P-734 XY-Piezoscanner

Hochdynamisch, höchste Ablaufgenauigkeit, mit Apertur

Ablaufebenheit 5 nm, ideal für Oberflächenanalyse und Scanning-Mikroskopie
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Stellweg 100 µm × 100 µm
Freie Apertur 56 mm × 56 mm
Auflösung <0,4 nm durch kapazitive Positionssensoren
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

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Datenblatt

Version / Datum

2015-01-30

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Version / Datum

2015-01-30

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	P-734.2CL	P-734.2CD	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	X, Y	X, Y
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	Kapazitiv	Kapazitiv
Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt	110 µm × 110 µm	110 µm × 110 µm		min. (+20 % / -0 %)
Stellweg, geregelt	100 µm × 100 µm	100 µm × 100 µm
Auflösung, ungeregelt	0,2	0,2	nm	typ.
Auflösung, geregelt	0,3	0,3	nm	typ.
Linearitätsabweichung	0,03	0,03	%	typ.
Wiederholgenauigkeit	2,5	2,5	nm	typ.
Neigen	3	3	µrad	typ.
Gieren	10	10	µrad	typ.
Ebenheit	typ. 5max. 10	typ. 5max. 10	nm
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit	3	3	N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz, unbelastet	500	500	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz, 200 g	350	350	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz, 500 g	250	250	Hz	±20 %
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung	300 / 100	300 / 100	N	max.
Belastbarkeit	20	20	N	max.
Antriebseigenschaften
Keramiktyp	PICMA® P-885	PICMA® P-885
Elektrische Kapazität	6,2	6,2	µF	±20 %
Dynamischer Stromkoeffizient	7,8	7,8	µA / (Hz × µm)	±20 %
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material	Aluminium	Aluminium
Masse (mit Kabeln)	1,04	1,04	kg	±5 %
Kabellänge	1,5	1,5	m	±10 mm
Sensoranschluss	2 × LEMO	D-Sub-Spezial
Spannungsanschluss	4 × LEMO	D-Sub-Spezial

Dynamischer Stromkoeffizient in µA pro Hertz und µm. Beispiel: Sinusbetrieb mit 10 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 7,8 mA Strom.

P-734.2CL: Modulares System E-500 mit Verstärkermodul E-503 (mehrkanalig) oder E-505 (1 je Achse, hohe Leistung) und E-509 Regler

P-734.2CD: E-710 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle wurde abgelöst

E-725 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, Tischgerät

E-712 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, modular

E-761 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, PCI-Karte

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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2015-01-30

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2015-01-30

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Dokumentation

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum

1.1.0 2020-10-26

pdf - 2 MB

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1.1.0 2020-10-26

pdf - 2 MB

3-D-Modelle

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P-734.2CD

Hochpräzises XY-Nanopositioniersystem mit sehr hoher Ablaufgenauigkeit, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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P-734.2CL

Hochpräzises XY-Nanopositioniersystem mit sehr hoher Ablaufgenauigkeit, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

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