P-611.3 NanoCube® XYZ-System

Kompaktes mehrachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung und Faserjustage

Stellweg bis 120 µm × 120 µm × 120 µm
Ultrakompakt: 44 mm × 44 mm × 44 mm
Auflösung bis 0,2 nm
Schnelles Ansprechverhalten
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Für schnelles Scannen
Version mit integriertem Faserhalter
Besonders kostengünstige Systeme


P-611.3S
P-611.3SF

P-611.3O
P-611.3OF

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y, Z

X, Y, Z

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

120 / Achse

120 / Achse

µm

min. (+20%/-0%)

Stellweg, geregelt

100 / Achse

µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

1

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,1

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<10

nm

typ.

Neigen in X, Y

±5

±5

µrad

typ.

Verkippung θX (Bewegung in Z)

±10

±10

µrad

typ.

Gieren in X

±20

±20

µrad

typ.

Gieren in Y

±10

±10

µrad

typ.

Verkippung θY (Bewegung in Z)

±10

±10

µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

0,3

0,3

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet X / Y / Z

350 / 220 / 250

350 / 220 / 250

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet X / Y / Z, 30 g

270 / 185 / 230

270 / 185 / 230

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet X / Y / Z, 100 g

180 / 135 / 200

180 / 135 / 200

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

15 / -10

15 / -10

N

max.

Belastbarkeit

15

15

N

max.


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

1,5

1,5

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

1,9

1,9

µA/(Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Abmessungen

48 mm × 44 mm × 43,2 mmSF-Version: 44 mm × 50 mm × 44,2 mm

44 mm × 44 mm × 43,2 mmOF-Version: 44 mm × 50 mm × 44,2 mm

Masse

0,32

0,32

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

D-Sub-Stecker

Spannungsanschluss

D-Sub-Stecker

D-Sub-Stecker

Empfohlene Controller / Verstärker

E-664 NanoCube® Controller

3 × E-610.00F OEM-Verstärkermodule;E-663 Dreikanalverstärker, Tischgerät

Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker

Dynamischer Stromkoeffizient in µA pro Hertz und µm. Beispiel: Sinusbetrieb mit 50 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 0,9 mA Strom.

Adapterkabel mit LEMO-Steckern für Sensoren und Betriebsspannung erhältlich.

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-611.3

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-611.3

NanoCube® XYZ-System kompaktes mehrachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung und Faserjustage
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch PZ253

P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
1.0.0
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB
pdf

Technical Note P611T0006

Unpacking und Handling von P-611 Nanopositioniersystemen
2014-07-29
Englisch
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3D Modelle

zip

P-611.3x STEP

Englisch
zip - 187 KB