D-510 PISeca Kapazitive Sensoren

Einelektrodensensoren mit hervorragender Positionsauflösung

D-510 PISeca Kapazitive Sensoren
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Höchste Genauigkeit und Lebensdauer durch kapazitive Positionssensoren

In Kombination mit der Elektronik zur Signalaufbereitung kann für quasi-statische Anwendungen eine Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich erreicht werden. Für hochdynamische Anwendungen kann die Bandbreite auf bis zu 10 kHz erhöht werden, wobei noch immer eine Auflösung im 1 nm-Bereich erreichbar ist. Die Linearitätsabweichung liegt dabei unter 0,1%.

Einfache Handhabung und Integration

Alle PISeca-Sensorköpfe sind mit einem LEMO-Stecker versehen, so dass sie einfach montiert und ausgetauscht werden können. Die einheitliche Schaftdicke sorgt für Kompatibilität und Flexibilität. Das Kabel für den Anschluss an die Auswerteelektronik steht in mehreren Varianten zur Verfügung und ist deshalb separat mitzubestellen.

Sonderausführungen / Zweielektroden-Sensoren

Neben den hier aufgeführten Standardsensoren bietet PI eine Reihe von anwendungsspezifischen Sonderausführungen an, die z. B. in Bezug auf Messbereich, Geometrie oder Material an Kundenanforderungen angepasst sind. Auch Sonderausführungen der Elektronik sind verfügbar.

Für allerhöchste Ansprüche an Linearität und Auflösung stehen die Zweielektroden-Sensoren der Serie D-100 zur Verfügung.

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Halbleiterfertigung und -inspektion. Nanometrologie. Aktive Schwingungsdämpfung. Präzisionsbearbeitung.

Spezifikationen

Datenblatt D-510

Version / Datum
2018-04-13
Version / Datum
2018-04-13
Dokumentsprache
pdf - 232 KB
pdf - 235 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt D-510

Version / Datum
2018-04-13
Version / Datum
2018-04-13
Dokumentsprache
pdf - 232 KB
pdf - 235 KB

Dokumentation

Technical Note D510T0001

D-510 PISeca kapazitiver 1-Elektroden-Sensor
Version / Datum
2011-04-05
Dokumentsprache Englisch
pdf - 176 KB

3-D-Modelle

D-510 STEP

Angebot / Bestellung

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Anschlusskabel

  • Berührungslose Wegmessung
  • Abstandsmessung auf Absolutwerte
  • Vibrationsmessung
  • Hochauflösend im Sub-Nanometer-Bereich
  • Flexibler Messbereich
  • Einfach zu integrieren