PIglide Luftlager-Technologie

Nanometer Präzision, Bewegung in einer oder mehreren Achsen

  • Reibungsfreie Präzisionspositionierung
  • Scannen mit konstanter Geschwindigkeit 
  • Hohe Führungsgenauigkeit bis zu 5 µrad / 100 mm
  • Aktive Führungsfehler-Kompensation für Gantry-Aufbauten
  • Direktgetriebene Linear- und Torquemotoren für gleichmäßiges Scanning mit hoher Geschwindigkeit
  • Modernste Steuerung von ACS Motion Control

OEM-Lösungen profitieren von langjähriger Erfahrung mit Luftlager-Technologie

PI greift mit dem neuen Geschäftsfeld auf insgesamt 200 Mannjahre Erfahrung zurück, wenn es um die Entwicklung und Fertigung von Luftlagern und Luftlagertischen geht. PI kann daher hochpräzise, luftgelagerte Positionierversteller und Motion-Control-Systeme kundenspezifisch anpassen und anbieten. Seit vier Jahrzehnten bietet PI piezobasierte Nanopositioniersystemen und motorisierte Präzisions-Positionierausrüstung an. Die neuen Möglichkeiten, großhubige Systeme mit Luftlagern auszustatten, sind eine logische Ergänzung des Produktportfolios im Bereich der Präzisionsbewegung und –positionierung.


Eigenschaften

Die Haftreibung ist praktisch eliminiert und verbessert dadurch die erreichbare Positionsauflösung, die Wiederholgenauigkeit beträgt nur wenige Encoderimpulse. Eine ähnliche Präzision ist auch mit festkörpergeführten Piezo-Nanopositionierern möglich, jedoch über deutlich kleinere Stellwege.


Aktive Führungsfehler-Kompensation

Fehlerkompensation

PI hat im System des PIglide® HS Planarscanner einen Algorithmus zur aktiven Kompensation von Führungsfehlern um die Z-Achse implementiert. Dazu besitzen die X- und die Y-Achse eine getrennte Ansteuerung und eine getrennte Positionsregelung für lineare und rotatorische Bewegungen.

  • Verbesserte dynamische Linearität
  • Einfaches Mappen der Fehler
  • Entkoppelte Bewegung ohne Matrizen
  • Flexibles Design mit bis zu 1° Rotationswinkel

Das Mappen und Ausgleichen der Fehler kann für folgende Achsen vorgenommen werden:

 

  • Eine Achse (Geradheit und Gieren) für Planarscanner
  • Bewegte Achse (Geradheit und Gieren) für einachsige Versteller mit zwei Direktantrieben
  • XY-Orthogonalität für Planarscanner

Anpassungsfähigkeit

PI liefert optimalen Service für die kundenspezifische Auslegung von luftgelagerten Positioniersystemen. Dafür stehen Entwicklertools, eigene, anpassbare Antriebs- und Sensortechnologien sowie geeignete Fertigungstechnologien zur Verfügung.


Funktionsprinzip

Ein direktgetriebener Motor mit hochauflösendem Encoder kann eine luftgelagerte Plattform hochgenau positionieren. Man erreicht Genauigkeiten linear von wenigen Nanometern und rotatorisch wenige Zehntel einer Bogensekunde. Da es keine Reibung und keinen mechanischen Kontakt gibt, tritt kein Hystereseeffekt oder Umkehrspiel auf. Die Bewegung wird so in höchstem Maße wiederholbar, wodurch diese Positioniersysteme ideal für Aufgaben in Inspektionssystemen oder der Präzisionsfertigung geeignet sind.


Kundenspezifische Systeme

Zusätzlich zu den Standardprodukten, bietet der Produktbereich Luftlager-Technologie von PI erstklassige Mehrachsensysteme als Komplettlösung für Metrologie und Fertigungsanwendungen.

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Downloads

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Brochure: PIglide Air Bearing Technology

Nanometer Precision, Multi-Axis Motion, Stadard and Custom Design
BRO46
Englisch
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Whitepaper: Air Bearings: When to Use and When to Avoid in Your Motion Applicaiton

All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI
WP4003 2015-09
Englisch
pdf - 3 MB