P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

Hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 6 Achsen

Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Stellwege bis 300 x 300 x 300 µm
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Exzellente Scan-Ebenheit
Hochdynamische XYZ-Version; 6-Achsenversionen auf Anfrage
Freie Apertur 66 mm x 66 mm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
UHV-Versionen bis 10-9 hPa

 


P-561.3CD
P-561.3CL

P-562.3CD
P-562.3CL

P-563.3CD
P-563.3CL

P-561.3DD

Einheit

Toleranz

PIMars XYZ Nanopositioniersystem mit geregeltem Stellweg von

100 × 100 × 100

200 × 200 × 200

300 × 300 × 300

45 × 45 × 15, Direktantrieb

µm

 


Bewegung und Positionieren

 

 

 

 

 

 

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

 

 

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

150 × 150 × 150

300 × 300 × 300

340 × 340 × 340

58 × 58 × 18

µm

min. (+20 % / -0 %)

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,4

0,5

0,1

nm

typ.

Auflösung, geregelt

0,8

1

2

0,2

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,03

0,03

0,03

0,01*

%

typ.

Wiederholgenauigkeit in X / Y / Z

2 / 2 / 2

2 / 2 / 4

2 / 2 / 4

2 / 2 / 2

nm

typ.

Neigen in X, Y

±1

±2

±2

±3

µrad

typ.

Übersprechen θX, θY (Bewegung in Z)

±15

±20

±25

±3

µrad

typ.

Gieren in X, Y

±6

±10

±10

±3

µrad

typ.

Ebenheit in X, Y

±15

±20

±25

±10

nm

typ.

Übersprechen in X, Y (Bewegung in Z)

±30

±50

±50

±20

nm

typ.


Mechanische Eigenschaften

 

 

 

 

 

 

Resonanzfrequenz unbelastet in X / Y / Z

190 / 190 / 380

160 / 160 / 315

140 / 140 / 250

920 / 920 / 1050

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 100 g

 -

145 / 145 / 275

120 / 120 / 215

860 / 860 / 950

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 330 g

140 / 140 / 300

130 / 130 / 195

110 / 110 / 170

500 / 500 / 470

Hz

±20 %

Druckbelastbarkeit in Stellrichtung in X / Y / Z

200 / 200 / 50

120 / 120 / 50

100 / 100 / 50

200 / 200 / 50

N

max.

Zugbelastbarkeit in Stellrichtung in X / Y / Z

30 / 30 / 30

30 / 30 / 30

30 / 30 / 30

30 / 30 / 30

N

max.

Belastbarkeit

50

50

50

50

N

max.


Antriebseigenschaften

 

 

 

 

 

 

Piezokeramik

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885 in Z, P-888 in XY

 

 

Elektrische Kapazität in X / Y / Z

5,2 / 5,2 / 10,4

7,4 / 7,4 / 14,8

7,4 / 7,4 / 14,8

38 / 38 / 6

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient in X / Y / Z

6,5 / 6,5 / 13

4,6 / 4,6 / 9,25

3,1 / 3,1 / 6,1

106 / 106 / 50

µA / (Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

 

 

 

 

 

 

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

 

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

 

 

Masse

1,45

1,45

1,45

1,55

kg

±5 %

Sensor- / Spannungsanschluss

CD-Version: D-Sub Spezial, 1,5 m Kabel

CL-Version: LEMO

 

 

     

Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-725 / E-712 Controller.

* Mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Versteller typ. bis 0,1 % betragen.

Superinvar- und Titan-Versionen verfügbar.

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-562.6CD
P-562.3CD Ansprechverhalten: schneller als 10 ms in X,Y und Z
P-561.3CD
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 100 µm × 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-561.3CL
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 100 µm × 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-561.3DD
PIMars Hochdynamisches XYZ-Nanopositioniersystem, 45 µm × 45 µm × 15 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, Direktantrieb
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P-562.3CD
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 200 µm × 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-562.3CL
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 200 µm × 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-563.3CD
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 300 µm × 300 µm × 300 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-563.3CL
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 300 µm × 300 µm × 300 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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Sonderausführungen auf Anfrage.

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-561 • P-562 • P-563

PIMars Nanopositioniertisch hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 6 Achsen
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Dokumentation

pdf

Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
Alle
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pdf
pdf

Benutzerhandbuch PZ248

P-561, P-562, P-563 PIMars XYZ-Nanopositioniersysteme
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3D Modelle

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P-56x STEP

Englisch
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