L-611 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch
Hohe Ablaufgenauigkeit
- Vakuumgeeignet bis 10-9 hPa
- Unbegrenzter Stellbereich
- Sehr hohe Auflösung
- Schrittmotor
- Richtungserkennender Referenzschalter
- Mehrachsaufbauten möglich
Rotationstisch der Referenzklasse
Hochpräzise Positionierung durch spielarm vorgespanntes Schneckengetriebe. Vorgespannte Drehlager für hohe Ablaufgenauigkeit. Freie Apertur mit Ø 35 mm. Unbegrenzter Stellbereich in beiden Drehrichtungen. Referenzschalter.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung
Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.
Höhere Güte für Anwendungen im Hochvakuum
Hier werden spezielle hochvakuumgeeignete Komponenten eingesetzt, wie Motor, Messsystem und Endschalter. Zusätzlich ist die Oberfläche aus blankem Aluminium, Spindeln und Führungen sind aus Edelstahl. Dadurch wird die PI Vakuumklasse V7 erreicht, d. h. bis zu 10-7 hPa .
Höchste Güte für spezielle Anforderungen im Ultrahochvakuum
In dieser Vakuumklasse wird das Produkt durch ultrahochvakuumgeeignete Komponenten und in allen Details optimiert, um die PI Vakuumklasse V9 bis zu 10-9 hPa zu erreichen. Dafür werden unter anderem nur ausgewählte Kunststoffarten und eine Ausheiztemperatur von 120 °C mit Messsystem bzw. von 150 °C ohne Messsystem verwendet.
Option: Messung der Ablaufgenauigkeit und Positioniergenauigkeit
Individuelle Messprotokolle für Taumeln, axiales und radiales Auswandern sind auf Anfrage erhältlich. Bitte bei Bestellung angeben.
Einsatzgebiete
Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.
Spezifikationen
Spezifikationen
Positionieren | L-611.991200V6 | L-611.991300V7 | L-611.991600V9 | Einheit | Toleranz |
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Integrierter Sensor | – | – | – | ||
Rechnerische Auflösung | 349 | 349 | 349 | µrad | |
Kleinste Schrittweite | 8,72 | 8,72 | 8,72 | µrad | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit | 20 | 20 | 20 | µrad | typ. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit | ±175 | ±175 | ±175 | µrad | typ. |
Referenzschalter | Hall-Effekt, Öffner, 5V, NPN | Mechanisch, Öffner, 5V, NPN | Mechanisch, Öffner, 5V, NPN |
Mechanische Eigenschaften | L-611.991x00Vx | Einheit | Toleranz |
---|---|---|---|
Lager | Kugellager | ||
Schneckengetriebe-Untersetzung | 90:1 | ||
Belastbarkeit / Axialkraft | 100 | N | max. |
Zulässige Querkraft | 50 | N | max. |
Zulässiges Drehmoment MX in θX | 40 | Nm | max. |
Zulässiges Drehmoment MY in θY | 40 | Nm | max. |
Zulässiges Drehmoment MZ in θZ | 3 | Nm | max. |
Trägheitsmoment | 770 | kg·mm² | ±20 % |
Anschlüsse und Umgebung | L-611.991200V6 | L-611.991300V7 | L-611.991600V9 | Einheit | Toleranz |
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Betriebstemperaturbereich | 5 bis 40 | 5 bis 40 | 5 bis 40 | °C | |
Material | Aluminium, eloxiert, Edelstahl, Rotguss | Aluminium, Edelstahl, Rotguss | Aluminium, Edelstahl, Rotguss | ||
Masse | 2,6 | 2,6 | 2,6 | kg | ±5 % |
Bewegte Masse | 1,1 | 1,1 | 1,1 | kg | ±5 % |
Fixkabel*, vakuumseitig: Kabellänge | – | 2 | 2 | m | |
Anschluss | HD D-Sub 26 (m) | D-Sub 15 (f) | D-Sub 15 (f) | ||
Empfohlene Controller / Treiber | C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller | C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller | C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller |
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
User Manual L611T0006
L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-7 hPa)
User Manual L611T0011
L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-6 hPa), with stepper drive
User Manual L611T0007
L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-9 hPa)
3-D-Modelle
3D-Modell L-611.991661V91
3D-Modell L-611.991600V9
3D-Modell L-611.991300V71
3D-Modell L-611.9912xxV6
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