L-611 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch

Hohe Ablaufgenauigkeit

Vakuumgeeignet bis 10^-9 hPa
Unbegrenzter Stellbereich
Sehr hohe Auflösung
Schrittmotor
Richtungserkennender Referenzschalter
Mehrachsaufbauten möglich

L-611.991300V7

L-611.991200V6, Abmessungen in mm

L-611.991300V7, Abmessungen in mm

L-611.991600V9, Abmessungen in mm

Richtung der Achsen und Momente für Rotationstische

Hochpräzise Positionierung durch spielarm vorgespanntes Schneckengetriebe. Vorgespannte Drehlager für hohe Ablaufgenauigkeit. Freie Apertur mit Ø 35 mm. Unbegrenzter Stellbereich in beiden Drehrichtungen. Referenzschalter.

Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10^-6 hPa verwendet werden.

Hier werden spezielle hochvakuumgeeignete Komponenten eingesetzt, wie Motor, Messsystem und Endschalter. Zusätzlich ist die Oberfläche aus blankem Aluminium, Spindeln und Führungen sind aus Edelstahl. Dadurch wird die PI Vakuumklasse V7 erreicht, d. h. bis zu 10^-7 hPa .

In dieser Vakuumklasse wird das Produkt durch ultrahochvakuumgeeignete Komponenten und in allen Details optimiert, um die PI Vakuumklasse V9 bis zu 10^-9 hPa zu erreichen. Dafür werden unter anderem nur ausgewählte Kunststoffarten und eine Ausheiztemperatur von 120 °C mit Messsystem bzw. von 150 °C ohne Messsystem verwendet.

Individuelle Messprotokolle für Taumeln, axiales und radiales Auswandern sind auf Anfrage erhältlich. Bitte bei Bestellung angeben.

Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.

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Datenblatt

Version / Datum

2020-09-16

pdf - 1 MB

Version / Datum

2020-09-16

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Version / Datum

2021-01-14

pdf - 575 KB

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Bewegen	L-611.991x00Vx	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	θ_Z
Rotationsbereich	>360	°
Taumeln	±15	µrad	typ.
Ebenheit	±1	µm	typ.
Exzentrizität	±2,5	µm	typ.
Winkelgeschwindigkeit	20	°/s	max.

Positionieren	L-611.991200V6	L-611.991300V7	L-611.991600V9	Einheit	Toleranz
Integrierter Sensor	–	–	–
Rechnerische Auflösung	349	349	349	µrad
Kleinste Schrittweite	8,72	8,72	8,72	µrad	typ.
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit	20	20	20	µrad	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit	±175	±175	±175	µrad	typ.
Referenzschalter	Hall-Effekt, Öffner, 5V, NPN	Mechanisch, Öffner, 5V, NPN	Mechanisch, Öffner, 5V, NPN

Mechanische Eigenschaften	L-611.991x00Vx	Einheit	Toleranz
Lager	Kugellager
Schneckengetriebe-Untersetzung	90:1
Belastbarkeit / Axialkraft	100	N	max.
Zulässige Querkraft	50	N	max.
Zulässiges Drehmoment M_X in θ_X	40	Nm	max.
Zulässiges Drehmoment M_Y in θ_Y	40	Nm	max.
Zulässiges Drehmoment M_Z in θ_Z	3	Nm	max.
Trägheitsmoment	770	kg·mm²	±20 %

Antriebseigenschaften	L-611.991x00Vx	Einheit	Toleranz
Motortyp	2-Phasen-Schrittmotor
Betriebsspannung, nom.	24	V	nom.
Betriebsspannung, max.	48	V	max.
Motorauflösung	200	Vollschritte/U

Anschlüsse und Umgebung	L-611.991200V6	L-611.991300V7	L-611.991600V9	Einheit	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	5 bis 40	5 bis 40	5 bis 40	°C
Material	Aluminium, eloxiert, Edelstahl, Rotguss	Aluminium, Edelstahl, Rotguss	Aluminium, Edelstahl, Rotguss
Masse	2,6	2,6	2,6	kg	±5 %
Bewegte Masse	1,1	1,1	1,1	kg	±5 %
Fixkabel*, vakuumseitig: Kabellänge	–	2	2	m
Anschluss	HD D-Sub 26 (m)	D-Sub 15 (f)	D-Sub 15 (f)
Empfohlene Controller / Treiber	C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller	C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller	C-663.12 (einachsig) SMC Hydra (zweiachsig) C-885 mit C-663.12C885 (bis zu 20 Achsen) Modularer ACS-Controller

* Kabel fest am Produkt angebracht

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Datenblatt

Version / Datum

2020-09-16

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2020-09-16

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Version / Datum

2021-01-14

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Dokumentation

L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-7 hPa)

Version / Datum

2020-06-29

pdf - 303 KB

Englisch

Dokumentation

L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-6 hPa), with stepper drive

Version / Datum

2020-06-29

pdf - 410 KB

Englisch

Dokumentation

L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-9 hPa)

Version / Datum

2020-06-26

pdf - 392 KB

Englisch

Dokumentation

Positionierer mit Elektromotoren: DT-xx / HPS-170 / L-xxx / LS-xxx / MTS-65 / PRS-xxx / RS-40 / UPL-120 / VT-80 / WT-xx / WT-xxx

Version / Datum

2.0.0 01/2020

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Version / Datum

2.0.0 01/2020

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3-D-Modelle

Version / Datum

2019-12-06

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3-D-Modelle

Version / Datum

2019-12-06

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3-D-Modelle

Version / Datum

2019-12-06

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3-D-Modelle

Version / Datum

2019-12-09

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Zu Angebot / Bestellung

Separates Anschlusskabel jeweils erforderlich für Motor- und Sensorverbindung.

Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie ihre gewünschte Modifikation. Produkte, die online verfügbar sind, können Sie direkt bestellen.

L-611.991200V6

Präzisions-Rotationstisch, Schrittmotor, 35 mm Ø Apertur, vakuumkompatibel bis 10^-6 hPa

Verfügbar im PI Store

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L-611.991300V7

Präzisions-Rotationstisch, Schrittmotor, 35 mm Ø Apertur, vakuumkompatibel bis 10^-7 hPa

Verfügbar im PI Store

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L-611.991600V9

Präzisions-Rotationstisch, Schrittmotor, 35 mm Ø Apertur, vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

Verfügbar im PI Store

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