P-620.20L
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 60 µm × 60 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker
P-620.2 – P-629.2 PIHera Piezokreuztisch
Hochpräziser XY-Nanopositionierer mit variablen Stellwegen
- Stellwege 50 bis 1800 µm
- Auflösung bis 0,1 nm
- Positioniergenauigkeit 0,02 %
- Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren
- X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen
P-62x.2CD/.2CL/.20L, Abmessungen in mm.
P-620.2 – P-629.2 PIHera Piezokreuztisch
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Einsatzgebiete
- Interferometrie
- Mikroskopie
- Nanopositionierung
- Biotechnologie
- Prüfverfahren und Qualitätssicherung
- Photonik
- Faserpositionierung
- Halbleitertechnik
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
Klicken Sie in die Tabelle und nutzen Sie die Pfeiltasten auf Ihrer Tastatur, um nach links und rechts zu scrollen.
| Bewegen | P-620.20L | P-620.2CD | P-620.2CL | P-621.20L | P-621.2CD | P-621.2CL | P-622.20L | P-622.2CD | P-622.2CL | P-625.20L | P-625.2CD | P-625.2CL | P-628.20L | P-628.2CD | P-628.2CL | P-629.2CD | P-629.2CL | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | X Y | |
| Stellweg in X, ungeregelt | 60 µm | 60 µm | 60 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 300 µm | 300 µm | 300 µm | 600 µm | 600 µm | 600 µm | 1000 µm | 1000 µm | 1000 µm | 1800 µm | 1800 µm | ±20 % |
| Stellweg in Y, ungeregelt | 60 µm | 60 µm | 60 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 300 µm | 300 µm | 300 µm | 600 µm | 600 µm | 600 µm | 1000 µm | 1000 µm | 1000 µm | 1800 µm | 1800 µm | ±20 % |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y) | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 30 µrad | ± 30 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 30 µrad | ± 30 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y) | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Stellweg in X | 50 µm | 50 µm | 100 µm | 100 µm | 250 µm | 250 µm | 500 µm | 500 µm | 800 µm | 800 µm | 1500 µm | 1500 µm | ||||||
| Stellweg in Y | 50 µm | 50 µm | 100 µm | 100 µm | 250 µm | 250 µm | 500 µm | 500 µm | 800 µm | 800 µm | 1500 µm | 1500 µm | ||||||
| Linearitätsabweichung in X | 0,02 % | 0,02 % | 0,02 % | 0,02 % | 0,02 % | 0,02 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | typ. | |||||
| Linearitätsabweichung in Y | 0,02 % | 0,02 % | 0,02 % | 0,02 % | 0,02 % | 0,02 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | typ. | |||||
| Positionieren | P-620.20L | P-620.2CD | P-620.2CL | P-621.20L | P-621.2CD | P-621.2CL | P-622.20L | P-622.2CD | P-622.2CL | P-625.20L | P-625.2CD | P-625.2CL | P-628.20L | P-628.2CD | P-628.2CL | P-629.2CD | P-629.2CL | Toleranz |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,1 nm | 0,1 nm | 0,1 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,4 nm | 0,4 nm | 0,4 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 2 nm | 2 nm | typ. |
| Auflösung in Y, ungeregelt | 0,1 nm | 0,1 nm | 0,1 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,4 nm | 0,4 nm | 0,4 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 0,5 nm | 2 nm | 2 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | ||||||
| Systemauflösung in X | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,4 nm | 0,4 nm | 0,7 nm | 0,7 nm | 1,4 nm | 1,4 nm | 3,5 nm | 3,5 nm | 3,5 nm | 3,5 nm | ||||||
| Systemauflösung in Y | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,4 nm | 0,4 nm | 0,7 nm | 0,7 nm | 1,4 nm | 1,4 nm | 3,5 nm | 3,5 nm | 3,5 nm | 3,5 nm | ||||||
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 5 nm | ± 5 nm | ± 10 nm | ± 10 nm | ± 14 nm | ± 14 nm | typ. | |||||
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 5 nm | ± 5 nm | ± 10 nm | ± 10 nm | ± 14 nm | ± 14 nm | typ. | |||||
| Antriebseigenschaften | P-620.20L | P-620.2CD | P-620.2CL | P-621.20L | P-621.2CD | P-621.2CL | P-622.20L | P-622.2CD | P-622.2CL | P-625.20L | P-625.2CD | P-625.2CL | P-628.20L | P-628.2CD | P-628.2CL | P-629.2CD | P-629.2CL | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität in X | 0,35 µF | 0,35 µF | 0,35 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | 3,1 µF | 3,1 µF | 3,1 µF | 6,2 µF | 6,2 µF | 6,2 µF | 19 µF | 19 µF | 19 µF | 52 µF | 52 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Y | 0,35 µF | 0,35 µF | 0,35 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | 3,1 µF | 3,1 µF | 3,1 µF | 6,2 µF | 6,2 µF | 6,2 µF | 19 µF | 19 µF | 19 µF | 52 µF | 52 µF | ±20 % |
| Maximale Betriebsfrequenz kurzzeitig | 267 Hz | 267 Hz | 267 Hz | 178 Hz | 178 Hz | 178 Hz | 100 Hz | 100 Hz | 100 Hz | 65 Hz | 65 Hz | 65 Hz | 35 Hz | 35 Hz | 35 Hz | 33 Hz | 33 Hz | |
| Mechanische Eigenschaften | P-620.20L | P-620.2CD | P-620.2CL | P-621.20L | P-621.2CD | P-621.2CL | P-622.20L | P-622.2CD | P-622.2CL | P-625.20L | P-625.2CD | P-625.2CL | P-628.20L | P-628.2CD | P-628.2CL | P-629.2CD | P-629.2CL | Toleranz |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Steifigkeit in X | 0,22 N/µm | 0,22 N/µm | 0,22 N/µm | 0,25 N/µm | 0,25 N/µm | 0,25 N/µm | 0,2 N/µm | 0,2 N/µm | 0,2 N/µm | 0,1 N/µm | 0,1 N/µm | 0,1 N/µm | 0,05 N/µm | 0,05 N/µm | 0,05 N/µm | 0,1 N/µm | 0,1 N/µm | ±20 % |
| Steifigkeit in Y | 0,22 N/µm | 0,22 N/µm | 0,22 N/µm | 0,25 N/µm | 0,25 N/µm | 0,25 N/µm | 0,2 N/µm | 0,2 N/µm | 0,2 N/µm | 0,1 N/µm | 0,1 N/µm | 0,1 N/µm | 0,05 N/µm | 0,05 N/µm | 0,05 N/µm | 0,1 N/µm | 0,1 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g | 270 Hz | 270 Hz | 270 Hz | 220 Hz | 220 Hz | 220 Hz | 160 Hz | 160 Hz | 160 Hz | 105 Hz | 105 Hz | 105 Hz | 55 Hz | 55 Hz | 55 Hz | 50 Hz | 50 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 50 g | 285 Hz | 285 Hz | 285 Hz | 285 Hz | 285 Hz | 285 Hz | 180 Hz | 180 Hz | 180 Hz | 120 Hz | 120 Hz | 120 Hz | 60 Hz | 60 Hz | 60 Hz | 55 Hz | 55 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 575 Hz | 575 Hz | 575 Hz | 420 Hz | 420 Hz | 420 Hz | 225 Hz | 225 Hz | 225 Hz | 135 Hz | 135 Hz | 135 Hz | 75 Hz | 75 Hz | 75 Hz | 60 Hz | 60 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g | 300 Hz | 300 Hz | 300 Hz | 285 Hz | 285 Hz | 285 Hz | 175 Hz | 175 Hz | 175 Hz | 125 Hz | 125 Hz | 125 Hz | 75 Hz | 75 Hz | 75 Hz | 80 Hz | 80 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 50 g | 395 Hz | 395 Hz | 395 Hz | 365 Hz | 365 Hz | 365 Hz | 215 Hz | 215 Hz | 215 Hz | 150 Hz | 150 Hz | 150 Hz | 85 Hz | 85 Hz | 85 Hz | 85 Hz | 85 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 800 Hz | 800 Hz | 800 Hz | 535 Hz | 535 Hz | 535 Hz | 300 Hz | 300 Hz | 300 Hz | 195 Hz | 195 Hz | 195 Hz | 105 Hz | 105 Hz | 105 Hz | 100 Hz | 100 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 5 N | 5 N | 5 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 5 N | 5 N | 5 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | 8 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Gesamtmasse | 195 g | 195 g | 195 g | 295 g | 295 g | 295 g | 348 g | 348 g | 348 g | 430 g | 430 g | 430 g | 700 g | 700 g | 700 g | 1370 g | 1370 g | |
| Material | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-620.20L | P-620.2CD | P-620.2CL | P-621.20L | P-621.2CD | P-621.2CL | P-622.20L | P-622.2CD | P-622.2CL | P-625.20L | P-625.2CD | P-625.2CL | P-628.20L | P-628.2CD | P-628.2CL | P-629.2CD | P-629.2CL | Toleranz |
| Anschluss | LEMO LVPZT | 2 × D-Sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | LEMO LVPZT | 2 × D-Sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | LEMO LVPZT | 2 × D-Sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | LEMO LVPZT | 2 × D-Sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | LEMO LVPZT | 2 × D-Sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | 2 × D-Sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-505, E-663 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-663 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-663 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-663 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-663 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-621, E-712, E-727 | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 150 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 150 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 150 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 150 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 150 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Sensoranschluss | LEMO für kapazitive Sensoren | LEMO für kapazitive Sensoren | LEMO für kapazitive Sensoren | LEMO für kapazitive Sensoren | LEMO für kapazitive Sensoren | LEMO für kapazitive Sensoren |
P-628.2CD / P-628.2CL: Linearitätsabweichung in X, Y (typ.) 0,03 % mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,05 %.
P-629.2CD / P-629.2CL: Linearitätsabweichung in X, Y (typ.) 0,03 % mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,08 %.
X: untere Achse; Y: obere Achse.
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
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Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ234
P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
1.3.0 2021-11-03
pdf - 3 MB
Version / Datum
1.3.0 2021-11-03
pdf - 3 MB
3-D-Modelle
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P-620.2CD
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 50 µm × 50 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
P-620.2CL
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 50 µm × 50 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker
P-621.20L
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Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 250 µm × 250 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker
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Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 600 µm × 600 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker
P-625.2CD
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 500 µm × 500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
P-625.2CL
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 500 µm × 500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker
P-628.20L
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 1000 µm × 1000 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker
P-628.2CD
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 800 µm × 800 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
P-628.2CL
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 800 µm × 800 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker
P-629.2CD
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 1500 µm × 1500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker
P-629.2CL
Präziser PIHera XY-Nanopositionierer, 1500 µm × 1500 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker
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Hohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.
Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.
Kapazitive Sensoren
Präzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.