P-405 Picoactuator®

Mehrachs-Aktoren mit hochlinearer Auslenkung

P-405 Picoactuator®

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Besonderes Merkmal der Picoactuatoren® ist die hochlineare Auslenkung mit einer Abweichung von der Ideallinie von unter 0,2 %.

Picoactuatoren® sind in verschiedenen Ausführungen herstellbar.

Bleifreies, kristallines Aktormaterial
Hohe Dynamik
Ideal für den Betrieb ohne Positionsregelung
Geringer elektrischer Leistungsbedarf
Minimale Längentoleranzen

Betriebsspannung bipolar bis ±500 V. Nahezu hysteresefreie Auslenkung (<0,2 %). Kein Kriechen. Picoactuatoren® sind als Longitudinal- und Scheraktoren konfigurierbar bis zu Höhen von 20 mm und maximalen Stellwegen von ±1,5 µm.

Picoactuator® Longitudinal- und Scheraktoren bestehen aus kristallinem piezoelektrischem Material. Die spezifische Auslenkung liegt für Scheraktoren bei ±0,02 % der Aktorlänge und für longitudinale Piezoaktoren bei ±0,01 %. Im Vergleich zu Piezoaktoren aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) ist dieser Wert 10-mal geringer. Die Bewegung ist hochlinear und nahezu hysteresefrei.

UHV-kompatibel bis 10^-9hPa
Innenbohrung
Kopfstücke

Industrie und Forschung
Vakuumanwendungen
Hochdynamische, ungeregelte Scananwendungen
Kompensation von ungewollten Querbewegungen bei Nanopositioniersystemen ("out-of-plane", "out-of-line")

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Datenblatt

Datenblatt P-405

Version / Datum

2019-02-19

Version / Datum

2019-02-19

Version / Datum

2019-07-22

Version / Datum

2019-07-22

Dokumentsprache

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	P-405.05 Longitudinal- aktor	P-405.08 Longitudinal- aktor	P-405.15 Scheraktor	P-405.18 Scheraktor	P-405.28 XZ-Aktor	Einheit
Aktive Achsen	Z	Z	X	X	XZ
Abmessungen A × B × L	5 mm × 5 mm × 12,5 mm	10 mm × 10 mm × 12,5 mm	5 mm × 5 mm × 7,5 mm	10 mm × 10 mm × 7,5 mm	10 mm × 10 mm × 19 mm
Stellweg*	1	1	1	1	1 × 1	µm
Axiale Steifigkeit	140	550	230	900	350	N/µm
Max. Scherbelastung	10	100	20	150	50	N
Elektrische Kapazität**	0,95	3,75	0,7	2,75	2,75 (X) 3,75 (Z)	nF
Resonanzfrequenz***	160	160	–	–	105	kHz
Piezomaterial	PIC050	PIC050	PIC050	PIC050	PIC050
Betriebsspannungsbereich	-500 bis 500	-500 bis 500	-500 bis 500	-500 bis 500	-500 bis 500	V
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 85	-20 bis 85	-20 bis 85	-20 bis 85	-20 bis 85	°C
Empfohlene Elektroniken	E-508	E-508	E-508	E-508	E-508

* Bei -500 bis 500 V, Toleranz ±20 %

** Gemessen bei 1 V_pp, 1 kHz, RT, Toleranz ±10 %

*** Axiale Resonanzfrequenz, gemessen bei 1 V_pp, unbelastet, beidseitig frei. Bei einseitiger Einspannung halbiert sich der Wert.

Standardanschlüsse: PTFE-isolierte Anschlusslitzen, 100 mm, AWG 32, Ø 0,76 mm.

Standardendstücke: Keramik

Mantelfläche: Epoxidharz

Sonderausführungen auf Anfrage

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Datenblatt

Datenblatt P-405

Version / Datum

2019-02-19

Version / Datum

2019-02-19

Version / Datum

2019-07-22

Version / Datum

2019-07-22

Dokumentsprache

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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ284

P-405 Picoactuator®

Version / Datum

1.0.1 2019-03-08

Version / Datum

1.0.1 2019-03-08

Dokumentsprache

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Dokumentation

Kurzanleitung PZ257EK

PICA Piezoaktoren bis 1000 V: P-0xx, P-1xx, P-405, PICA Stack, PICA Power, PICA Thru, PICA Shear, Picoactuator®

Version / Datum

3.0.0 04/2021

Version / Datum

3.0.0 04/2021

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P-405.05

Picoactuator® Z-Piezoaktor, 1 µm Stellweg, 5 mm × 5 mm × 12,5 mm

Verfügbar im PI Store

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P-405.08

Picoactuator® Z-Piezoaktor, 1 µm Stellweg, 10 mm × 10 mm × 12,5 mm

Verfügbar im PI Store

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P-405.15

Picoactuator® X-Piezoaktor, 1 µm Stellweg, 5 mm × 5 mm × 7,5 mm

Verfügbar im PI Store

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