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A-63x PIglide RL Flacher Rotationstisch mit Luftlager

Reibungsfrei, motorisiert

A-63x PIglide RL Flacher Rotationstisch mit Luftlager
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Durchmesser Bewegungsplattform 200 mm oder 300 mm
  • Niedrige Bauhöhe, 60 mm
  • Exzentrizität und Ebenheit < 100 nm
  • Möglichkeit zur Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung

Produktübersicht

Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RL-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt und haben eine flache Bauform.

Verschiedene Optionen können zu einer Lösung kombiniert werden, die ideal für Punkt-zu-Punkt Indizierung oder Scannen mit konstanter Geschwindigkeit ist.

Die RL-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln.

3-Phasen-Torquemotor

  • Bürstenlos
  • Nutenlos
  • Geringes Rastmoment

Absolutencoder (optional)

Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.

Zubehör und Optionen

  • Inkrementeller oder absoluter Encoder
  • Vakuumdurchführung
  • Selbsthemmung im Stillstand durch magnetische Vorspannung
  • PIglide Filter und Druckregler
  • Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe
  • Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten
  • Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

Einsatzgebiete

Optische Justage, Waferinspektion, Waferjustage, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

Spezifikationen

Datenblatt A-63x

Version / Datum
2018-01-17
Dokumentsprache
pdf - 740 KB
pdf - 749 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt A-63x

Version / Datum
2018-01-17
Dokumentsprache
pdf - 740 KB
pdf - 749 KB

Dokumentation

Benutzerhandbuch A630D0001

A-63x Series Low Profile Rotary Air Bearing Stage PIglide RL, Direct-drive Torque Motor Driven with Encoder Feedback
Version / Datum
1.0 2018-03-02
Dokumentsprache Englisch
pdf - 1 MB

Angebot / Bestellung

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A-635.A100 NEW!
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 200 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, 31488 Striche/Umdrehung, Nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-635.B100 NEW!
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 200 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, 0,0015 μrad Sensorauflösung, Nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-637.A100 NEW!
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 300 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, 47200 Striche/Umdrehung, Nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor
A-637.B100 NEW!
PIglide RL Rotationstisch, Luftlager, 300 mm Durchmesser Bewegungsplattform, niedrige Bauhöhe, Absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, 0,0015 μrad Sensorauflösung, Nutenloser bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor

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