P-517 • P-527 Mehrachsen-Piezoscanner

Hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung

P-517 • P-527 Mehrachsen-Piezoscanner
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • 2- und 3-Achsenversionen (XY und XYθZ)
  • Stellwege bis 200 µm
  • Sub-nm-Auflösung

Einsatzgebiete

  • Messtechnik
  • Interferometrie
  • Photonik / integrierte Optik
  • Lithografie
  • Nanopositionierung
  • Scanning-Mikroskopie
  • Probenausrichtung
  • Mikrobearbeitung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Spezifikationen

Datenblatt P-517 • P-527

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-06-20
Dokumentsprache
pdf - 605 KB
pdf - 612 KB
pdf - 707 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-517 • P-527

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-06-20
Dokumentsprache
pdf - 605 KB
pdf - 612 KB
pdf - 707 KB

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
Version / Datum
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

Benutzerhandbuch PZ82

P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Präzise Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
2013-09-05
Version / Datum
2013-09-05
Dokumentsprache
pdf - 939 KB
pdf - 938 KB

3-D-Modelle

P-5x7 STEP

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