E-852KOEM PISeca OEM Positionssensor

Kapazitiver Einelektrodensensor und Auswerteelektronik im Paket

Systemlösung für PISeca kapazitive Positionssensoren
Preisgünstig für OEM-Anwendung
20 µm Messbereich und 3 kHz Bandbreite
Hervorragende Linearität durch integrierte Linearisierungsfunktion (ILS)

PISeca kapazitiver Sensor und Auswerteelektronik

Einelektrodensensor mit hervorragender Positionsauflösung und OEM-Elektronik mit festem Messbereich und Bandbreite. Minimiertes Rauschen, hervorragende Langzeitstabilität. Synchronisierung für Mehrkanalmessung.

 

Messprinzip

Direkte, kontaktlose Messung der Istposition (Direktmetrologie). Messgröße ist die Kapazitätsänderung zwischen der Oberfläche des Sensors und einer leitenden Targetfläche im homogenen elektrischen Feld. Durch diese kontaktlose, reibungsfreie Messung werden Verschleiß und Hystereseeffekte ausgeschlossen und eine hohe Phasentreue erreicht.

 

Kundenspezifische Anpassung von Sensor, Bandbreite und Messbereich

Der E-852KOEM kann in ähnlicher Ausführung mit allen D-510 PISeca Sensoren angeboten werden. Der Messbereich wird auf den gewählten PISeca Sensor abgestimmt und beträgt zwischen 20 und 500 µm. Die Bandbreite liegt zwischen 10 Hz für extrem genaue, besonders rauscharme Messungen mit höchster Auflösung im Sub-Nanometerbereich und 10 kHz für hochdynamische Messungen mit einer Auflösung im 1 nm-Bereich.

 

Höchste Genauigkeit durch integriertes Linearisierungssystem (ILS)

Das ILS kompensiert die Einflüsse von Parallelitätsfehlern zwischen Sensor und Messoberfläche und sorgt für eine hervorragende Linearität mit weniger als 1% Abweichung.

 

Einsatzgebiete

Halbleiterfertigung / Halbleiterindustrie, Datenspeicherung, Automobilindustrie, Metrologie / Messtechnik, Maschinenbau

 

 

Spezifikationen

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PI Datenblatt E-852KOEM

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Datenblatt

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PI Datenblatt E-852KOEM

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