PiezoWalk® Schreitantriebe

Nanometer-Präzision mit hoher Vorschubkraft

  • Variabler Stellweg durch variable Läuferlänge
  • Auflösung bis 0,03 nm
  • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
  • Nichmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip
  • Drei Technologien: NEXLINE®, NEXACT® und PICMAWalk
  • Integrationsstufen vom OEM-Motor bis zum mehrachsigen Positioniersystem

PiezoWalk® Antriebe wurden vor mehr als 10 Jahren für die Halbleiterindustrie entwickelt, die höchste Anforderungen an die Zuverlässigkeit, Positionsauflösung und Langzeitstabilität stellt. PI erhielt für die PiezoWalk® Technologie im Jahre 2005 den SEMI Technology Innovation Showcase Award.
Die Antriebe werden ständig weiterentwickelt und heute steht eine Vielzahl an Varianten für unterschiedliche Einsatzgebiete zur Verfügung. 


Eigenschaften von Schreitantrieben


Drei Technologien - Mehr Möglichkeiten

PICMAWalk

PICMAWalk Antriebe erreichen Vorschubkräfte bis 50 N und Haltekräfte bis 60 N. Die maximale Geschwindigkeit liegt bei 15 mm/s. PICMAWalk verwenden die bewährten PICMA® Multilayer-Piezoaktoren. Das bedeutet niedrige Ansteuerspannungen bis 120 V.

 

PICMA® Piezoaktoren sorgen auch für die lange Lebensdauer und außergewöhnliche Zuverlässigkeit der PICMAWalk Technologie.

NEXLINE®

Die Hochlast-Schreitantriebe kombinieren Piezo-Klemm- und Scheraktoren, um einen Läufer zu bewegen. Die Antriebe besitzen besonders hohe Kräfte und Steifigkeiten mit Vorschubkräften von mehreren 100 N.

Sie können im Bereich von wenigen Mikrometern Schwingungen mit Nanometer-Auflösung dynamisch kompensieren, sind für höhere Stell- und Haltekräfte bis 800 N ausgelegt und arbeiten mit geringeren Geschwindigkeiten.

NEXACT®

Die Präzisionsschreitantriebe setzen die Schreitbewegung mit Piezo-Biegeelementen um. Diese Antriebe sind kompakter und erreichen höhere Geschwindigkeiten, wobei sie Kräfte im Bereich von 10 bis 20 N entwickeln.

Die geeignete Auswahl der Piezoelemente optimiert Schrittweite, Klemmkraft, Geschwindigkeit und Steifigkeit für die jeweiligen Anforderungen.


Funktionsprinzipien von PiezoWalk® Linearmotoren

Wesentliche Bestandteile des Piezoschreitantriebs sind mehrere piezokeramische Aktoren, die gegen einen beweglich geführten Läufer vorgespannt sind.

Die Piezoaktoren führen im Betrieb eine Schreitbewegung aus, die zu einem Vorschub des Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen, sodass eine hohe Bewegungsauflösung von weit unter einem Nanometer erreicht wird.

PICMAWalk

NEXLINE®, NEXACT®


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Patente

Im technologischen Umfeld der Piezoschreitantriebe (PiezoWalk®, NEXACT®, NEXLINE®) hält PI folgende Patente oder Patentanmeldungen:

DE10148267B4
EP1267478B1
EP2209202B1
EP2209203B1
US6800984B2

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Poster: PI Piezomotortechnologie

Modellübersicht für die beste Lösung
POS14E
Englisch
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