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Y-MIC-12xx Measurement Logs

Ergänzende Nachweise der Präzision, Dynamik und Vakuumtauglichkeit

Y-MIC-12xx Measurement Logs
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Messungen von Position, Neigen, Gieren, Geradheit und Ebenheit
  • Dynamikmessungen der kleinsten Schrittweite und Geschwindigkeit
  • Hoch- und Ultrahochvakuummessungen (HV & UHV), in bis zu 240 l-Kammern

Individuelle und detaillierte Testzusammenstellung

Auf Anfrage können ergänzende Messungen bei PI durchgeführt werden, um die Leistungswerte der Produkte detailliert zu ermitteln und einzeln nachzuweisen. Dadurch können für den speziellen Anwendungsfall die notwendigen Messdaten mittels verschiedener Parameter zusammengestellt und einzeln dokumentiert werden.

Ergänzende Messungen der Präzision, Geometrie und Dynamik

Produktoberflächen, Dynamik- und Bewegungsprofile kombinierter Produkte können mittels Interferometern gemessen und separat nachgewiesen werden.

Ergänzende Messungen in Vakuumumgebungen

Für vakuumgeeignete Produkte können in Vakuumkammern mit einem Volumen von 10 l bzw. 240 l Restgasanalysen (RGA) durchgeführt werden. Dabei wird während des gesamten Tests der Kammerdruck aufgezeichnet. Am Ende des Tests wird die RGA (0 - 200 amu) durchgeführt. Als Ergebnis werden der Druckverlauf der einzelnen Phasen (Abpumpen, Ausheizen, Abkühlen) sowie das RGA-Spektrum bereitgestellt. Auf Anfrage können zusätzliche RGA-Spektren, z. B. nach dem Abpumpen bzw. nach dem Ausheizen, aufgenommen werden.

Die Messprotokolle sind ausschließlich für PI miCos gefertigte Produkte bestellbar.

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt Y-MIC-12xx

Version / Datum
2019-12-18
Version / Datum
2019-12-18
Dokumentsprache
pdf - 743 KB
pdf - 753 KB

Angebot / Bestellung

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