P-363 PicoCube® XY(Z) Piezoscanner

Dynamisches Nanopositioniersystem für die Rastersondenmikroskopie

Hochlinearer Scanner für AFM / SPM
Höchstauflösendes Manipulations-Tool für Bio- / Nanotechnologie
Resonanzfrequenz 9,8 kHz
Kapazitive Sensoren für höchste Genauigkeit
Parallelmetrologie für automatische Führungsfehlerkompensation
Auflösung 50 Picometer
Stellweg 5 µm × 5 µm × 5 µm
Vakuumausführungen


P-363.3CD

P-363.2CD

Einheit

Aktive Achsen

X, Y, Z

X, Y


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg in X, Y bei -250 bis +250 V, ungeregelt

±3

±3

µm

Stellweg in Z bei -250 bis +250 V, ungeregelt

±2,7

-

µm

Stellweg in X, Y, geregelt

+/-2,5

±2,5

µm

Stellweg in Z, geregelt

±2,5

-

µm

Auflösung, ungeregelt

0,03*

0,03*

nm

Auflösung, geregelt

0,1

0,1

nm

Linearitätsabweichung

0,05

0,05

%

Wiederholgenauigkeit

1**

1**

nm

Neigen, Gieren in X, Y

0,5

0,5

µrad

Verkippung bei Bewegung in Z

0,2

-

µrad

Geradheit in X, Y

3

3

nm

Ebenheit in X, Y

<10

<10

nm

Übersprechen bei Bewegung in Z

5

-

nm


Mechanische Eigenschaften

Resonanzfrequenz unbelastet in X, Y

3,1

4,2

kHz

Resonanzfrequenz unbelastet in Z

9,8

-

kHz

Resonanzfrequenz belastet in X, Y

1,5 (20 g)

2,1 (20 g)

kHz

Belastbarkeit

10

10

N

Keramiktyp

PICA, PICA Shear

PICA Shear


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Titan

Titan

Abmessungen

30 mm × 30 mm × 40 mm

30 mm × 30 mm × 28 mm

Masse

225

190

g

Kabellänge

1,5

1,5

m

Sensor- / Spannungsanschluss***

D-Sub Stecker PicoCube®

D-Sub Stecker PicoCube®

Empfohlener Controller

E-536 PicoCube® Controller

E-536 PicoCube® Controller

* Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Rauschen mit E-536.

* Mit E-536.3xH Controller.

** Für 10 % Hub; 50 nm für vollen Hub.

*** P-363.xCL Modelle mit LEMO-Stecker Adapter.

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

P-363.3Cx, Abmessungen in mm. Deckplattform abnehmbar.
P-363.2Cx, Abmessungen in mm. Deckplattform abnehmbar.
PI P-363 Diagramm, Der P-363 kann schon nach 1 ms eine Genauigkeit von 1 nm erreichen (100 nm Schritt, für X bzw. Y; schnellere Reaktion in Z)
PI P-363 Diagramm, 300 Picometer Schritte (0,3 nm) mit dem P-363. Gemessen mit externem hochauflösendem kapazitivem Messsystem

Downloads

Datenblatt

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PI Datenblatt P-363

PicoCube® XY(Z) Piezoscanner Dynamisches Nanopositioniersystem für die Rastersondenmikroskopie
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3D Modelle

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P-363 STEP

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