P-733.3 XYZ-Piezonanopositionierer

Hochpräziser XYZ-Scanner mit Apertur

P-733.3 XYZ-Piezonanopositionierer
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  • Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X, Y und bis 10 µm in Z
  • Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
  • Hochgeschwindigkeitsversionen mit Direktantrieb
  • Ultrahochvakuumtaugliche und unmagnetische Versionen auf Anfrage
  • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
  • Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen

Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Konfokale Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Oberflächenmesstechnik
  • Nanoimprint
  • Mikromanipulation
  • Bildverarbeitung / -stabilisierung
  • Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-733.3

Version / Datum
2020-10-29
Version / Datum
2020-10-29
Dokumentsprache
pdf - 447 KB
pdf - 454 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-733.3

Version / Datum
2020-10-29
Version / Datum
2020-10-29
Dokumentsprache
pdf - 447 KB
pdf - 454 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ103

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
Dokumentsprache
Anfrage Downloadlink
Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx
Version / Datum
6.1.0 10/2019
Version / Datum
6.1.0 10/2019
Dokumentsprache
pdf - 1 MB
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3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-733 3D Modell

Anfrage Downloadlink

Broschüre

Broschüre

Mikroskoptisch-Konfigurator

Probentische und -halter für inverse Mikroskope
Version / Datum
BRO70E R3D
Dokumentsprache Englisch
pdf - 4 MB

Angebot / Bestellung

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Versionen mit D-Sub-Stecker

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