Picoactuator® Z-Piezoaktor; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 5 mm × 5 mm × 12,5 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge
P-405 Picoactuator®
Mehrachs-Aktoren mit hochlinearer Auslenkung
- Bleifreies, kristallines Aktormaterial
- Hohe Dynamik
- Ideal für den Betrieb ohne Positionsregelung
- Geringer elektrischer Leistungsbedarf
- Minimale Längentoleranzen
Aktor in Stapelbauweise
Betriebsspannung bipolar bis ±500 V. Nahezu hysteresefreie Auslenkung (<0,2 %). Kein Kriechen. Picoactuatoren® sind als Longitudinal- und Scheraktoren konfigurierbar bis zu Höhen von 20 mm und maximalen Stellwegen von ±1,5 µm.
Technologie
Picoactuator® Longitudinal- und Scheraktoren bestehen aus kristallinem piezoelektrischem Material. Die spezifische Auslenkung liegt für Scheraktoren bei ±0,02 % der Aktorlänge und für longitudinale Piezoaktoren bei ±0,01 %. Im Vergleich zu Piezoaktoren aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) ist dieser Wert 10-mal geringer. Die Bewegung ist hochlinear und nahezu hysteresefrei.
Sonderausführungen und andere Spezifikationen auf Anfrage
- UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
- Innenbohrung
- Kopfstücke
Einsatzgebiete
- Industrie und Forschung
- Vakuumanwendungen
- Hochdynamische, ungeregelte Scananwendungen
- Kompensation von ungewollten Querbewegungen bei Nanopositioniersystemen ("out-of-plane", "out-of-line")
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | P-405.05 | P-405.08 | P-405.15 | P-405.18 | P-405.28 | Toleranz |
---|---|---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | Z | Z | X | X | X Z | |
Stellweg in Z, ungeregelt | 1 µm | 1 µm | 1 µm | ±20 % | ||
Stellweg in X, ungeregelt | 1 µm | 1 µm | 1 µm | ±20 % | ||
Antriebseigenschaften | P-405.05 | P-405.08 | P-405.15 | P-405.18 | P-405.28 | Toleranz |
Antriebstyp | Picoactuator® | Picoactuator® | Picoactuator® | Picoactuator® | Picoactuator® | |
Aktortyp | Linearaktor | Linearaktor | Scheraktor | Scheraktor | Mehrachs-Aktor | |
Elektrische Kapazität in Z | 0,95 nF | 3,75 nF | 3,75 nF | ±10 % | ||
Elektrische Kapazität in X | 0,7 nF | 2,75 nF | 2,75 nF | ±10 % | ||
Mechanische Eigenschaften | P-405.05 | P-405.08 | P-405.15 | P-405.18 | P-405.28 | Toleranz |
Axiale Steifigkeit | 140 N/µm | 550 N/µm | 230 N/µm | 900 N/µm | 350 N/µm | |
Axiale Resonanzfrequenz, unbelastet | 160 kHz | 160 kHz | 105 kHz | |||
Maximale Scherbelastung | 10 N | 100 N | 20 N | 150 N | 50 N | |
Material | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik. Mantelfläche: Epoxidharz. | |
Anschlüsse und Umgebung | P-405.05 | P-405.08 | P-405.15 | P-405.18 | P-405.28 | Toleranz |
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 85 °C | -20 bis 85 °C | -20 bis 85 °C | -20 bis 85 °C | -20 bis 85 °C | |
Anschluss | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | Anschlusslitzen, PTFE-isoliert, AWG 32, Ø 0,76 mm | |
Kabellänge | 0,1 m | 0,1 m | 0,1 m | 0,1 m | 0,1 m | |
Empfohlene Controller / Treiber | E-508 | E-508 | E-508 | E-508 | E-508 | |
Betriebsspannungsbereich | -500/500 V | -500/500 V | -500/500 V | -500/500 V | -500/500 V |
Stellweg: Bei -500 bis 500 V.
Elektrische Kapazität: Gemessen bei 1 Vpp, 1 kHz, RT.
Axiale Resonanzfrequenz: Gemessen bei 1 Vpp, unbelastet, beidseitig frei. Bei einseitiger Einspannung halbiert sich der Wert.
Sonderausführungen auf Anfrage
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Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ284
P-405 Picoactuator®
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Picoactuator® Z-Piezoaktor; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 10 mm × 10 mm × 12,5 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge
Picoactuator® X-Piezoaktor; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 5 mm × 5 mm × 7,5 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge
Picoactuator® X-Piezoaktor; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 10 mm × 10 mm × 7,5 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge
Picoactuator® XZ-Piezoaktor; 1 µm × 1 µm Stellweg (ungeregelt); 10 mm × 10 mm × 19 mm (A × B × L); Anschlusslitzen; 0,1 m Kabellänge