XYZ Piezoscanner

3-Achs-Nanopositionier-Scanner für maximale Präzision

Diese Piezoscanner zeigen exemplarisch eine Erfolgsgeschichte der Nanopositioniersysteme von PI. Ihr kompakter Aufbau macht sie universell einsetzbar. Ihr Design erlaubt den seriellen Aufbau von mehrachsigen Systemen zu einem sehr günstigen Preis. Anwendungen liegen z. B. in der optischen Messtechnik, der Biotechnologie oder der Rasterkraftmikroskopie.

XYZ Positionierer und Scanner mit Piezoantrieben und Festkörperführungen

PI P-611.3S
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P-611.3 NanoCube® XYZ-System

Kompaktes mehrachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung und Faserjustage

  • Stellweg bis 120 µm × 120 µm × 120 µm
  • Ultrakompakt: 44 mm × 44 mm × 44 mm
  • Auflösung bis 0,2 nm
  • Schnelles Ansprechverhalten
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Für schnelles Scannen
  • Version mit integriertem Faserhalter
  • Besonders kostengünstige Systeme
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P-733.2 • P-733.3 XY(Z)-Piezonanopositionierer

Hochpräzise XY(Z) Scannerfamilie mit Apertur

  • Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X,Y und bis 10 µm in Z
  • Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
  • Hochdynamische Versionen mit Direktantrieb
  • Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen
  • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
  • Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen
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P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

Hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 6 Achsen

  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Stellwege bis 300 x 300 x 300 µm
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Exzellente Scan-Ebenheit
  • Hochdynamische XYZ-Version; 6-Achsenversionen auf Anfrage
  • Freie Apertur 66 mm x 66 mm
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • UHV-Versionen bis 10-9 hPa
PI P-517.3CL
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P-517 • P-527 Mehrachsen-Piezoscanner

Hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung

  • 2- und 3-Achsenversionen (XY und XYθZ)
  • Stellwege bis 200 µm
  • Sub-nm-Auflösung