P-733.2 • P-733.3 XY(Z)-Piezonanopositionierer

Hochpräzise XY(Z) Scannerfamilie mit Apertur

Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X,Y und bis 10 µm in Z
Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
Hochdynamische Versionen mit Direktantrieb
Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen
Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen


P-733.2CD
P-733.2CL

P-733.3CD
P-733.3CL

P-733.2DD

P-733.3DD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y, Z

X, Y

X, Y, Z


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

115 µm × 115 µm

115 µm × 115 µm × 12 µm

33 µm × 33 µm

33 µm × 33 µm × 14 µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

100 µm × 100 µm

100 µm × 100 µm × 10 µm

30 µm × 30 µm

30 µm × 30 µm × 10 µm

 

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2 (0,1 in Z)

0,1

0,1

nm

typ.

Auflösung, geregelt

0,3

0,3 (0,2 in Z)

0,1

0,1

nm

typ.

Linearitätsabweichung (X, Y)

0,03

0,03

0,03*

0,03*

%

typ.

Linearitätsabweichung (Z)

0,03

0,03*

%

typ.

Wiederholgenauigkeit (X, Y)

<2

<2

<2

<2

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit (Z)

<1

<1

nm

typ.

Neigen (X, Y)

<±3

<±3

<±5

<±5

µrad

typ.

Gieren (X, Y)

<±10

<±10

<±10

<±10

µrad

typ.

Verkippung bei Bewegung in Z

<±5

<±5

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

1,5

1,4 (9 in Z)

20

4 (10 in Z)

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

500

460 (1400 in Z)

2230

1200 (1100 in Z)

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 120 g

370

340 (1060 in Z)

 –

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 200 g

340

295 (650 in Z)

1550

530 (635 in Z)

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

N

max.


Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

6

6 (2,4 in Z)

6,2

6,2 (3,3 in Z)

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

7,5

7,5 (30 in Z)

25

25 (41 in Z)

µA / (Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

 

 

 

 

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse

0,58

0,675

0,58

0,675

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

D-Sub Spezial (CD-Version);

LEMO (CL-Version)

D-Sub Spezial (CD-Version);

LEMO (CL-Version)

D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

* Mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Versteller typ. bis 0,1 % betragen.

Empfohlene Controller

Einkanalig (1 pro Achse):

E-610 Piezoverstärker / Servocontroller

E-625 Piezoservocontroller (Tischgerät)

E-621 Piezoservocontroller

Mehrkanalig:

Modulares Piezocontroller-System E-500 mit Verstärkermodul E-503 (dreikanalig) oder E-505 (1 je Achse, hohe Leistung) und E-509 Regler

E-710 Digitaler Piezocontroller (Tischgerät)

E-725 Digitaler Piezocontroller (Tischgerät)

E-712 Digitaler Piezocontroller (modular)

E-761 Digitaler Piezocontroller (PC-Karte)

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

P-733.3, Abmessungen in mm
P-733.2, Abmessungen in mm
P-733.xDD, Abmessungen in mm

Mit Direktantrieb

P-733.2DD
Hochdynamisches, hochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 30 µm × 30 µm, Direktantrieb, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-733.3DD
Hochdynamisches, präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 30 µm × 30 µm × 10 µm, Direktantrieb, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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Mit D-Sub-Stecker

P-733.2CD
Hochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-733.3CD
Präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 10 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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Mit LEMO-Stecker

P-733.2CL
Hochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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Mögliches Zubehör

P-733.AP1
Adapterplatte zur Montage von P-733-Piezotischen auf M-545-Kreuztische
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Mit LEMO-Stecker

P-733.3CL
Präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 10 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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Vakuumversionen

P-733.2VL
Hochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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P-733.2VD
Hochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
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P-733.2UD
Hochpräzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
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Sonderausführungen auf Anfrage.

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-733.2 • P-733.3

XY(Z)-Piezonanopositionierer hochpräzise XY(Z) Scannerfamilie mit Apertur
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Dokumentation

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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
Alle
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Übersicht Mikroskopiezubehör

PI Mikroskopie-Probenhalter und Adapter für Mikroskopietische
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Benutzerhandbuch PZ103

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
1.0.0
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3D Modelle

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P-733 STEP

Englisch
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