P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

Hochpräziser Nanopositionierer für bis zu 3 Achsen

P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

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P-56x.3CD und P-56x.3CL, Abmessungen in mm

Ansprechverhalten des P-562.3CD: Einschwingen in weniger als 10 ms in X, Y und Z.

Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Stellwege bis 300 × 300 × 300 µm
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Exzellente Scan-Ebenheit
Hochdynamische XYZ-Version
Freie Apertur 66 mm × 66 mm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
UHV-Versionen bis 10^-9 hPa

Scanning-Mikroskopie
Masken- / Waferpositionierung
Interferometrie
Messtechnik
Biotechnologie
Scanning und Screening

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

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Datenblatt

Datenblatt P-561 • P-562 • P-563

Version / Datum

2018-05-08

Version / Datum

2018-05-08

Version / Datum

2018-06-20

Version / Datum

2018-07-02

Dokumentsprache

pdf - 762 KB

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pdf - 856 KB

pdf - 932 KB

	P-561.3CD P-561.3CL	P-562.3CD P-562.3CL	P-563.3CD P-563.3CL	P-561.3DD	Einheit	Toleranz
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit geregeltem Stellweg von	100 × 100 × 100	200 × 200 × 200	300 × 300 × 300	45 × 45 × 15, Direktantrieb	µm
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	Kapazitiv	Kapazitiv	Kapazitiv	Kapazitiv
Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt	150 × 150 × 150	300 × 300 × 300	340 × 340 × 340	58 × 58 × 18	µm	+20 % / -0 %
Auflösung, ungeregelt	0,2	0,4	0,5	0,1	nm	typ.
Auflösung, geregelt	0,8	1	2	0,2	nm	typ.
Linearitätsabweichung	0,03	0,03	0,03	0,01*	%	typ.
Wiederholgenauigkeit in X / Y / Z	2 / 2 / 2	2 / 2 / 4	2 / 2 / 4	2 / 2 / 2	nm	typ.
Neigen in X, Y	±1	±2	±2	±3	µrad	typ.
Übersprechen θ_X, θ_Y (Bewegung in Z)	±15	±20	±25	±3	µrad	typ.
Gieren in X, Y	±6	±10	±10	±3	µrad	typ.
Ebenheit in X, Y	±15	±20	±25	±10	nm	typ.
Übersprechen in X, Y (Bewegung in Z)	±30	±50	±50	±20	nm	typ.
Mechanische Eigenschaften
Resonanzfrequenz unbelastet in X / Y / Z	190 / 190 / 380	160 / 160 / 315	140 / 140 / 250	920 / 920 / 1050	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 100 g	-	145 / 145 / 275	120 / 120 / 215	860 / 860 / 950	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 330 g	140 / 140 / 300	130 / 130 / 195	110 / 110 / 170	500 / 500 / 470	Hz	±20 %
Belastbarkeit**	5	5	5	5	kg	max.
Antriebseigenschaften
Piezokeramik	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-885 in Z, P-888 in XY
Elektrische Kapazität in X / Y / Z	5,2 / 5,2 / 10,4	7,4 / 7,4 / 14,8	7,4 / 7,4 / 14,8	38 / 38 / 6	µF	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Masse	1,45	1,45	1,45	1,55	kg	±5 %
Sensor- / Spannungsanschluss	CD-Version: D-Sub 25W3 (m), 1,5 m Kabel CL-Version: LEMO	CD-Version: D-Sub 25W3 (m), 1,5 m Kabel CL-Version: LEMO	CD-Version: D-Sub 25W3 (m), 1,5 m Kabel CL-Version: LEMO	CD-Version: D-Sub 25W3 (m), 1,5 m Kabel CL-Version: LEMO
Empfohlene Elektroniken	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727

* Mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Positionierer typ. bis 0,1 % betragen.

** Bei horizontaler Einbaulage (auf Oberfläche stehend, nicht hängend).

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

Superinvar- und Titan-Versionen verfügbar.

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Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum

2021-04-19

Dokumentsprache Englisch

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Datenblatt

Datenblatt P-561 • P-562 • P-563

Version / Datum

2018-05-08

Version / Datum

2018-05-08

Version / Datum

2018-06-20

Version / Datum

2018-07-02

Dokumentsprache

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Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Dokumentsprache

Download

pdf - 1 MB

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Dokumentation

Technical Note P500T0002

Unpacking and Packing P-5xx Positioners

Version / Datum

2019-03-04

Dokumentsprache Englisch

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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ248

P-561, P-562, P-563 PIMars XYZ-Nanopositioniersysteme

Version / Datum

2013-11-22

Version / Datum

2013-11-22

Dokumentsprache

Anfrage Downloadlink

3-D-Modelle

P-56x 3D-Modell

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Zu Angebot / Bestellung

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P-561.3CD

PIMars XYZ-Nanopositionierer mit großem Stellweg, 100 µm × 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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P-561.3CL

PIMars XYZ-Nanopositionierer mit großem Stellweg, 100 µm × 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

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P-561.3DD

PIMars Hochdynamischer XYZ-Nanopositionierer, 45 µm × 45 µm × 15 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, Direktantrieb

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P-562.3CD

PIMars XYZ-Nanopositionierer mit großem Stellweg, 200 µm × 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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