Produktneuheiten
Auf dieser Seite finden Sie die aktuellen Produktneuheiten. Wenn Sie mehr wissen wollen, wenden Sie sich einfach an uns: Unsere Vertriebsingenieure setzen sich umgehend mit Ihnen in Verbindung.
- Produkte
ProduktePI ist weltweit führender Anbieter für Lösungen im Bereich Bewegen und Positionieren. PI entwickelt und produziert nicht nur ein breites Angebot an Positioniertischen und Aktoren für lineare, rotatorische und vertikale Bewegung oder Kombinationen verschiedener Achsen. PI passt diese Lösungen auch an kundenspezifische Anwendungen an oder liefert fertige Subsysteme zur Bewegung und Positionierung.- Produktneuheiten
- Produktfinder
ProduktfinderWählen Sie die Produktart anhand der benötigten Bewegungsachsen. Durch die Auswahl weitere Kriterien können Sie die Anzahl der Ergebnisse einschränken oder erweitern. Sie können mehrere Filter gleichzeitig setzen, und dadurch z.B. auch Positioniertische mit höherer Belastbarkeit in Ihre Auswahl einbeziehen.
- Kundenspezifische Anpassungen
Kundenspezifische AnpassungenPI ist dort zu Hause, wo unkonventionelle Lösungen gefragt sind. Das ist längst nicht mehr nur in Forschungsbereichen der Fall. Die Nanotechnologie ist heute auch in standardisierten industriellen Prozessen präsent.
- Piezo-Nanopositioniertische
Piezo-NanopositioniertischePiezopositioniertische mit Festkörperführung von PI vereinen sub-Nanometer Auflösung und Führungsgenauigkeit mit minimalem Übersprechen.
- Mehrachsen-Piezotische
Mehrachsen-PiezotischeMehrachsen-Piezotische von PI erlauben das Positionieren und Scannen mit Subnanometer-Präzision in bis zu 6 Achsen inklusive aller Kipp- und Drehrichtungen. Vom besonders kompakten Piezocube bis zum Design mit großer Apertur und niedrigem Profil sind viele Varianten verfügbar.
- PIFOC® Objectivscanner & PInano® Probentische für die Mikroskopie
PIFOC® Objectivscanner & PInano® Probentische für die MikroskopiePInano® Piezotische und PIFOC® Objektivscanner mit Festkörperführungen bieten hohe Dynamik für Positionier- und Scananwendungen. Standardlösungen umfassen die Probenpositionierung in XY sowohl parallel als auch orthogonal zur optischen Achse, und die Z-Fokussierung des Objektivs.
- Piezo-Lineartische
Piezo-LineartischeNanopositioniertische und Scanner von PI vereinen nanometergenaue Auflösung und Führungspräzision mit minimalem Übersprechen. Daher sind sie besonders geeignet für Referenzanwendungen in der Messtechnik, für mikroskopische Verfahren, für die Interferometrie oder in Inspektionssystemen für die Halbleiterchip-Herstellung.
- Piezokreuztische
PiezokreuztischeHochpräzise XY-Nanopositionierer verwenden PICMA® Piezoaktoren für höchste Zuverlässigkeit. Die Positionierung mit hoher Wiederholbarkeit und optimaler Stabilität basiert auf hochwertigen Nanometrologie-Sensoren.
- Piezokippspiegel
PiezokippspiegelDie hohe Steifigkeit der Spiegelplattformen erlaubt hohe Dynamik und hervorragende Positionsstabilität. Die kompakten Piezokippspiegel dienen der Strahlablenkung in der Laserbearbeitung und Laserstrahlsteuerung. Das parallelkinematische Design bedingt identische dynamische Eigenschaften in beiden Achsen, einen gemeinsamen Pivotpunkt und erhält die Polarisationsrichtung.
- Mehrachsen-Piezotische
- Miniaturtische
MiniaturtischeMiniaturtische und Kleinstmanipulatoren sind wesentlicher Bestandteil mobiler Messtechnik und medizinischer Geräte, sowohl in der industriellen Automatisierung als auch in der Forschung, auch beispielsweise in UHV oder nichtmagnetscher Umgebung.
- Miniatur-Lineartische
Miniatur-LineartischeFür Positionieraufgaben mit begrenztem Bauraum sind miniaturisierte Stelltische ein wesentliches Element. Lösungen mit Piezomotoren wie Q-Motion®, PILine® und PiezoWalk® ermöglichen durch ihr direktes Antriebsprinzip besonders kompakte Lösungen.
- Miniatur-Rotationstische
Miniatur-RotationstischeDie kompakten Rotationstische können in Optikanwendungen eingesetzt werden, wo sie z. B. Filter zuverlässig und mit hervorragender Wiederholgenauigkeit positionieren. In Mehrachskombinationen können Rotationstische flexibel integriert werden und lassen sich ohne Adapter auf passende Lineartische montieren.
- Miniatur-Hexapoden
Miniatur-HexapodenDie kompaktesten Produkte für Bewegung mit 6 Freiheitsgraden basieren auf Q-Motion® Piezomotortischen. Aber auch nur handgroße Hexapoden mit bürstenlosen DC-Motoren (BLDC) sind verfügbar. Klassisches parallelkinematisches Hexapoddesign bewirkt möglichst einheitliche Performance in den Achsen. Für lange lineare Stellwege kann ein Design mit niedriger Bauhöhe besser sein.
- Miniatur-Lineartische
- Lineartische
LineartischePI bietet ein breites Portfolio an motorisierten Lineartischen für hochpräzise industrielle Anwendungen wie die Halbleiter- und Photonikbranche, als auch für hochklassige Forschung. Für sehr viele verschiedene Modelle gibt es Vakuumversionen. Mehrachskombinationen können mithilfe von Adapterwinkeln realisiert werden, oder kompakter mit passenden Hubtischen und Rotationstischen.
- Tische mit PIMag® magnetischem Linearmotor
Tische mit PIMag® magnetischem LinearmotorDas magnetische Direktantriebs-Prinzip ist reibungsfrei und ermöglicht besonders hochdynamische Positioniertische. Die Anzahl mechanischer Komponenten ist geringer als bei Tischen mit Motor-Spindel-Kombinationen im Antriebsstrang. Das verringert Reibung und Umkehrspiel und sorgt für höhere Präzision.
- Tische mit DC, bürstenlosen DC (BLDC) & Schrittmotoren
Tische mit DC, bürstenlosen DC (BLDC) & SchrittmotorenIndustrielle Anwendungen im Produktionsprozess wie z.B. die Laserbearbeitung profitieren von hohen Positioniergenauigkeit motorisierter Stelltische. Das niedrige Profil erlaubt vielseitige Einsatzmöglichkeiten von Prüfeinrichtungen bis zu Fertigungslinien in der Präzisionsautomatisierung.
- Hubtische mit DC, bürstenlosen DC (BLDC) & Schrittmotoren
Hubtische mit DC, bürstenlosen DC (BLDC) & SchrittmotorenHubtische passen ohne Adapter auf die entsprechenden Lineartische und ermöglichen damit flexible und kompakte Mehrachsenaufbauten.
- Miniatur-Lineartische
Miniatur-LineartischeFür Positionieraufgaben mit begrenztem Bauraum sind miniaturisierte Stelltische ein wesentliches Element. Lösungen mit Piezomotoren wie Q-Motion®, PILine® und PiezoWalk® ermöglichen durch ihr direktes Antriebsprinzip besonders kompakte Lösungen.
- Tische mit PIMag® magnetischem Linearmotor
- Linearaktoren
LinearaktorenDie breite Auswahl von Technologien ermöglicht die optimale Wahl für nahezu jeden Einsatzbereich: Hochstabile “Set-and-forget” Daueranwendungen profitieren von den spezifischen Eigenschaften von Piezomotoren, auch in Vakuum oder nichtmagnetischer Umgebung. DC und Schrittmotorlösungen sind sowohl in der Industrie als auch im Forschungsbereich weit verbreitet und als zuverlässig bekannt.
- PiezoMike Aktoren mit Dauerstabilität
PiezoMike Aktoren mit DauerstabilitätPiezoMike Linearaktoren bieten die hohe Auflösung von Piezoaktoren, hohe Kräfte und vollkommen stabile Positionierung. Dies macht sie ideal geeignet für sogenannten „Set-and-forget“-Anwendungen, die über lange Zeiträume mit identischen Einstellungen arbeiten, wie z.B. optische Elemente in einer Laserstrahlanordnung.
- Linearaktoren mit DC & Schrittmotoren
Linearaktoren mit DC & SchrittmotorenMotorisierte Linearaktoren sind unverzichtbar zur Automatisierung von Abläufen in der industriellen Produktion bis hin zu Forschungseinrichtungen.
- PIMag® VC Voice Coil Aktoren mit hoher Dynamik & optionaler Kraftregelung
PIMag® VC Voice Coil Aktoren mit hoher Dynamik & optionaler KraftregelungVoice Coil Antriebe bieten sehr hohe Geschwindigkeiten und ermöglichen dadurch schnelle Einschwingvorgänge auf Position. Verschleißfreie Festkörperführungen oder mechanische Führungen sind dafür verfügbar. Mit der optionalen Kraftregelung sind die Antriebe auch für Prüfprozesse an druckempfindlichen Geräten geeignet.
- PiezoMove Hebelaktoren
PiezoMove Hebelaktoren
- Piezoaktoren
PiezoaktorenPiezoMove Aktoren verfügen über Festkörperführungen und bieten Stellwege bis zu einem Millimeter. Sie sind einfach zu integrieren, weil sie so klein sind. Nanopositionier-Aktoren auf Basis von PICMA® Multilayer-Piezoaktoren erzeugen Kräfte bis 10000 N bei Stellwegen bis 100 µm.
- PiezoWalk® Aktoren für hohe Kräfte & Stabilität
PiezoWalk® Aktoren für hohe Kräfte & StabilitätPiezoWalk® Aktoren sind hochspezialisierte piezobasierte Antriebe zur Integration. Sie folgen einem preisgekrönten Design für die Halbleiterindustrie, und vereinen beste Zuverlässigkeit, Positionsauflösung und Langzeitstabilität. Der Antrieb ist unempfindlich gegen magnetische Felder.
- PIRest Aktive Piezo Abstandshalter
PIRest Aktive Piezo Abstandshalter
- PiezoMike Aktoren mit Dauerstabilität
- Rotationstische
RotationstischeDie Anforderungen an rotatorische Positionierung sind breit gefächert in Bezug auf Traglasten, Baugrößen, und Genauigkeit. PI bietet Tische mit allen verfügbaren Antriebstechnologien und Führungsmechanismen.
- Kreuztische
KreuztischeStabilität, Präzision und Dynamik sind Kernmerkmale in den Anwendungsgebieten der PI Kreuztische. Diese Eigenschaften bilden die Grundlage für hohe Durchsatzraten und zuverlässigen Betrieb. Industrielle Produktion und Inspektion profitieren vom Einsatz von Hochlast-Kreuztischen und Planarscannern von PI.
- Hexapoden
HexapodenHexapoden bieten 6 Freiheitsgrade der Bewegung auf kompaktestem Raum. Für industrielle Anwendungen gibt es Kombinationen aus absolut messenden Positionssensoren, geeigneter Software und Motion Controllern, mit denen sich auch komplexe Bewegungsprofile komfortabel kommandieren lassen.
- Hochpräzise Bewegungssysteme für die Automatisierung
Hochpräzise Bewegungssysteme für die AutomatisierungHochpräzise komplexe Bewegungs- und Positionierlösungen brauchen als wesentliche Grundlagen Präzisionskomponenten, eine stabile Regelung und viel Erfahrung im Engineering. PI ist Anbieter technologisch anspruchsvoller Antriebskomponenten oder hochpräziser Positionierer und bietet kundenspezifisch angepasste Lösungen zur Integration.
- Schnelle Mehrkanal-Faserpositioniersysteme
Schnelle Mehrkanal-FaserpositioniersystemePiezoscanner übernehmen dabei die schnellen, kontinuierlichen Scanaufgaben, bei denen es auf Langlebigkeit, Dynamik und Präzision ankommt. Die größeren Stellwege werden durch XYZ Kombinationen oder 6-Achsen Hexapoden realisiert. Durch die integrierten Routinen, ist es möglich einachsige Ausrichtungen bis hin zu komplexen, mehrachsigen Faser-Array-Positionierungen innerhalb kürzester Zeit durchzuführen.
- Motion Control Software
Motion Control SoftwareAlle Digitalcontroller von PI werden mit einem umfangreichen Softwarepaket ausgeliefert.
- Konzepte
KonzeptePI verfolgt bei der Gestaltung der Motion Control Software ein plattform- und hardwareunabhängiges Konzept.
- Anwenderprogramme und Funktionen
Anwenderprogramme und FunktionenJeder PI Controller wird mit einem umfangreichen Softwarepaket ausgeliefert, das den Benutzer bei der Einrichtung und Parametrisierung des Gesamtsystems unterstützt.
- Software-Tools für Hexapoden
Software-Tools für Hexapoden
- Programmierung
ProgrammierungDer Kunde kann eigene Anwendungsprogramme schreiben oder so anpassen, dass sich jeder PI Controller nahtlos in seine Applikation integriert.
- Drittanbieterunterstützung
Drittanbieterunterstützung
- Konzepte
- Controller & Treiberelektronik
Controller & TreiberelektronikDie jeweilige Applikation ist entscheidend für die Auswahl des passenden Controllers. Bestimmende Kriterien sind neben der Antriebstechnologie auch die Anzahl der angesteuerten Achsen und der verfügbare Bauraum. PI bietet ein breites Spektrum von Controllertypen und Regelkonzepten.
- Nanopositionier-Piezocontroller
Nanopositionier-PiezocontrollerPI bietet das breiteste Portfolio an digitalen und analogen Piezoregelkonzepten und damit das optimale Ergebnis in jeder Anwendung. Alle Piezosysteme werden vor Auslieferung kalibriert und alle Systeme sind bei Auslieferung betriebsbereit.
- Piezotreiber für ungeregelten Betrieb von Piezoaktoren
Piezotreiber für ungeregelten Betrieb von PiezoaktorenPiezotreiber von PI sind als Tischgeräte oder Rackeinschübe verfügbar, aber auch als winzige OEM Module mit separatem Netzteil. In Piezotreibern arbeiten leistungsfähige Verstärker, die auf verschiedene Arbeitsfelder angepasst sind.
- Motion Controller & Treiber für DC, Linear-, Torque- & Schrittmotoren
Motion Controller & Treiber für DC, Linear-, Torque- & SchrittmotorenPI entwickelt Motion Control Lösungen selbst und stimmt dabei die Eigenschaften bestmöglich auf Antrieb und Anwendungen ab. Motion Controller von PI sind ein- und mehrkanalig verfügbar, und das als Tischgerät, Rackeinschub oder OEM-Version.
- Controller & Treiber für Piezomotoren
Controller & Treiber für PiezomotorenController für Piezomotoren sind darauf ausgelegt, die Leistungsfähigkeit der verschiedenen Piezomotortypen zu optimieren. Sie sind ein- und mehrkanalig verfügbar, als Tischgerät, Rackeinschub oder OEM-Version.
- Controller-Systeme für mehrere Achsen & verschiedene Antriebsarten
Controller-Systeme für mehrere Achsen & verschiedene AntriebsartenModulare Motion Controller Systeme bieten die höchste Flexibilität um sukzessive mehr Achsen in ein System zu integrieren. Verschiedene Antriebsarten können damit über eine einzige Schnittstelle angesteuert werden. Die verfügbaren Module werden permanent ergänzt. Sprechen Sie uns an für Ihr individuelles Controllerdesign!
- Hexapod Controller
Hexapod ControllerSo einzigartig wie die Hexapodmechanik ist auch der entsprechende Motion Controller. Er sorgt dafür, dass die Ansteuerung der parallelen Kinematik einfach und für den Benutzer unbemerkt funktioniert: Alle Zielpositionen werden in kartesischen Koordinaten kommandiert. Die Intgration in Automatisierungsprozesse erleichtert die industrielle EtherCAT Schnittstelle.
- ACS Motion Control
ACS Motion Control für industrielle LösungenSpeziell für die Automatisierung mit industriellen Standards empfehlen wir Steuerungen unseres Partners ACS Motion Control. Sprechen Sie uns an für Ihre integrierte Lösung!
- Nanopositionier-Piezocontroller
- Piezoelektrische Wandler & Aktoren
Piezoelektrische Wandler, Transducer & PiezoaktorenPiezoelektrische Ultraschallwandler gibt es in vielen verschiedenen Formen wie Scheiben, Platten oder Rohren, und in verschiedenen Leistungsklassen. Anwendungsspezifische Anpassungen umfassen das piezokeramische Material, die Elektroden, den Aufbau und die Verbindungstechnik.
- Scheiben, Stäbe und Zylinder
Scheiben, Stäbe und Zylinder
- Platten und Blöcke
Piezokeramik Platten und Blöcke
- Ringe
Piezokeramische Ringe
- Rohre
Piezokeramische Rohre
- Halbkugeln
Piezokeramische Halbkugeln
- Biegeelemente
Piezokeramische Biegeelemente
- Scheiben, Stäbe und Zylinder
- Luftlager & Luftlagertische
Luftlager & LuftlagertischeLuftlagertische werden eingesetzt, wenn die Bewegung schwingungsfrei ausgeführt werden muss, wenn die Geschwindigkeit besonders konstant sein muss, und ein Verkippen der bewegten Plattform vermieden werden soll.
- Sensoren, Komponenten & Zubehör
Sensoren, Komponenten & ZubehörKapazitive Nanometrologiesensoren können in OEM-Applikationen direkt integriert werden. Für Mikroskopietische stehen eine Reihe von nützlichen Ergänzungen wie QuickLock Adapter für Objektivpositionierer und verschiedene Probeneinsätze zur Verfügung. Für viele Positioniertische gibt es standardisierte Adapterwinkel und –platten. Anpassungen sind auf Anfrage erhältlich.
- Produktneuheiten
- OEM
OEMKunden- und anwendungsspezifische Produktentwicklungen sind für PI die Grundlage für den Erfolg. Dazu müssen die Anforderungen verstanden und technologisch umgesetzt werden.
- Anwendungen
Anwendungen & MärktePI bietet Positioniergenauigkeit für viele Anwendungsbereiche: Halbleiterfertigung, Oberflächenmesstechnik, Medizintechnik und Automatisierungstechnik.- Automobilindustrie
Neue Lösungen für die AutomobilindustrieFertigungs- und Qualitätssicherungsprozesse in der Automobilindustrie erfordern immer häufiger mehrachsige und gleichzeitig präzisere Roboter für die Positionierung. Dies Aufgabe können parallelkinematische Hexapoden lösen
- Scientific Instrumentation
Scientific InstrumentationHinter dem Begriff "Scientific Instrumentation" verbergen sich sehr unterschiedliche Anwendungen, angefangen von der Mikroskopie über Beamline-Verfahren bis hin zum weiten Feld der Laborautomation.
- Hexapoden für ALMA
Hexapodsysteme im Einsatz für die Teleskopanlage ALMAHexapoden von PI positionieren unter extremen Umgebungsbedingungen die Subreflektoren zu den großen Hauptreflektoren der ALMA-Radioteleskope.
- Doppelkristall-Monochromator
Doppelkristall-Monochromator für ein RöntgenspektrometerPI Beamline Instrumentation übernimmt die Entwicklung, Fertigung und Integration von Positioniersystemen bis hin zur Einrichtung kompletter Endstationen.
- Hochvakuum
Materialforschung im HochvakuumFür hochpräzise Positionierung von Proben in der Materialforschung bieten parallelkinematische Hexapoden von PI die besten Voraussetzungen.
- Schwingungsisolation
Aktive Schwingungsisolation mit PiezoaktorenBei Mess- oder Fertigungsabläufen mit aktiver Schwingungsisolation reduzieren sich die Einschwingzeiten erheblich und höhere Durchsatzraten sind realisierbar.
- Antriebstechnik für das ELT
Antriebstechnik für das ELTDas European - Extremely Large Telescope, wird das größte bodengebundene Teleskop für die wissenschaftliche Auswertung elektromagnetischer Strahlung sein.
- Hexapoden für ALMA
- Halbleiterfertigung
HalbleiterfertigungLithografieverfahren liefern die Grundlage dafür, dass die Chips immer kleiner werden und sich extrem feine Strukturen auf den Siliziumwafern realisieren lassen. Piezoantriebe haben durch ihre Performance und Zuverlässigkeit diese technischen Fortschritte möglich gemacht.
- Mikroskopie
Mikroskopie und abbildende VerfahrenBildgebende Verfahren steigern die Effizienz in ganz unterschiedlichen Sparten, angefangen von der Medizintechnik bis hin zur Arzneimittelforschung und Halbleiterfertigung.
- Konfokale Mikroskopie
Justieren der Brennebenen in der konfokalen MikroskopieMit konfokaler Mikroskopie wird die Oberflächenbeschaffenheit der Probe z. B. in der Dermatologie durch die Verschiebung der Brennebene detektiert.
- Positionierlösungen für die interne Totalreflexionsfluoreszenz-Mikroskopie (TIRFM)
Positionierlösungen für die interne Totalreflexionsfluoreszenz-Mikroskopie (TIRFM)Linearversteller justieren den Laserstrahl im TIRF Mikroskop. Die präzise Probenpositionierung gelingt durch die Kombination zweier Kreuztische.
- Hochgeschwindigkeits-Mikroskopie
Prüfung im IndustrietaktDie Probenpositionierung erfolgt bei AFM-Scannern für Rasterkraftmikroskopie mit piezobasierten Scantischen, die somit eine Schlüsselrolle einnehmen.
- Rasterkraftmikroskopie
AFM-Scanner für RasterkraftmikroskopieDie Probenpositionierung erfolgt bei AFM-Scannern für Rasterkraftmikroskopie mit piezobasierten Scantischen, die somit eine Schlüsselrolle einnehmen.
- 3D-Oberflächeninspektion
3D-Oberflächeninspektion mit piezobasierten Positioniersystemen von PIFür die 3D-Oberflächeninspektion mit Picometer-Auflösung werden hochauflösende Kamerasysteme mit Weißlichtinterferometrie kombiniert.
- Konfokale Mikroskopie
- Siliziumphotonik
SiliziumphotonikDie Siliziumphotonik ermöglicht Datenraten in der Größenordnung von Tbit/s, bietet sich also für alle computergestützten Dienste an, die möglichst hohe Übertragungsgeschwindigkeiten verlangen.
- Photonics Packaging
Automatisiertes Photonics PackagingMit einem automatischen Montage- und Justiersystem kann sich der Fertigungsprozess in der Siliziumphotonik auf wenige Minuten reduzieren. Das Handling der filigranen Lichtwellenleiter ist allerdings eine beachtliche Herausforderung, denn die Integration der Lichtquellen auf Waferebene und der Anschluss der optischen Ein- und Ausgänge gestalten sich schwierig.
- Optische Faserpositionierung
Simultane Tests optischer Komponenten in der SiliziumphotonikDie Siliziumphotonik stellt neue Herausforderungen an die Fertigung von Komponenten einschließlich deren Test vor dem Schneiden des Wafers.
- Photonics Packaging
- Medizintechnik
MedizintechnikFortschritte in der medizinischen Forschung, Diagnostik und Therapie erfordern leistungsfähige, präzise Positioniersysteme. Außer hoher Positioniergenauigkeit gehören hier meist auch kompakte Abmessungen, geringer Energieverbrauch, Schnelligkeit und hohe Zuverlässigkeit zu den Forderungen an die Antriebe.
- Endoskopie
Chip-on-the-Tip VideoendoskopeDank kleinster Piezomotoren und magnetischen Miniaturantrieben sind bei Chip-on-the-Tip Endoskopen verbesserte Fokus- und Zoomfunktionen möglich.
- Ophthalmologie
Hochpräzise Antriebe in der OphthalmochirurgieDie Laserstrahlsteuerung und -fokussierung in der Ophthalmochirurgie (Augenchirurgie) erfordert hochpräzise Positioniersysteme und Antriebe.
- Magnetresonanztherapie
Unempfindliche Antriebe für die MagnetresonanztomografiePiezoantriebe sind für die Magnetresonanztherapie geeignet, da sie sich von starken Magnetfeldern nicht in ihrer Funktion beeinträchtigen lassen.
- Optische Kohärenztomographie
Optische Kohärenztomographie (OCT)Piezoaktoren und -antriebe garantieren die für die optische Kohärenztomographie notwendige hohe Präzision und Positionsstabilität.
- Pipettieren
Gleichförmige Kraft beim PipettierenPiezomotoren sind für das Pipettieren bei immer kleineren Geräteabmessungen und Probenabständen geeignet und können Pipetten auch vertikal bewegen.
- Präzisionsdosierung
Präzisionsdosierung bei NanodispensernPiezoaktoren sind zum Einsatz in Nanodispensern geeignet, da sie Ventile direkt schalten, aber auch z.B. gegen eine Verschlussfeder arbeiten können.
- Mikropumpen
Piezomikropumpen – Kleiner Bauraum und hohe LeistungMikromembranpumpen bieten auf kleinen Bauraum hohe Leistung - die Antriebe ermöglichen einen kontinuierlichen Fluss und eine variable Durchflussrate.
- Hohe Geschwindigkeiten für Bildstabilisierung und Microscanning
Bildstabilisierung und Microscanning mit PiezoscannernSchnelle Piezoscanner arbeiten mit den notwendigen Verstellgeschwindigkeiten um in der Bildstabilisierung und im Microscanning eingesetzt zu werden.
- Adaptive Blendenverstellung
Adaptive BlendenverstellungIn der Strahlentherapie werden einzelne Lamellenblenden so verstellt, dass das gesunde Gewebe bestmöglich vor der Strahlung geschützt wird.
- Endoskopie
- Materialforschung
MaterialforschungEffizienz ist heute zu einem wichtigen Schlagwort geworden. Materialforschung trägt hierzu wesentlich bei, da sich aufgrund der erzielten Ergebnisse z. B. die Bearbeitungsverfahren optimieren lassen. Methoden wie Röntgen- und Laserstrahlen oder Weißlichtinterferometrie verlangen nach einer präzisen Positionierung der zu untersuchenden Objekte und der Optik bzw. Strahlsteuerung.
- Hochlast-Parallelkinematik für die Materialforschung
Hochlast-Parallelkinematik für die MaterialforschungKräftige Positioniersysteme ermöglichen den Einsatz von energiereiche Röntgenstrahlung an Beamlines für die Materialforschung.
- Laserstrahlsteuerung
Piezoantriebe für die LaserstrahlsteuerungLaser eignen sich als Werkzeuge für viele Anwendungsbereiche. Gleichzeitig verlangt die Laserstrahlsteuerung Präzision, Dynamik und Zuverlässigkeit.
- Hochlast-Parallelkinematik für die Materialforschung
- Maschinenbau
MaschinenbauMaschinenbau und Fertigungstechnik brauchen schnelle, zuverlässige und energiesparende Antriebskomponenten. Das Spektrum reicht von Piezoaktor bis hin zur sechsachsigen Parallelkinematik, die direkt mit der CNC-Steuerung kommunizieren kann.
- Senkerosion
Piezoaktoren beschleunigen die SenkerosionMit Senkerosion werden mikrostrukturierte Präzisionsbauteile gefertigt, oft in großen Stückzahlen. Vor allem vibrierende Piezoaktoren tragen dazu bei.
- Hexapoden im Maschinenbau
Hexapoden im MaschinenbauWerden im Maschinenbau für Positionieraufgaben mehrachsige Systeme gebraucht, bieten sich oft parallelkinematische Systeme, sogenannte Hexapoden an.
- Senkerosion
- Automatisierung
AutomatisierungPiezoantriebe, magnetische Direktantriebe und Hexapoden sind aus der Automatisierung nicht mehr wegzudenken. Sie arbeiten präzise und zuverlässig und haben sich unter rauen Einsatzbedingungen bewährt.
- Smarter Motion Positioning
Smarter Motion PositioningPositionier- und Bewegungsaufgaben in der industriellen Automatisierung z. B. in der Montage, in der Halbleiterfertigung, in der Lasermaterialbearbeitung, in Inspektionssystemen oder in der additiven Fertigung fordern Lösungen, die robust und zuverlässig sind.
- Hexapoden in der Mikromontage
Hexapoden in der MikromontageMikromontage verlangt heute nach präzisen Positioniersystemen, die möglichst kompakt sein sollen, um sich gut in die Fertigungseinheiten zu integrieren.
- Hexapoden für die Qualitätssicherung
Hexapoden für die QualitätssicherungIn der Mikroproduktionstechnik müssen für die Qualitätssicherung Messsonden, Optik oder Kamerasysteme exakt positioniert werden.
- Magnetische Direktantriebe
Magnetische DirektantriebeMagnetische Direktantriebe empfehlen sich bei Positionieraufgaben aus vielen Gründen als gute Lösung, da sie Mikro- oder Nanometer genau arbeiten.
- Hexapoden für die Simulation
Hexapoden für die SimulationSechsachsige Parallelkinematik – Hexapoden ermöglichen präzise und exakt wiederholbare Bewegungen in allen linearen und rotatorischen Achsen.
- Flexibilität für dimensionale Messtechnik
Flexibilität für dimensionale MesstechnikFlexibilität in der Produktion: Durch Hexapod-Systeme kann die benötigte Installationsfläche für die Robotik erheblich reduziert werden.
- Kompensation von Positionsfehlern
Kompensation von PositionsfehlernDynamische Hexapoden mit Piezoantrieben bieten aufgrund ihres parallelkinematischen Aufbaus die besten Voraussetzungen für die Bewegungskompensation.
- Schnelle Piezo-Ultraschallantriebe treiben die Technik voran
Schnelle Piezo-Ultraschallantriebe treiben die Technik voranWenn die Anforderungen steigen, können Piezo-Ultraschallmotoren als gute Alternative zur Gleichstrom-Schrittmotorkombination verwendet werden.
- Lasermaterialbearbeitung
LasermaterialbearbeitungPI bietet Automatisierungsplattformen für die hochpräzise und durchsatzstarke Lasermaterialbearbeitung, wie z. b. für Lasermarkieren, Laserschneiden und Laserbeschriften.
- Smarter Motion Positioning
- Beamline Instrumentation
Beamline InstrumentationScientific experiments pose their own challenges, and beamline X-ray experiments are even more special in themselves. However, the need for precision equipment is universal.
- Tomography Equipment
Tomography Equipment
- Synchrotron Spectroscopy in Vacuum
Synchrotron Spectroscopy in Vacuum
- Beam Preparation
Beam Preparation
- Sample Positioning for Tomography
Sample Positioning for Tomography
- Microscopy
Microscopy
- Accelerator Technology
Accelerator TechnologyDynamic compensation of Lorentz forces at the XFEL accelerator structures: The particle accelerator XFEL at the DESY (German Electron Synchrotron) uses acceleration technology based on super-conducting acceleration structures, so-called resonators or cavities.
- Tomography Equipment
- Additive Fertigung
Additive FertigungAufgrund ihrer hohen Dynamik und Kräfte eignen sich Piezoaktoren besonders für den Einsatz in Maschinen für die additive Fertigung.
- Technologie
Wissen & TechnologienLangjährige Erfahrung in der Mikro- und Nanostelltechnik führt PI mit fundiertem Wissen in den Fachgebieten Mechanik, Elektronik, Sensorik und Software zusammen. So ist PI in der Lage, seinen Kunden die fortschrittlichsten Antriebstechnologien und Systemlösungen anzubieten.- Piezotechnologie
PiezotechnologiePI Ceramic verfügt über langjährige Erfahrungen in der Fertigung piezokeramischer Materialien, Bauelemente und Aktoren. Die Keramikmaterialien können individuell auf den Einsatz der Piezokomponenten abgestimmt werden.
- Grundlagen der Piezotechnologie
Grundlagen der PiezotechnologiePhysikalische Grundlagen und Erläuterungen zur Piezoelektrizität und Elektromechanik.
- Eigenschaften von Piezoaktoren
Eigenschaften von PiezoaktorenCharakteristik piezokeramischer Aktoren: Auslenkungsarten, Kräfte und Steifigkeiten, Dynamik, Umgebungsbedingungen.
- Piezokeramische Materialien
Piezokeramische MaterialienPI Ceramic bietet eine Vielzahl verschiedener piezoelektrischer Materialien inklusive bleifreier Materialien.
- Fertigungstechnologie
FertigungstechnologiePI Ceramic bietet ein breites Spektrum an Herstellungstechniken: Press- oder Folientechnologie, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie Prüfverfahren.
- PICMA® Technologie
PICMA® TechnologieHohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.
- Integrierte Piezoaktoren
Integrierte PiezoaktorenUm Zugkräfte zu vermeiden, sind diese Piezoelemente in mechanischen Gehäusen oder durch Festkörpergelenke mechanisch vorgespannt .
- DuraAct Flächenwandler Technologie
DuraAct Flächenwandler TechnologieHerstellung, Funktionsweise und die typischen Arbeitskenngrößen von DuraAct Flächenwandlern erläutern die mögliche Kraftentwicklung und Auslenkung.
- PIRest Aktoren
PIRest AktorenActive Shims mit Nanometer-Auflösung und Langzeitstabilität
- Grundlagen der Piezotechnologie
- Piezoelektrische Antriebe
Piezoelektrische AntriebePiezokeramische Aktoren können je nach Konfiguration und Ansteuerung als translatorischer Aktor oder als Motor mit prinzipiell unbegrenzten Stellwegen verwendet werden. Die Wahl des Antriebs hängt von den Anforderungen der Anwendung ab.
- Piezoaktoren
Piezoaktoren mit und ohne FührungPiezoelektrische Aktoren bieten Sub-Nanometer-Auflösung und kürzeste Ansprechzeiten und sind damit ideal für nanometergenaue Positionierung.
- PiezoWalk® Piezoschreitantriebe
PiezoWalk® PiezoschreitantriebePiezoWalk®Antriebe wurden für die Halbleiterindustrie entwickelt, die hohe Anforderungen an die Zuverlässigkeit, Positionsauflösung und Stabilität hat.
- PILine® Ultraschall-Piezomotoren
PILine® Ultraschall-PiezomotorenPILine® Antriebe verzichten für die Kosten und der Zuverlässigkeit auf mechanische Komponenten klassischer Motor-Spindel-basierter Antriebssysteme.
- Piezoelektrische Trägheitsantriebe
Piezoelektrische TrägheitsantriebePiezoträgheitsantriebe von PI sind einfach aufgebaut und ansteuerbar. Sie nutzen den Stick- Slip-Effekt (Trägheitseffekt).
- PiezoMike Linearaktoren
PiezoMike LinearaktorenDer PiezoMike Linearaktor von Physik Instrumente (PI) hält die Position langzeitstabil und ist erschütterungs- und vibrationsfest.
- Piezo-Antriebstechnologien im Vergleich
Piezo-Antriebstechnologien im VergleichDie Antriebstechnologien von Physik Instrumente (PI) im Vergleich: Piezomotoren, Schreitantriebe, Ultraschall- und Trägheitsantriebe.
- Piezoaktoren
- Elektromagnetische Antriebe
Elektromagnetische AntriebeDrehende Elektromotoren wie DC- oder Schrittmotoren werden in Verbindung mit Spindel- oder Schneckenantrieb eingesetzt. Dabei sind Schrittmotorlösungen mit hochauflösenden Encodern in der Lage, kleinste Schrittweiten von 10 Nanometern zuverlässig und wiederholbar auszuführen.
- Drehende Elektromotoren
Drehende Elektromotoren von PIDie drehenden Elektromotoren, wie zum Beispiel DC- oder Schrittmotoren, werden in Verbindung mit Spindel- oder Schneckenantrieb eingesetzt.
- PIMag® Magnetische Direktantriebe
PIMag® Magnetische DirektantriebeMagnetische Direktantriebe bieten vor allem hinsichtlich Verschleiß und Dynamik Vorteile gegenüber klassischen spindelbasierten Lösungen.
- PIMag® 6D Magnetisches Schweben
PIMag® 6D Magnetisches Schweben in sechs FreiheitsgradenInspektions- und Fertigungssysteme der Halbleiterindustrie: mechanische Präzisionsführungen oder Luftlagertechnik mit magnetischen Linearmotoren.
- Hybridkonzept
Hybridkonzept aus Piezo und MotorBeim Hybridkonzept von PI werden DC-Servomotor (Vorteil: große Stellwege) und Piezoantrieb (Vorteil: Nanometer-Genauigkeit) kombiniert.
- Drehende Elektromotoren
- Parallelkinematik
ParallelkinematikIn einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Dadurch können die dynamischen Eigenschaften der Achsen identisch ausgelegt und die bewegte Masse stark reduziert werden. Ein Hexapod ist ein mehrachsiges Positioniersystem, das Lasten in drei linearen und drei rotatorischen Achsen im Raum bewegt und ausrichtet.
- Parallele Kinematik
Piezopositioniersysteme mit paralleler KinematikDer Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.
- Hexapoden und SpaceFAB
Hexapoden und SpaceFABHexapoden sind Systeme für die Bewegung und Positionierung, Justierung und Verschiebung von Lasten in sechs Achsen im Raum, linear und rotatorisch.
- Hexapoden als Bewegungssimulator
Hexapoden als BewegungssimulatorBewegungssimulatoren haben höhere Anforderungen an die Dynamik der Bewegung (Shaker).
- Parallele Kinematik
- Sensortechnologien
SensortechnologienLinearität und Wiederholgenauigkeit hochdynamischer und hochauflösender Positioniersysteme sind nicht denkbar ohne den Einsatz höchstauflösender Messverfahren. Genauigkeiten im Bereich weniger Nanometer und darunter erfordern Positionsmessverfahren, die Bewegung in diesem Bereich auch erfassen können.
- Kapazitive Sensoren
Kapazitive SensorenPräzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.
- Inkrementelle Sensoren
Inkrementelle SensorenBei längeren Stellwegen ab ca. 1 Millimeter stoßen die kapazitiven Messsysteme an ihre Grenzen: PI verwendet daher inkrementelle Messsysteme.
- PIOne: Optical Nanometrology Encoder
PIOne: Optical Nanometrology EncoderDer hochauflösende Linearsensor PIOne von PI erlaubt, bei entsprechender Messauswertung eine Positionsauflösung von weit unterhalb einem Nanometer.
- Sensortechnik im Vergleich
Sensortechnik im VergleichGenauigkeiten im Bereich weniger Nanometer und darunter erfordern ein Positionsmessverfahren, das Bewegung in diesem Bereich auch erfassen kann.
- Kapazitive Sensoren
- Ansteuerung & Software
Ansteuerung & SoftwareSchnelles Einschwingen oder langsame Geschwindigkeit mit hoher Konstanz, hohe Positionsstabilität und -auflösung, hohe Dynamik – die Anforderungen an Piezosysteme sind sehr unterschiedlich und erfordern ein hohes Maß an Flexibilität in der Steuerung und Regelung.
- Digitale und analoge Schnittstellen
Digitale und analoge SchnittstellenSchnelle USB- oder TCP/IP-Interfaces zählen neben RS-232 zu den Standardschnittstellen, die moderne Digitalcontroller von PI unterstützen.
- PI Geräte über EtherCAT vernetzen
PI Geräte über EtherCAT vernetzenEtherCAT Netzwerke integrieren PI-Controller als Slave. ACS Motion Controller können als EtherCAT Master oder untergeordnet in einer bestehenden Busarchitektur eingebunden werden.
- Ansteuerung von Piezoaktoren
Ansteuerung von PiezoaktorenPiezotreiber und Motion Controller von PI bieten unter anderem hohe Linearität, hohe Langzeitstabilität, sowie Rauschen um 1 mV (RMS-Wert).
- Digitale Motion Controller
Digitale Motion ControllerDigitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.
- Digitale und analoge Schnittstellen
- Führungen und Kraftübertragung
Führungen und KraftübertragungFlexure-Festkörpergelenke, mechanische Führungskomponenten oder magnetische Lager? Welches Führungssytem PI in seinen Produkten einsetzt, ist abhängig von Stellweg, Präzisionsanforderung, Last, Zyklenzahlen und Umgebungsbedigungen.
- Classical Guiding Systems
Klassische Führungen und KraftübertragungPositionierer mit Stellwegen von mehreren Millimetern bis über einem Meter verwenden in der Regel mechanische Führungskomponenten wie Kugellager.
- Flexure Festkörpergelenke
Flexure FestkörpergelenksführungenFestkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.
- Magnetische Lager
Magnetische LagerDas magnetische Schweben ("Magnetic Levitation") ermöglicht hervorragende Führungsgenauigkeit in der Ebene sowohl linear als auch rotativ.
- PIglide Luftlager-Technologie
PIglide Luftlager-TechnologieDer Magnetantrieb kann eine luftgelagerte bewegte Plattform innerhalb weniger Nanometer linear oder weniger Bogensekunden rotatorisch positionieren.
- Classical Guiding Systems
- Vakuum
Positioniersysteme für Vakuum und UHVSorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
- Glossar
PI Glossar für FachbegriffeHilfreiche Erklärungen zu Fachbegriffen finden Sie im PI Glossar.
- Aktuelles
Aktuelle Meldungen und VeranstaltungenNutzen Sie die Gelegenheit, unsere Produkte live zu erleben und Ihre Anwendung mit unseren Entwicklungs- und Vertriebsingenieuren zu diskutieren.- Physik Instrumente (PI) Newsletter
Physik Instrumente (PI) NewsletterGerne informieren wir Sie regelmäßig über neue Technologien, Produkte und Veranstaltungen
- Meldungen & Presse
Meldungen & NeuheitenIm News-Archiv finden Sie alle Meldungen zum Nachschlagen.
- Messen & Veranstaltungen
Messen & VeranstaltungenNutzen Sie die Gelegenheit, unsere Produkte live zu erleben und mit unseren Entwicklungs- und Vertriebsingenieuren Ihre Anwendungen zu besprechen
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- Über PI
Über PIPI steht für technische Spitzenleistungen und kontinuierlichen Fortschritt in der Präzisions-Positionierung – angetrieben von der Begeisterung für Technologie und deren Einsatz in Kundenapplikationen. Ziel der PI Gruppe ist es, diese Markt- und Technologieführung weiter auszubauen und damit seinen Kunden die entscheidenden Wettbewerbsvorteile zu sichern.- Technologiezentrum
TechnologiezentrumDas Technologiezentrum verfügt neben Büroräumen auch über Applikationslabore, Messräume und Reinräume für Vakuum und Kryo-Kammern.
- Fraktale Fertigungsstruktur bei PI
Fraktale Fertigungsstruktur bei PIPI produziert in autonomen Einheiten. Jedes Fraktal verantwortet eigene Produktlinien und verfügt über alle notwendigen Fähigkeiten und Produktionsmittel.
- Messtechnik bei PI
MesstechnikPI qualifiziert seine Produkte mit externen Messmitteln. Diese sind teilweise kalibriert und auf ein Normal zurückzuführen. Mit dem inkrementellen Encoder PIOne und kapazitiven Sensoren stellt PI eigene Messtechnik für den Einbau in PI Produkte her.
- Reinraum-Fertigung bei PI
Reinraum-Fertigung bei PIPI verfügt über die Möglichkeit unter Reinraumbedingungen zu fertigen und zu qualifizieren, welche entsprechend den Marktbedürfnissen stets verbessert werden.
- Schwerlasthalle
Schwerlasthalle für tonnenschwere PositioniersystemeDie Produktbandbreite vom Zwei-Tonnen-Hexapod bis zum Zehn-Gramm-Nanopositionierer setzt voraus, dass PI diese Systeme sowohl fertigen als auch qualifizieren kann. Für die Montage und Vermessung von Massen bis zu fünf Tonnen verfügt PI am Standort Karlsruhe daher über eine Schwerlasthalle.
- Zertifizierte Qualität
Zertifizierte QualitätPI zielt auf die gleichen hohen Standards in Qualität, Sicherheit und Umweltschutz weltweit, welche sich durch das Integrierte Managementsystem (IMS) ausdrückt.
- Die PI Gruppe
Die PI GruppePI steht für technische Spitzenleistungen und kontinuierlichen Fortschritt in der Präzisions-Positionierung – angetrieben von der Begeisterung für Technologie und deren Einsatz in Kundenapplikationen.
- Über PI miCos
PI miCos GmbH, DeutschlandAls Mitglied der PI-Gruppe bringt PI miCos seine Stärken im Bereich des Systembaus (Engineered Systems) ein und bildet das Kompetenzzentrum für Positioniersysteme mit magnetischen Antrieben.
- PI weltweit
PI weltweitDie PI Gruppe ist mit Niederlassungen und Händlern weltweit vertreten. Finden Sie hier Ihren Ansprechpartner vor Ort!
- So erreichen Sie PI!
So erreichen Sie PI!Die Physik Instrumente (PI) GmbH in Karlsruhe erreichen Sie direkt über die A8, Ausfahrt Karlsbad.
- Karriere
KarrierePI bietet eine fundierte Ausbildung in technischen und wirtschaftlichen Berufen, die Zukunft haben. Schüler, Studenten, Absolventen sowie bereits Berufserfahrene können sich bei PI einbringen und werden von uns in ihrer fachlichen und persönlichen Weiterentwicklung unterstützt. Werden Sie Teil unseres Teams!- Jobs bei PI
Jobs bei PIPI bietet eine fundierte Ausbildung in technischen und wirtschaftlichen Berufen, die Zukunft haben. Schüler, Studenten, Absolventen sowie bereits Berufserfahrene können sich bei PI einbringen und werden von uns in ihrer fachlichen und persönlichen Weiterentwicklung unterstützt. Werden Sie Teil unseres Teams!
- Berufserfahrene und Berufseinsteiger
Berufserfahrene und BerufseinsteigerDie PI Gruppe bietet Absolventen und Berufserfahrenen interessante Stellen an. Gutes Arbeitsklima, sowie persönliche und berufliche Weiterentwicklungen erwarten Sie!
- Studenten
StudentenUm auch Studenten Einblicke in das Berufsleben zu gewähren, bietet die PI Gruppe interessante Tätigkeiten. So können Sie schon während Ihres Studiums praktische Erfahrungen sammeln um anschließend erfolgreich ins Berufsleben zu starten!
- Ausbildung, duales Studium und Schülerpraktika
Ausbildung, duales Studium und SchülerpraktikaDu hast deinen Schulabschluss erfolgreich gemeistert und willst eine Ausbildung oder ein duales Studium beginnen? Starte deinen Berufsweg bei der PI Gruppe mit attraktiven Ausbildungsangeboten.
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Hohe Führungsgenauigkeit durch Flexure Festkörpergelenke
Integrierte Führung, Hebelübersetzung und Vorspannung
- In der Nanostelltechnik haben sich Festkörpergelenksführungen für Positionieraufgaben bis zu mehreren Millimetern bewährt. Die Bewegung eines Flexuregelenks beruht auf der elastischen Deformation eines Festkörpers. Dadurch treten weder Haft-, Roll- noch Gleitreibung auf.
Eigenschaften
Vorteile sind hohe Steifigkeit, Belastbarkeit und Verschleißfreiheit. Flexures sind wartungsfrei, können aus nichtmagnetischen Materialien gefertigt werden und benötigen weder Schmiermittel noch andere Betriebsstoffe - deshalb arbeiten sie auch problemlos im Vakuum.
Flexures als Hebel
Die Auslenkung eines Piezoaktors lässt sich zudem durch die Integration von Hebelmechanismen vervielfachen. Der Aktor wird mechanisch so in ein Festkörpergelenk eingebunden, dass sich der Stellweg auf bis zu 2 mm verlängert. Da einfache Hebelaufbauten jedoch deutlich an Führungsgenauigkeit und Steifigkeit verlieren, erfordert die Konstruktion wesentlich komplexere Geometrien.
Ein Piezoversteller mit integriertem Flexure-Führungssystem erreicht eine Führungsgenauigkeit von wenigen Nanometern bzw. Microradian und eine hohe Ablaufebenheit Sub-Nanometer-Genauigkeit
Flexures ermöglichen Bewegungen mit extrem hoher Bahntreue. Um Höhen- oder Querversatz zu kompensieren, verwendet PI spezielle Multilink-Flexure-Führungen. Diese Führungssysteme, die in den meisten Nanopositioniersystemen von PI eingesetzt werden, ermöglichen eine Ablaufebenheit und Geradheit im Sub-Nanometer- bzw. Mikroradianbereich.
Flexure Führungssysteme der höchsten Genauigkeitsklasse entstehen im Drahterodierverfahren 
Die Deformation der Flexure Gelenksführungen wird über FEM-Stresssimulationen geprüft Produkte
Lineartische mit Piezoantrieb und Festkörperführung
Hochpräzise Nanopositionierer und Scanner für Stellwege bis 1,5 mm
Hub- und Kipp-Piezoscantische
Vertikale Positionierer und Scanner
Piezokreuztische
Hochpräzise XY-Nanopositionierer
XYZ-Piezoscanner
3-Achs-Nanopositionier-Scanner für maximale Präzision
- Anwendungen
