Piezo-Nanopositioniertische

Piezopositioniertische mit Festkörperführung von PI vereinen sub-Nanometer Auflösung und Führungsgenauigkeit mit minimalem Übersprechen. Das macht sie ideal geeignet für Anwendungen z.B. in der Messtechnik, Interferometrie oder für Inspektionssysteme in der Halbleiterproduktion. Die Piezotische gibt es für Präzisionspositionierung mit Einschwingzeiten von wenigen Millisekunden und dynamisches Scannen mit mehreren hunter Hertz in bis zu 6 Freiheitsgraden.

Die einzigartige Kombination des PI-eigenen Sensordesigns, reibungsfreien Festkörpergelenken und den besonders zuverlässigen PICMA® Piezoaktoren steht für die herausragende und robuste Mechanik. Die speziellen Motion Controller optimieren Positionier- und Scanvorgänge, und lassen sich bequem über verschiedene analoge und digitale Schnittstellen und leicht verständliche Programmieroberflächen einbinden.