P-611.XZ • P-611.2 XZ- und XY-Nanopositionierer

Kompaktes zweiachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung

Kompakt: Grundfläche 44 mm × 44 mm
Stellweg bis 120 µm × 120 µm
Auflösung bis 0,2 nm
Besonders kostengünstige Systeme
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Auch als Linear- und Hubtisch und als XYZ-Version erhältlich


P-611.2S

P-611.20

P-611.XZS

P-611.XZ0

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y

X, Z

X, Z


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

DMS

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

120

120

120

120

µm

min. (+20% / -0%)

Stellweg, geregelt

100

100

µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

2

2

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,1

0,1

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<10

<10

nm

typ.

Neigen in X, Y

±5

±5

±5

±5

µrad

typ.

Verkippung θX (Bewegung in Z)

±10

±10

µrad

typ.

Gieren in X

±20

±20

±20

±20

µrad

typ.

Gieren in Y

±10

±10

µrad

typ.

Verkippung θY (Bewegung in Z)

±10

±10

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

0,2

0,2

0,2Z: 0,35

0,2Z: 0,35

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

X: 345;Y: 270

X: 345;Y: 270

X: 365;Z: 340

X: 365;Z: 340

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 30 g

X: 270; Y: 225

X: 270; Y: 225

X: 280; Z: 295

X: 280; Z: 295

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 100 g

X: 180; Y: 165

X: 180; Y: 165

X: 185; Z: 230

X: 185;Z: 230

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

15 / 10

15 / 10

15 / 10

15 / 10

N

max.

Belastbarkeit

15

15

15

15

N

max.


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

1,5

1,5

1,5

1,5

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

1,9

1,9

1,9

1,9

µA / (Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Abmessungen

44 mm × 44 mm × 25 mm

44 mm × 44 mm × 25 mm

44 mm × 44 mm × 34 mm

44 mm × 44 mm × 34 mm

Masse

0,235

0,235

0,27

0,27

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

LEMO

LEMO

Spannungsanschluss

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker.

Dynamischer Stromkoeffizient in µA pro Hertz und µm. Beispiel: Sinusbetrieb mit 50 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 0,9 mA Strom.

Empfohlene Controller / Verstärker

E-610 Piezoverstärker / Servocontroller, 1 Kanal

E-625 Piezoservocontroller, 1 Kanal

E-621 Piezoservocontroller, 1 Kanal

E-500 Modularer Piezocontroller mit E-503 Piezoverstärkermodul, 3 Kanäle

E-505 Piezoverstärkermodul (1 je Achse, hohe Leistung) mit E-509 Sensorauswertung / Regler

Zeichnungen / Bilder

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-611.XZ • P-611.2

XZ- und XY-Nanopositionierer kompaktes zweiachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch PZ253

P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
1.0.0
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pdf - 1 MB
pdf

Technical Note P611T0006

Unpacking und Handling von P-611 Nanopositioniersystemen
2014-07-29
Englisch
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3D Modelle

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P-611.XY P-611.2 STEP

Alle
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