P-363 PicoCube® XY(Z) Piezoscanner
Dynamischer Nanopositionierer für die Rastersondenmikroskopie
- Positionsgeregelter Ultrahochleistungsscanner für AFM / SPM
- Kompaktes Manipulations-Tool für Bio- / Nanotechnologie
- Resonanzfrequenz 9,8 kHz für besonders schnelles Scannen
- Parallele Positionsmessung für automatische Führungsfehlerkompensation
- Auflösung 50 Picometer
- Stellweg 5 µm × 5 µm × 5 µm
Einsatzgebiete
- Rastersondenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskopie
- Scanning und Screening
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung
Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.
Spezifikationen
Spezifikationen
P-363.3CD | P-363.2CD | Einheit | Toleranz | |
---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X, Y, Z | X, Y | ||
Bewegung und Positionieren | ||||
Integrierter Sensor | Kapazitiv | Kapazitiv | ||
Stellweg in X, Y bei -250 bis +250 V, ungeregelt | ±3 | ±3 | µm | +20 % |
Stellweg in Z bei -250 bis +250 V, ungeregelt | ±2,7 | - | µm | +20 % |
Stellweg in X, Y, geregelt | ±2,5 | ±2,5 | µm | |
Stellweg in Z, geregelt | ±2,5 | - | µm | |
Auflösung, ungeregelt* | 0,03 | 0,03 | nm | typ. |
Auflösung, geregelt | 0,1 | 0,1 | nm | |
Linearitätsabweichung | 0,05 | 0,05 | % | typ. |
Wiederholgenauigkeit** | 1 | 1 | nm | typ. |
Neigen, Gieren in X, Y | 0,5 | 0,5 | µrad | typ. |
Verkippung bei Bewegung in Z | 0,2 | - | µrad | typ. |
Geradheit in X, Y | 3 | 3 | nm | typ. |
Ebenheit in X, Y | <10 | <10 | nm | typ. |
Übersprechen bei Bewegung in Z | 5 | - | nm | typ. |
Mechanische Eigenschaften | ||||
Resonanzfrequenz unbelastet in X, Y | 3,1 | 4,2 | kHz | ±20 % |
Resonanzfrequenz unbelastet in Z | 9,8 | - | kHz | ±20 % |
Resonanzfrequenz belastet in X, Y | 1,5 (20 g) | 2,1 (20 g) | kHz | ±20 % |
Belastbarkeit | 10 | 10 | N | max. |
Keramiktyp | PICA, PICA Shear | PICA Shear | ||
Anschlüsse und Umgebung | ||||
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 | -20 bis 80 | °C | |
Material | Titan | Titan | ||
Abmessungen | 30 mm × 30 mm × 40 mm | 30 mm × 30 mm × 28 mm | ||
Masse | 225 | 190 | g | ±5 % |
Kabellänge | 1,5 | 1,5 | m | ±10 mm |
Sensor- / Spannungsanschluss | D-Sub 24W7 (m) | D-Sub 24W7 (m) | ||
Empfohlene Elektroniken | E-536 | E-536 |
Downloads
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ304
P-363 Positionierer
3-D-Modelle
P-363 3D-Modell
Angebot / Bestellung
Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie ihre gewünschte Modifikation. Produkte, die online verfügbar sind, können Sie direkt bestellen.
Fragen Sie den Fachmann!
Erhalten Sie innerhalb kürzester Zeit per E-Mail oder Telefon eine Rückmeldung zu Ihren Fragen von einem PI Vertriebsingenieur.
Technologie

Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.

Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.

Digitale Motion Controller
Digitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.

Kapazitive Sensoren
Präzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.

Parallele Kinematik
Der Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.