P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

Hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 6 Achsen

Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Stellwege bis 300 x 300 x 300 µm
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Exzellente Scan-Ebenheit
Hochdynamische XYZ-Version; 6-Achsenversionen auf Anfrage
Freie Apertur 66 mm x 66 mm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
UHV-Versionen bis 10-9 hPa

Spezifikationen

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PI Datenblatt P-561 • P-562 • P-563

PIMars Nanopositioniertisch hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 6 Achsen
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Zeichnungen / Bilder

PI P-562.6CD
P-562.3CD Ansprechverhalten: schneller als 10 ms in X,Y und Z
P-561.3CD
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 100 µm × 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-561.3CL
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 100 µm × 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-561.3DD
PIMars Hochdynamisches XYZ-Nanopositioniersystem, 45 µm × 45 µm × 15 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, Direktantrieb
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P-562.3CD
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 200 µm × 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-562.3CL
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 200 µm × 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-563.3CD
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 300 µm × 300 µm × 300 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-563.3CL
PIMars XYZ-Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 300 µm × 300 µm × 300 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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Sonderausführungen auf Anfrage.

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-561 • P-562 • P-563

PIMars Nanopositioniertisch hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 6 Achsen
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Dokumentation

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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
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Benutzerhandbuch PZ248

P-561, P-562, P-563 PIMars XYZ-Nanopositioniersysteme
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3D Modelle

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P-56x STEP

Englisch
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