P-733.3 XYZ-Piezonanopositionierer

Hochpräziser XYZ-Scanner mit Apertur

  • Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X, Y und bis 10 µm in Z
  • Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
  • Hochgeschwindigkeitsversionen mit Direktantrieb
  • Ultrahochvakuumtaugliche und unmagnetische Versionen auf Anfrage
  • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
  • Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen
P-733.3 XYZ-Piezonanopositionierer
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Einsatzgebiete

  • Scanning-Mikroskopie
  • Konfokale Mikroskopie
  • Masken- / Waferpositionierung
  • Oberflächenmesstechnik
  • Nanoimprint
  • Mikromanipulation
  • Bildverarbeitung / -stabilisierung
  • Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

 

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt P-733.3

Version / Datum
2020-10-29
pdf - 447 KB
Version / Datum
2020-10-29
pdf - 454 KB

Downloads

Produktmitteilung

Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt P-733.3

Version / Datum
2020-10-29
pdf - 447 KB
Version / Datum
2020-10-29
pdf - 454 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ103

P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
pdf - 2 MB
Version / Datum
1.1.0 2020-10-26
pdf - 2 MB
Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum
6.1.0 10/2019
pdf - 1 MB
Version / Datum
6.1.0 10/2019
pdf - 1 MB

3-D-Modelle

3-D-Modelle

P-733 3D Modell

zip - 2 MB

Broschüre

Broschüre

Mikroskoptisch-Konfigurator

Probentische und -halter für inverse Mikroskope

Version / Datum
BRO70E R3D
pdf - 4 MB
Englisch

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