L-611 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch

Hohe Ablaufgenauigkeit

L-611 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch

Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung

Richtung der Achsen und Momente für Rotationstische

Vakuumgeeignet bis 10^-9 hPa
Unbegrenzter Stellbereich
Sehr hohe Auflösung
Schrittmotor
Richtungserkennender Referenzschalter
Mehrachsaufbauten möglich

Hochpräzise Positionierung durch spielarm vorgespanntes Schneckengetriebe. Vorgespannte Drehlager für hohe Ablaufgenauigkeit. Freie Apertur mit Ø 35 mm. Unbegrenzter Stellbereich in beiden Drehrichtungen. Referenzschalter.

Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10^-6 hPa verwendet werden.

Hier werden spezielle hochvakuumgeeignete Komponenten eingesetzt, wie Motor, Messsystem und Endschalter. Zusätzlich ist die Oberfläche aus blankem Aluminium, Spindeln und Führungen sind aus Edelstahl. Dadurch wird die PI Vakuumklasse V7 erreicht, d. h. bis zu 10^-7 hPa .

In dieser Vakuumklasse wird das Produkt durch ultrahochvakuumgeeignete Komponenten und in allen Details optimiert, um die PI Vakuumklasse V9 bis zu 10^-9 hPa zu erreichen. Dafür werden unter anderem nur ausgewählte Kunststoffarten und eine Ausheiztemperatur von 120 °C mit Messsystem bzw. von 150 °C ohne Messsystem verwendet.

Individuelle Messprotokolle für Taumeln, axiales und radiales Auswandern sind auf Anfrage erhältlich. Bitte bei Bestellung angeben.

Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.

Download Datenblatt Zu den Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt L-611 V

Version / Datum

2020-09-16

Version / Datum

2020-09-16

Version / Datum

2021-01-14

Dokumentsprache

Download

pdf - 1 MB

Download

pdf - 1 MB

Download

pdf - 575 KB

Bewegen	L-611.991x00Vx	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	θ_Z
Rotationsbereich	>360	°
Taumeln	±15	µrad	typ.
Ebenheit	±1	µm	typ.
Exzentrizität	±2,5	µm	typ.
Winkelgeschwindigkeit	20	°/s	max.

Positionieren	L-611.991200V6	L-611.991300V7	L-611.991600V9	Einheit	Toleranz
Integrierter Sensor	–	–	–
Rechnerische Auflösung	349	349	349	µrad
Kleinste Schrittweite	8,72	8,72	8,72	µrad	typ.
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit	20	20	20	µrad	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit	±175	±175	±175	µrad	typ.
Referenzschalter	Hall-Effekt, Öffner, 5V, NPN	Mechanisch, Öffner, 5V, NPN	Mechanisch, Öffner, 5V, NPN

Mechanische Eigenschaften	L-611.991x00Vx	Einheit	Toleranz
Lager	Kugellager
Schneckengetriebe-Untersetzung	90:1
Belastbarkeit / Axialkraft	100	N	max.
Zulässige Querkraft	50	N	max.
Zulässiges Drehmoment M_X in θ_X	40	Nm	max.
Zulässiges Drehmoment M_Y in θ_Y	40	Nm	max.
Zulässiges Drehmoment M_Z in θ_Z	3	Nm	max.
Trägheitsmoment	770	kg·mm²	±20 %

Antriebseigenschaften	L-611.991x00Vx	Einheit	Toleranz
Motortyp	2-Phasen-Schrittmotor
Betriebsspannung, nom.	24	V	nom.
Betriebsspannung, max.	48	V	max.
Motorauflösung	200	Vollschritte/U

Anschlüsse und Umgebung	L-611.991200V6	L-611.991300V7	L-611.991600V9	Einheit	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	5 bis 40	5 bis 40	5 bis 40	°C
Material	Aluminium, eloxiert, Edelstahl, Rotguss	Aluminium, Edelstahl, Rotguss	Aluminium, Edelstahl, Rotguss
Masse	2,6	2,6	2,6	kg	±5 %
Bewegte Masse	1,1	1,1	1,1	kg	±5 %
Fixkabel*, vakuumseitig: Kabellänge	–	2	2	m
Anschluss	HD D-Sub 26 (m)	D-Sub 15 (f)	D-Sub 15 (f)
Empfohlene Controller / Treiber	C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller	C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller	C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller

* Kabel fest am Produkt angebracht

Download Datenblatt Go to download

Datenblatt

Datenblatt L-611 V

Version / Datum

2020-09-16

Version / Datum

2020-09-16

Version / Datum

2021-01-14

Dokumentsprache

Download

pdf - 1 MB

Download

pdf - 1 MB

Download

pdf - 575 KB

Dokumentation

User Manual L611T0006

L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-7 hPa)

Version / Datum

2020-06-29

Dokumentsprache Englisch

Anfrage Downloadlink

Dokumentation

User Manual L611T0011

L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-6 hPa), with stepper drive

Version / Datum

2020-06-29

Dokumentsprache Englisch

Anfrage Downloadlink

Dokumentation

User Manual L611T0007

L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-9 hPa)

Version / Datum

2020-06-26

Dokumentsprache Englisch

Anfrage Downloadlink

Dokumentation

Kurzanleitung MP146EK

Positionierer mit Elektromotoren: DT-xx / HPS-170 / L-xxx / LS-xxx / MTS-65 / PRS-xxx / RS-40 / UPL-120 / VT-80 / WT-xx / WT-xxx

Version / Datum

2.0.0 01/2020

Version / Datum

2.0.0 01/2020

Dokumentsprache

Download

pdf - 736 KB

Download

pdf - 749 KB

3-D-Modelle

3D-Modell L-611.991661V91

Version / Datum

2019-12-06

Anfrage Downloadlink

3-D-Modelle

3D-Modell L-611.991600V9

Version / Datum

2019-12-06

Anfrage Downloadlink

3-D-Modelle

3D-Modell L-611.991300V71

Version / Datum

2019-12-06

Anfrage Downloadlink

3-D-Modelle

3D-Modell L-611.9912xxV6

Version / Datum

2019-12-09

Anfrage Downloadlink

Zu Angebot / Bestellung

Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie ihre gewünschte Modifikation. Produkte, die online verfügbar sind, können Sie direkt bestellen.

L-611.991200V6

Präzisions-Rotationstisch, Schrittmotor, 35 mm Ø Apertur, vakuumkompatibel bis 10^-6 hPa

Verfügbar im PI Store

Zur Liste hinzufügen Von Liste entfernen

L-611.991300V7

Präzisions-Rotationstisch, Schrittmotor, 35 mm Ø Apertur, vakuumkompatibel bis 10^-7 hPa

Verfügbar im PI Store

Zur Liste hinzufügen Von Liste entfernen

L-611.991600V9

Präzisions-Rotationstisch, Schrittmotor, 35 mm Ø Apertur, vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

Verfügbar im PI Store

Zur Liste hinzufügen Von Liste entfernen