Sensoren

Kapazitive und inkrementelle Piezosensoren

PI setzt in seinen Nanopositionierern der Referenzklasse kapazitive und inkrementelle Sensoren zur berührungslosen Positionsmessung ein. Die wichtigsten Kenndaten für die Auswahl des geeigneten Verfahrens sind Linearität, Auflösung (Sensitivität), Stabilität, Bandbreite und nicht zuletzt die Kosten. Wichtig ist außerdem die Fähigkeit, die Bewegung der Plattform direkt aufzunehmen, sodass jede Positionsänderung der bewegten Plattform relativ zum Grundkörper unmittelbar vom Controller erfasst wird. Damit sind Genauigkeiten unterhalb eines Nanometers möglich.