P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

Hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 3 Achsen

P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Stellwege bis 300 × 300 × 300 µm
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Exzellente Scan-Ebenheit
  • Hochdynamische XYZ-Version
  • Freie Apertur 66 mm × 66 mm
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • UHV-Versionen bis 10-9 hPa

Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Interferometrie
  • Messtechnik
  • Biotechnologie
  • Scanning und Screening

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Spezifikationen

Datenblatt P-561 • P-562 • P-563

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Dokumentsprache
pdf - 762 KB
pdf - 764 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-561 • P-562 • P-563

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Dokumentsprache
pdf - 762 KB
pdf - 764 KB

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
Version / Datum
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

Benutzerhandbuch PZ248

P-561, P-562, P-563 PIMars XYZ-Nanopositioniersysteme
Version / Datum
2013-11-22
Version / Datum
2013-11-22
Dokumentsprache
pdf - 947 KB
pdf - 972 KB

3-D-Modelle

P-56x STEP

Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie ihre gewünschte Modifikation. Produkte, die online verfügbar sind, können Sie direkt bestellen.

Kontaktieren Sie uns!

Erhalten Sie innerhalb kürzester Zeit per E-Mail oder Telefon eine Rückmeldung zu Ihren Fragen von einem PI Vertriebsingenieur.