P-620.1 – P-629.1 PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

P-620.1 – P-629.1 PIHera Linearer Präzisionspositionierer
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Einsatzgebiete

  • Interferometrie
  • Mikroskopie
  • Nanopositionierung
  • Biotechnologie
  • Testanwendungen
  • Halbleitertechnik
  • Photonik
  • Faserpositionierung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Spezifikationen

Datenblatt P-620.1 – P-629.1

Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-04-13
Version / Datum
2018-06-06
Version / Datum
2018-06-08
Dokumentsprache
pdf - 801 KB
pdf - 995 KB
pdf - 891 KB
pdf - 969 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt P-620.1 – P-629.1

Version / Datum
2018-04-16
Version / Datum
2018-04-13
Version / Datum
2018-06-06
Version / Datum
2018-06-08
Dokumentsprache
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Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ234

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
1.1.0 2018-08-07
Version / Datum
1.1.0 2018-08-07
Dokumentsprache
pdf - 3 MB
pdf - 3 MB

Kurzanleitung PZ240

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme
Version / Datum
5.0.0
pdf - 908 KB

3-D-Modelle

P-62x.1 STEP

Version / Datum
---

Whitepapers & Success Stories

Success Story: Optische 3D-Oberflächenmesstechnik

Profiltreue Wiedergabe feinster Strukturen dank Piezotechnologie und Konfokaltechnik. Autor: Gernot Hamann
Version / Datum
pi1135
Version / Datum
pi1135
Dokumentsprache
pdf - 709 KB
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Linearpositionierer ohne Positionssensor

Linearpositionierer, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

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