P-363 PicoCube® XY(Z) Piezoscanner

Dynamisches Nanopositioniersystem für die Rastersondenmikroskopie

P-363 PicoCube® XY(Z) Piezoscanner
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Positionsgeregelter Ultrahochleistungsscanner für AFM / SPM
  • Kompaktes Manipulations-Tool für Bio- / Nanotechnologie
  • Resonanzfrequenz 9,8 kHz
  • Kapazitive Sensoren für höchste Genauigkeit
  • Parallelmetrologie für automatische Führungsfehlerkompensation
  • Auflösung 50 Picometer
  • Stellweg 5 µm × 5 µm × 5 µm
  • Vakuumausführungen

Einsatzgebiete

  • Rastersondenmikroskopie
  • Rasterkraftmikroskopie
  • Scanning und Screening

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Spezifikationen

Datenblatt P-363

Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-05-08
Version / Datum
2018-06-08
Version / Datum
2018-06-08
Dokumentsprache
pdf - 840 KB
pdf - 850 KB
pdf - 923 KB
pdf - 998 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-363

Version / Datum
2018-05-08
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2018-05-08
Version / Datum
2018-06-08
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