P-733.2 XY-Piezonanopositionierer

Hochpräziser XY-Scanner mit Apertur

P-733.2 XY-Piezonanopositionierer
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X und Y
  • Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
  • Hochgeschwindigkeitsversionen mit Direktantrieb
  • Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen verfügbar
  • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
  • Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen

Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Konfokale Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Oberflächenmesstechnik
  • Nanoimprint
  • Mikromanipulation
  • Bildverarbeitung / -stabilisierung
  • Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik

In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Spezifikationen

Datenblatt P-733.2

Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-06-14
Version / Datum
2018-07-11
Dokumentsprache
pdf - 618 KB
pdf - 626 KB
pdf - 728 KB
pdf - 809 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-733.2

Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-06-14
Version / Datum
2018-07-11
Dokumentsprache
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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ103

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
2012-12-10
Version / Datum
2012-12-10
Dokumentsprache
pdf - 858 KB
pdf - 863 KB

Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
Version / Datum
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

Übersicht Mikroskopiezubehör

PI Mikroskopie-Probenhalter und Adapter für Mikroskopietische
Version / Datum
2018-05-16
Version / Datum
2018-05-16
Dokumentsprache
pdf - 138 KB
pdf - 150 KB

3-D-Modelle

P-733 STEP

Angebot / Bestellung

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Mit Direktantrieb

Versionen mit D-Sub-Stecker

Versionen mit LEMO-Stecker

Zubehör

Linearpositionierer, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

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