P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

Hochpräziser Nanopositionierer für bis zu 3 Achsen

  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik in den Achsen X und Y
  • Stellwege bis 300 × 300 × 300 µm
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Exzellente Scan-Ebenheit
  • Hochdynamische XYZ-Version
  • Freie Apertur 66 mm × 66 mm
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • UHV-Versionen bis 10-9 hPa
P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch
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Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Interferometrie
  • Messtechnik
  • Biotechnologie
  • Scanning und Screening

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-561 • P-562 • P-563

Version / Datum
2023-12-11
pdf - 776 KB
Version / Datum
2023-12-11
pdf - 779 KB
Version / Datum
2018-06-20
pdf - 856 KB
Version / Datum
2018-07-02
pdf - 932 KB

Downloads

Produktmitteilung

Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-561 • P-562 • P-563

Version / Datum
2023-12-11
pdf - 776 KB
Version / Datum
2023-12-11
pdf - 779 KB
Version / Datum
2018-06-20
pdf - 856 KB
Version / Datum
2018-07-02
pdf - 932 KB

Dokumentation

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 561 KB
Version / Datum
6.2.0 03/2024
pdf - 595 KB
Dokumentation

Technical Note P500T0002

Unpacking and Packing P-5xx Positioners

Version / Datum
2019-03-04
pdf - 448 KB
Englisch
Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ248

P-561, P-562, P-563 PIMars XYZ-Nanopositioniersysteme

Version / Datum
2.1.0 2023-11-20
pdf - 2 MB
Version / Datum
2.1.0 2023-11-20
pdf - 2 MB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-56x 3D-Modell

zip - 3 MB

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