P-363.2CD
PicoCube® XY-Nanopositionierer, hochpräzise, 5 µm × 5 µm, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
P-363 PicoCube® XY(Z) Piezoscanner
Dynamischer Nanopositionierer für die Rastersondenmikroskopie
- Positionsgeregelter Ultrahochleistungsscanner für AFM / SPM
- Kompaktes Manipulations-Tool für Bio- / Nanotechnologie
- Resonanzfrequenz 9,8 kHz für besonders schnelles Scannen
- Parallele Positionsmessung für automatische Führungsfehlerkompensation
- Auflösung 50 Picometer
- Stellweg 5 µm × 5 µm × 5 µm
P-363.3Cx, Abmessungen in mm. Deckplatte abnehmbar.
P-363.2Cx, Abmessungen in mm. Deckplatte abnehmbar.
Der P-363 kann schon nach 1 ms eine Genauigkeit von 1 nm erreichen (100-nm-Schritt in X bzw. Y; schnellere Reaktion in Z).
300-Picometer-Schritte (0,3 nm) mit dem P-363; gemessen mit externem hochauflösendem kapazitivem Messsystem.
P-363.3Cx, dimensions in mm. Removable top plate.
P-363.2Cx, dimensions in mm. Removable top plate.
The P-363 is already in a position to achieve an accuracy of 1 nm after 1 ms (100-nm step in X respectively Y; faster reaction in Z).
300-picometer steps (0.3 nm) with the P-363; measured with external high-resolution capacitive measuring system.
P-363 PicoCube® XY(Z) Piezoscanner
Produktbeschreibung
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Einsatzgebiete
- Rastersondenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskopie
- Scanning und Screening
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung
Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.
Spezifikationen
Spezifikationen
P-363.3CD | P-363.2CD | Einheit | Toleranz | |
|---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X, Y, Z | X, Y | ||
Bewegung und Positionieren | ||||
Integrierter Sensor | Kapazitiv | Kapazitiv | ||
Stellweg in X, Y bei -250 bis +250 V, ungeregelt | ±3 | ±3 | µm | +20 % |
Stellweg in Z bei -250 bis +250 V, ungeregelt | ±2,7 | - | µm | +20 % |
Stellweg in X, Y, geregelt | ±2,5 | ±2,5 | µm | |
Stellweg in Z, geregelt | ±2,5 | - | µm | |
Auflösung, ungeregelt* | 0,03 | 0,03 | nm | typ. |
Auflösung, geregelt | 0,1 | 0,1 | nm | |
Linearitätsabweichung | 0,05 | 0,05 | % | typ. |
Wiederholgenauigkeit** | 1 | 1 | nm | typ. |
Neigen, Gieren in X, Y | 0,5 | 0,5 | µrad | typ. |
Verkippung bei Bewegung in Z | 0,2 | - | µrad | typ. |
Geradheit in X, Y | 3 | 3 | nm | typ. |
Ebenheit in X, Y | <10 | <10 | nm | typ. |
Übersprechen bei Bewegung in Z | 5 | - | nm | typ. |
Mechanische Eigenschaften | ||||
Resonanzfrequenz unbelastet in X, Y | 3,1 | 4,2 | kHz | ±20 % |
Resonanzfrequenz unbelastet in Z | 9,8 | - | kHz | ±20 % |
Resonanzfrequenz belastet in X, Y | 1,5 (20 g) | 2,1 (20 g) | kHz | ±20 % |
Belastbarkeit | 10 | 10 | N | max. |
Keramiktyp | PICA, PICA Shear | PICA Shear | ||
Anschlüsse und Umgebung | ||||
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 | -20 bis 80 | °C | |
Material | Titan | Titan | ||
Abmessungen | 30 mm × 30 mm × 40 mm | 30 mm × 30 mm × 28 mm | ||
Masse | 225 | 190 | g | ±5 % |
Kabellänge | 1,5 | 1,5 | m | ±10 mm |
Sensor- / Spannungsanschluss | D-Sub 24W7 (m) | D-Sub 24W7 (m) | ||
Empfohlene Elektroniken | E-536 | E-536 |
* Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
** Bei 10 % Auslenkung; 50 nm bei voller Auslenkung.
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ304
P-363 Positionierer
Version / Datum
1.0.0 2020-12-18
pdf - 1 MB
Version / Datum
1.0.0 2020-12-18
pdf - 1 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-363 3D-Modell
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