PICA Shear Scheraktor; PICA Shear piezoaktorischer Antrieb; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 3 mm × 3 mm Grundfläche; 2,2 mm Länge; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa; Betriebstemperatur bis -269 °C; lötbare Kontakte
PICA Shear Scheraktoren für kryogene Anwendungen
Kompakte Aktoren für kryogene und UHV-Umgebung
- UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
- Für kryogene Umgebung
- Sehr zuverlässig: >109 Zyklen
- Picometer-Auflösung
- µs-Ansprechzeit
Piezo-Scheraktoren
Betriebsspannung -250 bis 250 V. Geeignet für den Einsatz in kryogener Umgebung und UHV bis 10-9 hPa. Laterale Bewegung basiert auf dem piezoelektrischen Schereffekt. Hervorragende dynamische Eigenschaften bei minimalem elektrischem Leistungsbedarf.
Varianten für mehrachsige Bewegung, auch mit Innenbohrung.
Mögliche Modifikationen
- Piezokeramikmaterial
- Unmagnetische Ausführungen
- Spannungsbereich, Auslenkung, Lagendicke, Querschnittsabmessung
- Belastbarkeit, Krafterzeugung
- Endstücke: flach, sphärisch, Metall, Keramik, Glas, Saphir etc.
- Verringerte Längentoleranzen
Einsatzgebiete
- Industrie und Forschung
- Tieftemperatur- / Vakuumumgebung bis 10-9 hPa
- Scanning-Anwendungen
- Mikroskopie
- Präzisionsmechanik
- Schaltanwendungen
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | P-111.01T | P-111.03T | P-121.01T | P-121.03T | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | X | X | |
| Stellweg in X, ungeregelt | 1 µm | 3 µm | 1 µm | 3 µm | ±30 % |
| Antriebseigenschaften | P-111.01T | P-111.03T | P-121.01T | P-121.03T | Toleranz |
| Aktortyp | Scheraktor | Scheraktor | Scheraktor | Scheraktor | |
| Antriebstyp | PICA Shear | PICA Shear | PICA Shear | PICA Shear | |
| Betriebsspannung | -250 bis 250 V | -250 bis 250 V | -250 bis 250 V | -250 bis 250 V | |
| Elektrische Kapazität | 2 × 0,25 nF | 6 × 0,25 nF | 2 × 0,70 nF | 6 × 0,70 nF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-111.01T | P-111.03T | P-121.01T | P-121.03T | Toleranz |
| Axiale Steifigkeit | 110 N/µm | 55 N/µm | 310 N/µm | 150 N/µm | |
| Axiale Resonanzfrequenz, unbelastet | 530 kHz | 260 kHz | 530 kHz | 260 kHz | |
| Maximale Scherbelastung | 20 N | 20 N | 50 N | 50 N | |
| Querschnitt | rechteckig | rechteckig | rechteckig | rechteckig | |
| Material | Standardendstücke: Keramik (Al2O3, 96 % rein). Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik (Al2O3, 96 % rein). Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik (Al2O3, 96 % rein). Mantelfläche: Epoxidharz. | Standardendstücke: Keramik (Al2O3, 96 % rein). Mantelfläche: Epoxidharz. | |
| Piezomaterial | PIC255 | PIC255 | PIC255 | PIC255 | |
| Grundfläche A × B | 3 × 3 mm | 3 × 3 mm | 5 × 5 mm | 5 × 5 mm | |
| Länge L | 2,2 mm | 4,4 mm | 2,2 mm | 4,4 mm | ±0,3 mm |
| Anschlüsse und Umgebung | P-111.01T | P-111.03T | P-121.01T | P-121.03T | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -269 bis 85 °C | -269 bis 85 °C | -269 bis 85 °C | -269 bis 85 °C | |
| Vakuumklasse | 10⁻⁹ ǀ hPa | 10⁻⁹ ǀ hPa | 10⁻⁹ ǀ hPa | 10⁻⁹ ǀ hPa | |
| Anschluss | lötbare Kontakte | lötbare Kontakte | lötbare Kontakte | lötbare Kontakte | |
| Empfohlene Controller/Treiber | E-413.2 - E-413.6, E-413, E-508 | E-413.2 - E-413.6, E-413, E-508 | E-413.2 - E-413.6, E-413, E-508 | E-413.2 - E-413.6, E-413, E-508 |
Stellweg in X, ungeregelt: Gemessen bei Raumtemperatur. Wert reduziert sich bei tiefen Temperaturen.
Elektrische Kapazität: Gemessen bei 1 Vpp, 1 kHz, RT.
Axiale Resonanzfrequenz, unbelastet: Gemessen bei 1 Vpp, beidseitig frei. Bei einseitiger Einspannung halbiert sich der Wert.
Betriebstemperaturbereich: Kurzzeitiges Ausheizen bis 150 °C, nur im kurzgeschlossenen Zustand.
Standardanschlüsse: Ta-Kontaktierung mit leitfähigem Klebstoff möglich.
Andere Spezifikationen auf Anfrage.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ252
PICA Shear Piezoaktoren: P-111, P-112, P-121, P-122, P-123, P-141, P-142, P-143, P-151, P-152, P-153, kundenspezifische PICA Shear-Produkte
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PICA Shear Scheraktor; PICA Shear piezoaktorischer Antrieb; 3 µm Stellweg (ungeregelt); 3 mm × 3 mm Grundfläche; 4,4 mm Länge; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa; Betriebstemperatur bis -269 °C; lötbare Kontakte
PICA Shear Scheraktor; PICA Shear piezoaktorischer Antrieb; 1 µm Stellweg (ungeregelt); 5 mm × 5 mm Grundfläche; 2,2 mm Länge; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa; Betriebstemperatur bis -269 °C; lötbare Kontakte
PICA Shear Scheraktor; PICA Shear piezoaktorischer Antrieb; 3 µm Stellweg (ungeregelt); 5 mm × 5 mm Grundfläche; 4,4 mm Länge; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa; Betriebstemperatur bis -269 °C; lötbare Kontakte
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