N-765 Präzisions-Hubtisch

NEXACT® Piezoschreitantrieb mit Sub-Nanometer-Encoderauflösung

N-765 Präzisions-Hubtisch
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder PIOne, 0,5 nm Auflösung
  • Kleinste Schrittweite 1 nm
  • Stellweg 6,5 mm
  • Belastbarkeit bis 25 N
  • Direkt montierbar auf N-565 Linearpositionierer

NEXACT® Linearpositionierer der Referenzklasse

Linearpositionierer mit NEXACT® PiezoWalk® Antrieben ermöglichen hochpräzise Positionierung im Nanometerbereich auf langen Stellwegen. Sie sind mit direktmessenden Linearencodern und Kreuzrollenlagern für höchste Genauigkeit ausgestattet. Aufgrund ihrer kompakten und flachen Bauform können die Positionierer mechanisch leicht integriert werden. Zum Betrieb werden nur geringe Spannungen benötigt.

PiezoWalk® Technologie: Hohe Auflösung und niedriger Verschleiß

Die PiezoWalk® Technologie kombiniert die technologischen Vorteile von Piezoaktoren mit denjenigen von Piezomotoren. PiezoWalk® Schreitantriebe bieten nicht nur eine Sub-Nanometer-Auflösung, hohe Kräfte und hohe Steifigkeiten, sondern ermöglichen auf Basis ihres Antriebsprinzips theoretisch unbegrenzte Stellwege. PiezoWalk® Schreitantriebe sind anders als andere piezomotorische Antriebsprinzipien keinen Gleitreibungseffekten unterworfen. Sie basieren auf Haftreibungskontakten mehrerer Piezoaktoren, die auf einem Läufer schreiten. Für den Vorschub heben die Aktoren physikalisch vom Läufer ab, wodurch kaum Verschleiß und Abrieb auftritt. Die Vorspannung der Aktoren gegen den Läufer sorgt für die Selbsthemmung des Schreitantriebs. Somit hält der Schreitantrieb die Position in Ruhe und im ausgeschalteten Zustand mechanisch stabil (kein Servozittern). Aufgrund dieser Selbsthemmung in Ruhe wird keine Energie verbraucht und keine Wärme erzeugt.

Direkte Positionsmessung mit PIOne Linearencoder

Der hochauflösende PIOne Encoder wurde von PI entwickelt und erlaubt bei entsprechender Messauswertung eine Positionsauflösung von weit unter einem Nanometer. Die optisch und kontaktlos arbeitenden PIOne Encoder basieren auf einem interferometrischen Messprinzip. Sie messen die Ist-Position mit höchster Genauigkeit direkt an der bewegten Plattform, so dass Nichtlinearität, mechanisches Spiel oder elastische Deformation keinen Einfluss auf die Positionsmessung haben. Durch die kleine Signalperiode von 0,5 µm und die hohe Qualität der Signale erreichen PIOne Encoder eine Linearitätsabweichung von weniger als 1 %. PIOne Encoder unterstützen die Richtungserkennung bei der Auswertung eines Referenzsignals.

Kreuzrollenlager

Bei Kreuzrollenlagern wird der Punktkontakt der Kugeln in Kugellagern durch den Linienkontakt gehärteter Rollen ersetzt. Sie sind dadurch wesentlich steifer und kommen mit geringerer Vorspannung aus, was die Reibung reduziert und einen gleichmäßigeren Lauf ermöglicht. Kreuzrollenlager zeichnen sich darüber hinaus durch hohe Führungsgenauigkeit und Tragfähigkeit aus. Zwangsgesteuerte Wälzkörperkäfige verhindern ein Auswandern der Wälzlager.

Geltende Patente

Im technologischen Umfeld der Piezoschreitantriebe (NEXACT®, NEXLINE®) hält PI folgende Patente oder Patentanmeldungen:

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

Einsatzgebiete

Probenmanipulation, Positionierung von Proben, Optiken oder mechanischen Komponenten mit hoher Präzision und Stabilität, Präzisionsmechanik in der Halbleiterindustrie, Mikromanipulation, Mikroskopie, Automatisierung, Anwendungen unter beengten Platzverhältnissen, Anwendungen im Vakuum oder in nichtmagnetischen Umgebungen

Spezifikationen

Datenblatt N-765

Version / Datum
2017-02-06
Version / Datum
2017-02-06
Dokumentsprache
pdf - 907 KB
pdf - 910 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt N-765

Version / Datum
2017-02-06
Version / Datum
2017-02-06
Dokumentsprache
pdf - 907 KB
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Dokumentation

Kurzanleitung MP137EK

N-524, N-565, N-765 NEXACT® Versteller
Version / Datum
2015-10-09
pdf - 803 KB

Benutzerhandbuch MP130

N-765 NEXACT® Versteller
Version / Datum
2016-08-10
Version / Datum
2016-08-10
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
pdf - 2 MB

Angebot / Bestellung

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N-765.060
Präzisions-Hubtisch, 6,5 mm Stellweg, PIOne Linearencoder, 0,5 nm Auflösung, 25 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 65 × 110 × 56 mm (B × L × H), piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT®

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