P-405.05
Picoactuator® Z-Piezoaktor; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 5 mm × 5 mm × 12,5 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge
P-405 Picoactuator®
Mehrachs-Aktoren mit hochlinearer Auslenkung
- Bleifreies, kristallines Aktormaterial
- Hohe Dynamik
- Ideal für den Betrieb ohne Positionsregelung
- Geringer elektrischer Leistungsbedarf
- Minimale Längentoleranzen
Besonderes Merkmal der Picoactuatoren® ist die hochlineare Auslenkung mit einer Abweichung von der Ideallinie von
P-405, Abmessungen in mm
P-405 Picoactuator®
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Aktor in Stapelbauweise
Betriebsspannung bipolar bis ±500 V. Nahezu hysteresefreie Auslenkung (< 0,2 %). Kein Kriechen. Picoactuatoren® sind als Longitudinal- und Scheraktoren konfigurierbar bis zu Höhen von 20 mm und Stellwegen von 1 µm.
Technologie
Picoactuator® Longitudinal- und Scheraktoren bestehen aus kristallinem piezoelektrischem Material. Die spezifische Auslenkung liegt für Scheraktoren bei ±0,02 % der Aktorlänge und für longitudinale Piezoaktoren bei ±0,01 %. Im Vergleich zu Piezoaktoren aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) ist dieser Wert 10-mal geringer. Die Bewegung ist hochlinear und nahezu hysteresefrei.
Sonderausführungen und andere Spezifikationen auf Anfrage
- UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
- Innenbohrung
- Kopfstücke
Einsatzgebiete
- Industrie und Forschung
- Vakuumanwendungen
- Hochdynamische, ungeregelte Scananwendungen
- Kompensation von ungewollten Querbewegungen bei Nanopositioniersystemen ("out-of-plane", "out-of-line")
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | P-405.05 | P-405.08 | P-405.15 | P-405.18 | P-405.28 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | Z | Z | X | X | X ǀ Z | |
| Stellweg in Z, ungeregelt | 1 µm | 1 µm | — | — | 1 µm | ±20 % |
| Stellweg in X, ungeregelt | — | — | 1 µm | 1 µm | 1 µm | ±20 % |
| Antriebseigenschaften | P-405.05 | P-405.08 | P-405.15 | P-405.18 | P-405.28 | Toleranz |
| Aktortyp | Linearaktor | Linearaktor | Scheraktor | Scheraktor | Mehrachs-Aktor | |
| Antriebstyp | Picoactuator® | Picoactuator® | Picoactuator® | Picoactuator® | Picoactuator® | |
| Elektrische Kapazität in Z | 0,95 nF | 3,75 nF | — | — | 3,75 nF | ±10 % |
| Elektrische Kapazität in X | — | — | 0,7 nF | 2,75 nF | 2,75 nF | ±10 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-405.05 | P-405.08 | P-405.15 | P-405.18 | P-405.28 | Toleranz |
| Axiale Steifigkeit | 140 N/µm | 550 N/µm | 230 N/µm | 900 N/µm | 350 N/µm | |
| Axiale Resonanzfrequenz, unbelastet | 160 kHz | 160 kHz | — | — | 105 kHz | |
| Maximale Scherbelastung | 10 N | 100 N | 20 N | 150 N | 50 N | |
| Material | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | |
| Grundfläche A × B | 5 × 5 mm | 10 × 10 mm | 5 × 5 mm | 10 × 10 mm | 10 × 10 mm | |
| Länge L | 12,5 mm | 12,5 mm | 7,5 mm | 7,5 mm | 19 mm | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-405.05 | P-405.08 | P-405.15 | P-405.18 | P-405.28 | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 85 °C | -20 bis 85 °C | -20 bis 85 °C | -20 bis 85 °C | -20 bis 85 °C | |
| Anschluss | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | |
| Kabellänge | 0,1 m | 0,1 m | 0,1 m | 0,1 m | 0,1 m | |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-508 | E-508 | E-508 | E-508 | E-508 |
Stellweg: Bei -500 bis 500 V.
Elektrische Kapazität: Gemessen bei 1 Vpp, 1 kHz, RT.
Axiale Resonanzfrequenz: Gemessen bei 1 Vpp, unbelastet, beidseitig frei. Bei einseitiger Einspannung halbiert sich der Wert.
Sonderausführungen auf Anfrage
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
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Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ284
P-405 Picoactuator®
Version / Datum
1.0.1 2019-03-08
pdf - 2 MB
Version / Datum
1.0.1 2019-03-08
pdf - 2 MB
Angebot / Bestellung
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P-405.08
Picoactuator® Z-Piezoaktor; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 10 mm × 10 mm × 12,5 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge
P-405.15
Picoactuator® X-Piezoaktor; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 5 mm × 5 mm × 7,5 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge
P-405.18
Picoactuator® X-Piezoaktor; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 10 mm × 10 mm × 7,5 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge
P-405.28
Picoactuator® XZ-Piezoaktor; 1 µm × 1 µm Stellweg (ungeregelt); 10 mm × 10 mm × 19 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge
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