L-611.991200V6
Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 360 ° Rotationswinkel; 100 N Belastbarkeit; 20 °/s maximale Winkelgeschwindigkeit; vakuumkompatibel bis 10⁻⁶ hPa
L-611 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch
Hohe Ablaufgenauigkeit
- Vakuumgeeignet bis 10-9 hPa
- Unbegrenzter Stellbereich
- Sehr hohe Auflösung
- Schrittmotor
- Richtungserkennender Referenzschalter
- Mehrachsaufbauten möglich
L-611 Rotationstisch mit 2-Phasen-Schrittmotor
Richtung der Achsen und Momente für Rotationstische
L-611.991200V6, Abmessungen in mm
L-611.991300V7, Abmessungen in mm
L-611.991600V9, Abmessungen in mm
L-611 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch
Produktbeschreibung
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Rotationstisch der Referenzklasse
Hochpräzise Positionierung durch spielarm vorgespanntes Schneckengetriebe. Vorgespannte Drehlager für hohe Ablaufgenauigkeit. Freie Apertur mit Ø 35 mm. Unbegrenzter Stellbereich in beiden Drehrichtungen. Referenzschalter.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung
Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.
Höhere Güte für Anwendungen im Hochvakuum
Hier werden spezielle hochvakuumgeeignete Komponenten eingesetzt, wie Motor, Messsystem und Endschalter. Zusätzlich ist die Oberfläche aus blankem Aluminium, Spindeln und Führungen sind aus Edelstahl. Dadurch wird die PI Vakuumklasse V7 erreicht, d. h. bis zu 10-7 hPa .
Höchste Güte für spezielle Anforderungen im Ultrahochvakuum
In dieser Vakuumklasse wird das Produkt durch ultrahochvakuumgeeignete Komponenten und in allen Details optimiert, um die PI Vakuumklasse V9 bis zu 10-9 hPa zu erreichen. Dafür werden unter anderem nur ausgewählte Kunststoffarten und eine Ausheiztemperatur von 120 °C mit Messsystem bzw. von 150 °C ohne Messsystem verwendet.
Option: Messung der Ablaufgenauigkeit und Positioniergenauigkeit
Individuelle Messprotokolle für Taumeln, axiales und radiales Auswandern sind auf Anfrage erhältlich. Bitte bei Bestellung angeben.
Einsatzgebiete
Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | L-611.991200V6 | L-611.991300V7 | L-611.991600V9 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | θZ | θZ | θZ | |
| Rotationsbereich in θZ | 360 ° | 360 ° | 360 ° | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θZ, unbelastet | 20 °/s | 20 °/s | 20 °/s | |
| Lineares Übersprechen in X bei Bewegung in θZ | ± 2,5 µm | ± 2,5 µm | ± 2,5 µm | typ. |
| Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in θZ | ± 2,5 µm | ± 2,5 µm | ± 2,5 µm | typ. |
| Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in θZ | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | typ. |
| Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in θZ | ± 15 µrad | ± 15 µrad | ± 15 µrad | typ. |
| Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in θZ | ± 15 µrad | ± 15 µrad | ± 15 µrad | typ. |
| Positionieren | L-611.991200V6 | L-611.991300V7 | L-611.991600V9 | Toleranz |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ | 20 µrad | 20 µrad | 20 µrad | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ | ± 175 µrad | ± 175 µrad | ± 175 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θZ | 8,72 µrad | 8,72 µrad | 8,72 µrad | typ. |
| Referenzschalter | Hall-Effekt, Öffner, 5 V, NPN | Hall-Effekt, Öffner, 5 V, NPN | Hall-Effekt, Öffner, 5 V, NPN | |
| Antriebseigenschaften | L-611.991200V6 | L-611.991300V7 | L-611.991600V9 | Toleranz |
| Antriebstyp | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | 2-Phasen-Schrittmotor | |
| Motorauflösung | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | 200 Vollschritte/U | |
| Nennspannung | 24 V | 24 V | 24 V | |
| Spitzenspannung | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Nennstrom, effektiv | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | typ. |
| Widerstand Phase-Phase | 3,3 Ω | 3,3 Ω | 3,3 Ω | typ. |
| Induktivität Phase-Phase | 2,8 mH | 2,8 mH | 2,8 mH | |
| Mechanische Eigenschaften | L-611.991200V6 | L-611.991300V7 | L-611.991600V9 | Toleranz |
| Lagertyp | Kugellager | Kugellager | Kugellager | |
| Schneckengetriebeuntersetzung | 90 : 1 | 90 : 1 | 90 : 1 | |
| Bewegte Masse in θZ, unbelastet | 1100 g | 1100 g | 1100 g | |
| Trägheitsmoment in θZ, unbelastet | 770 kg·mm² | 770 kg·mm² | 770 kg·mm² | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Zulässiges Moment in θX | 40 N·m | 40 N·m | 40 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θY | 40 N·m | 40 N·m | 40 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θZ | 3 N·m | 3 N·m | 3 N·m | max. |
| Gesamtmasse | 2600 g | 2600 g | 2600 g | |
| Material | Aluminium, eloxiert, Edelstahl, Rotguss | Aluminium, eloxiert, Edelstahl, Rotguss | Aluminium, eloxiert, Edelstahl, Rotguss | |
| Anschlüsse und Umgebung | L-611.991200V6 | L-611.991300V7 | L-611.991600V9 | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | 5 bis 40 °C | |
| Anschluss | HD D-Sub 26-polig (m) | D-Sub 15-polig (w) | D-Sub 15-polig (w) | |
| Empfohlene Controller / Treiber | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 Modularer ACS-Controller | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 Modularer ACS-Controller | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 Modularer ACS-Controller | |
| Vakuumklasse | 10⁻⁶ hPa | 10⁻⁷ hPa | 10⁻⁹ hPa | |
| Kabellänge | 2 m | 2 m |
Hinweis zu Kabellänge: Fixkabel, fest am Produkt angebracht
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Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
User Manual L611T0006
L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-7 hPa)
Version / Datum
2020-06-29
pdf - 303 KB
Englisch
Dokumentation
User Manual L611T0011
L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-6 hPa), with stepper drive
Version / Datum
2020-06-29
pdf - 410 KB
Englisch
Dokumentation
User Manual L611T0007
L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-9 hPa)
Version / Datum
2020-06-26
pdf - 392 KB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
L-611.991xxxVx 3D-Model
Version / Datum
2023-03-30
zip - 10 MB
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L-611.991300V7
Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 360 ° Rotationswinkel; 100 N Belastbarkeit; 20 °/s maximale Winkelgeschwindigkeit; vakuumkompatibel bis 10⁻⁷ hPa; 2 m Kabellänge
L-611.991600V9
Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 360 ° Rotationswinkel; 100 N Belastbarkeit; 20 °/s maximale Winkelgeschwindigkeit; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa; 2 m Kabellänge
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Drehende Elektromotoren
Die drehenden Elektromotoren, wie zum Beispiel DC- oder Schrittmotoren, werden in Verbindung mit Spindel- oder Schneckenantrieb eingesetzt.