P-517 • P-527 Mehrachsen-Piezoscanner

Hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung

2- und 3-Achsenversionen (XY und XYθZ)
Stellwege bis 200 µm
Sub-nm-Auflösung

Spezifikationen

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PI Datenblatt P-517 • P-527

Mehrachsen-Piezoscanner hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung
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Zeichnungen / Bilder

PI P-571
P-517.2CL
Präzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-517.2CD
Präzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-527.2CL
Präzises XY-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-527.2CD
Präzises XY-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-517.3CL
Präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-517.3CD
Präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-527.3CD
Präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-517.RCD
Präzises XY- und Rotations-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, 2 mrad, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-527.RCD
Präzises XY- und Rotations-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm, 4 mrad, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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Sonderausführungen auf Anfrage.

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-517 • P-527

Mehrachsen-Piezoscanner hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung
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Dokumentation

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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
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Benutzerhandbuch PZ82

P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Präzise Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
3.0.0
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3D Modelle

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P-5x7 STEP

Englisch
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