P-517 • P-527 Mehrachsen-Piezoscanner

Hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung

2- und 3-Achsenversionen (XY und XYθZ)
Stellwege bis 200 µm
Sub-nm-Auflösung


P-517.2CL
P-517.2CD

P-527.2CL
P-527.2CD

P-517.3CL
P-517.3CD

P-527.3CL
P-527.3CD

P-517.RCD

P-527.RCD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y

X, Y, Z

X, Y, Z

X, Y, θZ X, Y, θZ


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

130 µm

250 µm

X, Y: 130 µmZ: 25 µm

X, Y: 250 µmZ: 25 µm

X, Y: 130 µmθZ: ±1,3 mrad X, Y: 250 µmθZ: ±2,5 mrad

min. (+20 %/-0 %)

Stellweg, geregelt

100 µm

200 µm

X, Y: 100 µmZ: 20

X, Y: 200 µmZ: 20

X, Y: 100 µmθZ: ±1 mrad X, Y: 200 µmθZ: ±2 mrad

Auflösung, ungeregelt

0,3 nm

0,5 nm

X, Y: 0,3 nmZ: 0,1 nm

X, Y: 0,5 nmZ: 0,1 nm

X, Y: 0,3 nmθZ: 0,1 µrad X, Y: 0,5 nmθZ: 0,1 µrad

typ.

Auflösung, geregelt

1 nm

2 nm

X, Y: 1 nmZ: 0,1 nm

X, Y: 2 nmZ: 0,1 nm

X, Y: 1 nmθZ: 0,3 µrad X, Y: 2 nmθZ: 0,3 µrad

typ.

Linearitätsabweichung

0,03

0,03

0,03

0,03

0,03

0,03

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±5 nm

±10 nm

X, Y: ±5 nmZ: ±1 nm

X, Y: ±10 nmZ: ±1 nm

X, Y: ±5 nmθZ: ±0,5 µrad X, Y:±10 nmθZ: ±1 µrad

typ.


Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

2

1

X, Y: 2Z: 15

X, Y: 1Z: 15

2

1

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

450

350

X, Y: 450Z: 1100

X, Y: 350Z: 1100

X, Y: 450θZ: 400 X, Y: 350θZ: 300

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in X, Y, 500 g

250

190

250

190

250

190

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in X, Y, 2500 g

140

110

140

110

140

110

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

50 / 30

50 / 30

50 / 30

50 / 30

50 / 30

50 / 30

N

max.


Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

9,2

9,2

X, Y: 9Z: 6

X, Y: 9Z: 6

9

9

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient*

11,5

5,8

X, Y: 11,5Z: 37

X, Y: 5,5Z: 37

11,5

5,5

µA / (Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse

1,4

1,4

1,45

1,45

1,4

1,4

kg

±5 %

Sensor- / Spannungsanschluss

CL-Version: LEMO

CD-Version: D-Sub Spezial

CL-Version: LEMO

CD-Version: D-Sub Spezial

CL-Version: LEMO

CD-Version: D-Sub Spezial

CL-Version: LEMO

CD-Version: D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Piezoverstärkermodul bzw. E-710 Digitaler Piezocontroller.

* Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) der Linearachsen in µA pro Hertz und µm. Elektrische Kapazität und DSK der Drehachsen basieren auf differentieller X- und Y-Bewegung, deshalb ist hierfür keine Angabe möglich. Beispiel: P-527.2xx: Sinusbetrieb mit 30 µm bei 10 Hz erfordert ungefähr 1,8 mA Strom.

Empfohlene Controller für CL-Versionen:

E-610 Piezoverstärker / Servocontroller, 1 Kanal

E-625 Piezoservocontroller, 1 Kanal

E-621 Piezoservocontroller, 1 Kanal

E-500 Modularer Piezocontroller mit E-503 Piezoverstärkermodul, 3 Kanäle

E-505 Piezoverstärkermodul (1 je Achse, hohe Leistung) mit E-509 Sensorauswertung / Regler

Empfohlene Controller für CD-Versionen:

E-710 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle wurde abgelöst

E-725 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, Tischgerät

E-712 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, modular

E-761 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, PCI-Karte

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-571
P-517.2CL
Präzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-517.2CD
Präzises XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-527.2CL
Präzises XY-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-527.2CD
Präzises XY-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-517.3CL
Präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker
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P-517.3CD
Präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-527.3CD
Präzises XYZ-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-517.RCD
Präzises XY- und Rotations-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, 2 mrad, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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P-527.RCD
Präzises XY- und Rotations-Nanopositioniersystem, 200 µm × 200 µm, 4 mrad, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker
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Sonderausführungen auf Anfrage.

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-517 • P-527

Mehrachsen-Piezoscanner hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung
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Dokumentation

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Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
3.0.0
Alle
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pdf

Benutzerhandbuch PZ82

P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Präzise Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
3.0.0
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3D Modelle

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P-5x7 STEP

Englisch
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