P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer
Produktbeschreibung Spezifikationen Downloads Angebot / Bestellung
  • Stellwege 50 µm bis 250 µm (350 µm ungeregelt)
  • Auflösung bis 0,1 nm
  • Linearitätsabweichung nur 0,02 %
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
  • X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen

Einsatzgebiete

  • Interferometrie
  • Mikroskopie
  • Nanopositionierung
  • Biotechnologie
  • Testanwendungen
  • Halbleitertechnik

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Spezifikationen

Datenblatt P-620.Z – P-622.Z

Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-04-13
Version / Datum
2018-06-13
Dokumentsprache
pdf - 657 KB
pdf - 1 MB
pdf - 747 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-620.Z – P-622.Z

Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-04-13
Version / Datum
2018-06-13
Dokumentsprache
pdf - 657 KB
pdf - 1 MB
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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ234

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
1.1.0 2018-08-07
Version / Datum
1.1.0 2018-08-07
Dokumentsprache
pdf - 3 MB
pdf - 3 MB

Kurzanleitung PZ240EKDK

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
Version / Datum
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

3-D-Modelle

P-62x.Z 3D Modell

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