P-363 PicoCube® XY(Z) Piezoscanner

Dynamisches Nanopositioniersystem für die Rastersondenmikroskopie

Hochlinearer Scanner für AFM / SPM
Höchstauflösendes Manipulations-Tool für Bio- / Nanotechnologie
Resonanzfrequenz 9,8 kHz
Kapazitive Sensoren für höchste Genauigkeit
Parallelmetrologie für automatische Führungsfehlerkompensation
Auflösung 50 Picometer
Stellweg 5 µm × 5 µm × 5 µm
Vakuumausführungen

Spezifikationen

Datenblatt P-363

Version / Datum
2015-01-30
Version / Datum
2015-01-30
Dokumentsprache
pdf - 860 KB
pdf - 858 KB

Zeichnungen / Bilder

PI P-363 Diagramm, 300 Picometer Schritte (0,3 nm) mit dem P-363. Gemessen mit externem hochauflösendem kapazitivem Messsystem
PI P-363 Diagramm, Der P-363 kann schon nach 1 ms eine Genauigkeit von 1 nm erreichen (100 nm Schritt, für X bzw. Y; schnellere Reaktion in Z)
P-363.2Cx, Abmessungen in mm. Deckplattform abnehmbar.
P-363.3Cx, Abmessungen in mm. Deckplattform abnehmbar.

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Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-363

Version / Datum
2015-01-30
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2015-01-30
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3-D-Modelle

P-363 STEP

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