Piezo-Nanopositioniertische

Piezopositioniertische mit Festkörperführung von PI vereinen sub-Nanometer Auflösung und Führungsgenauigkeit mit minimalem Übersprechen. Das macht sie ideal geeignet für Anwendungen z.B. in der Messtechnik, Interferometrie oder für Inspektionssysteme in der Halbleiterproduktion. Die Piezotische gibt es für Präzisionspositionierung mit Einschwingzeiten von wenigen Millisekunden und dynamisches Scannen mit mehreren Hundert Hertz in bis zu sechs Freiheitsgraden.

Die einzigartige Kombination des PI-eigenen Sensordesigns, reibungsfreien Festkörpergelenken und den besonders zuverlässigen PICMA® Piezoaktoren steht für die herausragende und robuste Mechanik. Die speziellen Motion Controller optimieren Positionier- und Scanvorgänge, und lassen sich bequem über verschiedene analoge und digitale Schnittstellen und leicht verständliche Programmieroberflächen einbinden. 

Multi-Axis Piezo Flexure Stages

Mehrachsen-Piezotische

PIFOC® Objective & PInano® Sample Scanners for Microscopy

PIFOC® Objektivscanner & PInano® Probentische für die Mikroskopie

Positioniersystem, basierend auf piezoelektrischen Aktoren mit einem Stellweg von 250 µm und einer Wiederholgenauigkeit um 1 nm.

Piezo-Lineartische

Piezo Flexure Tilting Mirrors

Piezokippspiegel

XY Piezo Flexure Stages

Piezokreuztische

XYZ Piezo Flexure Scanners

XYZ-Piezoscanner

3-Achs-Nanopositionier-Scanner für maximale Präzision