sub 25W3 (m), 1,5 m Kabel CL-Version: LEMO | CD-Version: D-Sub 25W3 (m), 1,5 m Kabel CL-Version: LEMO | ||
Empfohlene Elektroniken | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 |
* Mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Positionierer typ. bis 0,1 % betragen.
** Bei horizontaler Einbaulage (auf Oberfläche stehend, nicht hängend).
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
Superinvar- und Titan-Versionen verfügbar.
Downloads
Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Technical Note P500T0002
Unpacking and Packing P-5xx Positioners
Version / Datum
2019-03-04
pdf - 448 KB
Englisch
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ248
P-561, P-562, P-563 PIMars XYZ-Nanopositioniersysteme
Version / Datum
2013-11-22
pdf - 947 KB
Version / Datum
2013-11-22
pdf - 972 KB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-56x 3D-Modell
zip - 3 MB
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P-561.3CL
PIMars XYZ-Nanopositionierer mit großem Stellweg, 100 µm × 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
P-561.3DD
PIMars Hochdynamischer XYZ-Nanopositionierer, 45 µm × 45 µm × 15 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, Direktantrieb
P-562.3CD
PIMars XYZ-Nanopositionierer mit großem Stellweg, 200 µm × 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
P-562.3CL
PIMars XYZ-Nanopositionierer mit großem Stellweg, 200 µm × 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
P-563.3CD
PIMars XYZ-Nanopositionierer mit großem Stellweg, 300 µm × 300 µm × 300 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
P-563.3CL
PIMars XYZ-Nanopositionierer mit großem Stellweg, 300 µm × 300 µm × 300 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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PICMA® Technologie
Hohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.
Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.
Digitale Motion Controller
Digitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.
Kapazitive Sensoren
Präzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.
Parallele Kinematik
Der Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.