Sensortechnologien

Linearität und Wiederholgenauigkeit  hochdynamischer und hochauflösender Positioniersysteme sind nicht denkbar ohne den Einsatz höchstauflösender Messverfahren. Genauigkeiten im Bereich weniger Nanometer und darunter erfordern Positionsmessverfahren, die Bewegung in diesem Bereich auch erfassen können.

Kapazitive Sensoren
Q-522 Q-Motion® Miniature Linear Stage with incremental encoder with up to 1 nm resolution (optional)

Inkrementelle Sensoren
PIOne Encoder

PIOne: Optical Nanometrology Encoder
PI D-015 Family

Sensortechnik im Vergleich