P-620.2 – P-629.2 PIHera Piezokreuztisch

Hochpräziser XY-Nanopositionierer mit variablen Stellwegen

P-620.2 – P-629.2 PIHera Piezokreuztisch

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Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

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Datenblatt

Datenblatt P-620.2 – P-629.2

Version / Datum

2019-12-10

Version / Datum

2019-12-11

Version / Datum

2018-05-17

Version / Datum

2018-07-03

Dokumentsprache

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	P-620.2CD P-620.2CL	P-621.2CD P-621.2CL	P-622.2CD P-622.2CL	P-625.2CD P-625.2CL	P-628.2CD P-628.2CL	P-629.2CD P-629.2CL	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	X, Y	X, Y	X, Y	X, Y	X, Y	X, Y

Bewegung und Positionieren	P-620.2CD P-620.2CL	P-621.2CD P-621.2CL	P-622.2CD P-622.2CL	P-625.2CD P-625.2CL	P-628.2CD P-628.2CL	P-629.2CD P-629.2CL	Einheit	Toleranz
Integrierter Sensor	Kapazitiv	Kapazitiv	Kapazitiv	Kapazitiv	Kapazitiv	Kapazitiv
Stellweg in X, Y bei -20 bis 120 V, ungeregelt	60	120	300	600	950	1800	µm	+20 % / -0 %
Stellweg in X, Y, geregelt	50	100	250	500	800	1500	µm
Auflösung in X, Y, ungeregelt	0,1	0,2	0,4	0,5	0,5	2	nm	typ.
Auflösung in X, Y, geregelt	0,2	0,4	0,7	1,4	3,5	3,5	nm	typ.
Linearitätsabweichung in X, Y	0,02	0,02	0,02	0,03	0,03*	0,03**	%	typ.
Wiederholgenauigkeit in X, Y	±2	±2	±2	±5	±10	±14	nm	typ.
Neigen / Gieren	±3	±3	±3	±3 / ±5	±20 / ±5	±30 / ±5	µrad	typ.

Mechanische Eigenschaften	P-620.2CD P-620.2CL	P-621.2CD P-621.2CL	P-622.2CD P-622.2CL	P-625.2CD P-625.2CL	P-628.2CD P-628.2CL	P-629.2CD P-629.2CL	Einheit	Toleranz
Steifigkeit in X,Y	0,22	0,25	0,2	0,1	0,05	0,1	N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	575	420	225	135	75	60	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, unbelastet	800	535	300	195	105	100	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet, 50 g	270	285	180	120	60	55	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet, 50 g	395	365	215	150	85	85	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet,100 g	285	220	160	105	55	50	Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet, 100 g	300	285	175	125	75	80	Hz	±20 %
Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung	10 / 5	10 / 8	10 / 8	10 / 8	10 / 8	10 / 8	N	max.
Belastbarkeit	10	10	10	10	10	10	N	max.
Querbelastbarkeit	10	10	10	10	10	10	N	max.

Antriebseigenschaften	P-620.2CD P-620.2CL	P-621.2CD P-621.2CL	P-622.2CD P-622.2CL	P-625.2CD P-625.2CL	P-628.2CD P-628.2CL	P-629.2CD P-629.2CL	Einheit	Toleranz
Piezokeramik	PICMA® P-883	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-885	PICMA® P-887	PICMA® P-888
Elektrische Kapazität in X, Y	0,35	1,5	3,1	6,2	19	52	µF	±20 %

Anschlüsse und Umgebung	P-620.2CD P-620.2CL	P-621.2CD P-621.2CL	P-622.2CD P-622.2CL	P-625.2CD P-625.2CL	P-628.2CD P-628.2CL	P-629.2CD P-629.2CL	Einheit	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	-20 bis 80	°C
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Abmessungen	30 mm × 30 mm × 21,5 mm	40 mm × 40 mm × 25 mm	50 mm × 50 mm × 25 mm	60 mm × 60 mm × 25 mm	80 mm × 80 mm × 30 mm	100 mm × 100 mm × 40 mm
Masse	0,195	0,295	0,348	0,43	0,7	1,37	kg	±5 %
Kabellänge	1,5	1,5	1,5	1,5	1,5	1,5	m	±10 mm
Sensor- / Spannungsanschluss	CD-Versionen: D-Sub 7W2 (m) CL-Versionen: LEMO	CD-Versionen: D-Sub 7W2 (m) CL-Versionen: LEMO	CD-Versionen: D-Sub 7W2 (m) CL-Versionen: LEMO	CD-Versionen: D-Sub 7W2 (m) CL-Versionen: LEMO	CD-Versionen: D-Sub 7W2 (m) CL-Versionen: LEMO	CD-Versionen: D-Sub 7W2 (m) CL-Versionen: LEMO
Empfohlene Elektroniken	E-503, E-505, E-663, E-712, E-727.x • E-727.xAP, E-727.xF	E-503, E-505, E-663, E-712, E-727.x • E-727.xAP, E-727.xF	E-503, E-505, E-663, E-712, E-727.x • E-727.xAP, E-727.xF	E-503, E-505, E-663, E-712, E-727.x • E-727.xAP, E-727.xF	E-503, E-505, E-663, E-712, E-727.x • E-727.xAP, E-727.xF	E-503, E-505, E-663, E-712, E-727.x • E-727.xAP, E-727.xF

^*Mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,05 %.

^** Mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,08 %.

X: untere Achse; Y: obere Achse.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Versionen ohne Sensor sind unter den Bestellnummern P-62x.20L erhältlich; Betriebstemperaturbereich -20 bis 150 °C; Spannungsanschluss LEMO.

Vakuumversionen bis 10^-9hPa sind unter den Bestellnummern P-62x.2UD erhältlich.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

Version / Datum

2021-04-19

Dokumentsprache Englisch

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Datenblatt

Datenblatt P-620.2 – P-629.2

Version / Datum

2019-12-10

Version / Datum

2019-12-11

Version / Datum

2018-05-17

Version / Datum

2018-07-03

Dokumentsprache

pdf - 417 KB

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pdf - 859 KB

Dokumentation

Kurzanleitung PZ240

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Version / Datum

6.1.0 10/2019

Dokumentsprache

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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ234

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum

1.2.0 2020-05-13

Version / Datum

1.2.0 2020-05-13

Dokumentsprache

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3-D-Modelle

P-62x.2 STEP

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P-620.2CD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 50 µm × 50 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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P-621.2CD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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P-622.2CD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 250 µm × 250 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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P-625.2CD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 500 µm × 500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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P-628.2CD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 800 µm × 800 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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P-629.2CD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1500 µm × 1500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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P-620.2CL

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 50 µm × 50 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

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P-621.2CL

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

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P-622.2CL

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 250 µm × 250 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

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P-625.2CL

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 500 µm × 500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

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P-628.2CL

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 800 µm × 800 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

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P-629.2CL

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1500 µm × 1500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

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P-620.20L

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 60 µm × 60 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

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P-621.20L

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 120 µm × 120 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

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P-622.20L

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 300 µm × 300 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

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P-625.20L

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 600 µm × 600 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

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P-628.20L

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1000 µm × 1000 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

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P-629.20L

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1800 µm × 1800 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

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P-620.2UD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 50 µm × 50 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

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P-621.2UD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

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P-622.2UD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 250 µm × 250 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

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P-625.2UD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 500 µm × 500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

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P-628.2UD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 800 µm × 800 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

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P-629.2UD

Präzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1500 µm × 1500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

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