Hohe Führungsgenauigkeit durch Flexure Festkörpergelenke

Die Auslenkung eines Piezoaktors lässt sich zudem durch die Integration von Hebelmechanismen vervielfachen. Der Aktor wird mechanisch so in ein Festkörpergelenk eingebunden, dass sich der Stellweg auf bis zu 2 mm verlängert. Da einfache Hebelaufbauten jedoch deutlich an Führungsgenauigkeit und Steifigkeit verlieren, erfordert die Konstruktion wesentlich komplexere Geometrien.

Flexures ermöglichen Bewegungen mit extrem hoher Bahntreue. Um Höhen- oder Querversatz zu kompensieren, verwendet PI spezielle Multilink-Flexure-Führungen. Diese Führungssysteme, die in den meisten Nanopositioniersystemen von PI eingesetzt werden, ermöglichen eine Ablaufebenheit und Geradheit im Sub-Nanometer- bzw. Mikroradianbereich.