S-310 – S-316 Piezo Hub- und Kippscanner

Hochdynamisches System mit Apertur

Freier Durchgang 10 mm
Dreibein-Piezoantrieb
Optischer Ablenkwinkel bis 2,4 mrad
Linearstellwege bis 12 µm (Phasenschieber)
Sub-ms-Ansprechzeit
Sub-µrad Auflösung
Positionsgeregelte Versionen für erhöhte Präzision
Für Optiken, Spiegel oder andere Komponenten
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik


S-310.10

S-314.10

S-311.10

S-315.10

S-316.10

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z

Z, θX, θY Z, θX, θY Z, θX, θY


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

Stellweg in Z bei 0 bis 100 V, ungeregelt

6 / –

12 / –

6 / –

12 / –

12 / 12

µm

min. (+20 % / -0 %)

Kippwinkel bei 0 bis 100 V, ungeregelt

600

1200

1200

µrad

min. (+20 % / -0 %)

Stellweg in Z, geregelt

12

µm

Kippwinkel, geregelt

1200

µrad

Auflösung in Z, ungeregelt

0,1

0,2

0,1

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, ungeregelt

0,02

0,05

0,05

µrad

typ.

Auflösung in Z, geregelt

0,4

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, geregelt

0,1

µrad

typ.

Linearitätsabweichung

0,2

%

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Z

20

10

20

10

10

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet in Z

9,5

5,5

9,5

5,5

5,5

kHz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet in Z (15 mm × 4 mm Glasspiegel)

6,5

4,4

6,5

4,1

4,1

kHz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet in Z (20 mm × 4 mm Glasspiegel)

6,1

4,2

6,1

3,4

3,4

kHz

±20 %

Abstand Drehpunkt-Plattformoberfläche

5

5

5

mm

±1 mm

Trägheitsmoment der Plattform

150

150

150

g × mm²

±20 %


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-882

PICMA® P-882

PICMA® P-882

PICMA® P-882

PICMA® P-882

Elektrische Kapazität

0,39

0,93

0,39

0,93

0,93

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK)

8

10

8

10

10

µA / (Hz × mrad)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Stahl

Stahl

Stahl

Stahl

Stahl

Masse

0.053

0.055

0.045

0.055

0.055

kg

±5 %

Kabellänge

2

2

2

2

2

m

±10 mm

Sensoranschluss

LEMO

Spannungsanschluss

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

Die Auflösung von PI-Piezoscannern ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker.

Mechanischer Winkel, die optische Strahlablenkung ist doppelt so groß. Für maximale Kippwinkel müssen alle drei Piezotranslatoren mit 50 V vorgespannt sein. Durch den Parallelkinematik-Aufbau sind der lineare Stellbereich und die Kippwinkel voneinander abhängig. Die angegebenen Werte sind Maxima für reine Linear- bzw. Kippbewegungen (Gleichungen).

Link für die Gleichungen: http://www.physikinstrumente.de/de/produkte/prdetail.php?sortnr=300400

Empfohlene Controller / Verstärker

Einkanalig (1 pro Achse): E-610 Controller / Verstärker, E-625 Controller Tischgerät mit Regler

E-500 Modularer Piezocontroller mit E-503 Piezoverstärkermodul, 3 Kanäle

E-505 Piezoverstärkermodul (1 je Achse, hohe Leistung) mit E-509 Sensorauswertung / Regler (optional), E-516 Interfacemodul (optional)

Zeichnungen / Bilder

PI S-315
PI S-316

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt S-310 – S-316

Piezo Hub- und Kippscanner hochdynamisches System mit Apertur
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch PZ96

S-310, S-311, S-314, S-315, S-316 Piezo Hub- und Kippscanner
1.1.0
Englisch
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3D Modelle

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S-316 STEP

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