Magnetic Levitation
Die Zukunft der hochpräzisen Bewegung beginnt berührungslos
Mit magnetischem Schweben ergänzen wir unser bestehendes Portfolio um eine Technologie, die höchste Präzision, absolute Sauberkeit und zukunftsweisende Steuerbarkeit vereint. Kontaktlose Lagerung, aktive Regelung und Steuerung in sechs Freiheitsgraden und Auflösungen bis in den Pikometerbereich setzen neue Maßstäbe in der Positioniertechnologie.
Pikometerauflösung
Pikometerauflösung
Die Kombination aus hochpräzisen Sensor- und Antriebstechnologien mit intelligenter Firmware und leistungsstarken Controllerlösungen ermöglicht eine kontaktlose, magnetische Führung und erzielt damit höchste Positioniergenauigkeit mit Auflösungen von bis zu 200 Pikometern.
Aktive Steuerung in sechs Freiheitsgraden
Aktive Steuerung in sechs Freiheitsgraden
Die aktive Steuerung und Regelung in sechs Freiheitsgraden erlaubt es, in alle Richtungen die Führungseigenschaften zu gestalten. Die Bewegung kann frei definiert werden, inklusive Korrekturfunktionen wie Fokussierung oder Kippanpassung direkt im Positioniersystem.
Kontaktloser Betrieb
Kontaktloser Betrieb
Reibungsfreie Führungen ohne Wälzkörper, Schmierung und Luftströmung gewährleisten höchste Präzision in Bewegung und in Position über die gesamte Lebensdauer und ermöglichen den Einsatz in Reinraum- und Vakuumumgebungen.
Was das magnetische Schweben so einzigartig macht, ist die berührungslose Lagerung, die wir in unserem mechanischen System realisieren können.
Dr. Christian Rudolf, Director Technology Center Drives & Systems
Blick ins System: Magnetisches Schweben heute und morgen
Die MagLev-Technologie ist realisiert und nachgewiesen für taktile Bildgebungsverfahren. Unser Team arbeitet daran, die Technologie für weitere Anwendungen in der Halbleiterinspektion / Lithografie und in der Präzisionsfertigung im Sub-Nanometerbereich zu realisieren – mit Fokus auf höhere Nutzlasten, größere Stellwege und schnellere Dynamik.
