Jonas Schansker, Entwicklungingenieur Sensorik bei PI, beschreibt in einem Whitepaper die Regelung von PI Positionierern mittels externem Zygo-Interferometer. Er erläutert dabei den Versuchsaufbau, zeigt die Messergebnisse bei Einsatz des Interferometers im Vergleich mit denen des internen Sensors und geht auf die Anwendbarkeit des Messverfahrens mittels Intreferometer und Ausnahmen ein.
Lesen Sie mehr dazu im neuen Whitepaper „Regelung von PI Positionierern mittels externem Zygo-Interferometer“!
