P-587 6-Achsen-Piezopräzisionsversteller

Große Stellwege, mit direkter Positionsmessung

PI P-587
Zum Positionieren und Scannen in X, Y, Z, θX, θY, θZ
Linearstellweg 800 µm × 800 µm × 200 µm
Rotation bis 1 mrad
Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
Kapazitive Sensoren für höchste Linearität
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Aktive Kompensation in allen 6 Freiheitsgraden


P-587.6CD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y, Z, θX, θY, θZ


Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Stellweg in X, Y, geregelt

800

µm

Stellweg in Z, geregelt

200

µm

Kippwinkel in θX, θY, geregelt

±0,5

mrad

Kippwinkel in θZ, geregelt

±0,5

mrad

Auflösung in X, Y, ungeregelt / geregelt

0,9 / 2,2

nm

typ.

Auflösung in Z, ungeregelt / geregelt

0,4 / 0,7

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, ungeregelt / geregelt

0,05 / 0,1

µrad

typ.

Auflösung in θZ, ungeregelt / geregelt

0,1 / 0,3

µrad

typ.

Linearitätsabweichung in X, Y, Z

0,01

%

typ.

Linearitätsabweichung in θX, θY, θZ

0,1

%

typ.

Wiederholgenauigkeit in X, Y

±3

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit in Z

±2

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit in θX, θY

±0,1

µrad

typ.

Wiederholgenauigkeit in θZ

±0,15

µrad

typ.

Ebenheit

<15

nm

typ.

Steifigkeit in X / Y / Z

0,55 / 0,55 / 1,35

N / µm

Resonanzfrequenz unbelastet in X / Y / Z

103 / 103 / 235

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 500 g

88 / 88 / 175

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 2000 g

65 / 65 / 118

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

50 / 10

N

max.


Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA®

Elektrische Kapazität in X / Y / Z

81 / 81 / 18,4

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) in X, Y, θZ

12,6

µA/(Hz × µm)

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) in Z, θX, θY

11,5

µA/(Hz × µm)

±20 %


Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Abmessungen

240 mm × 240 mm × 50 mm

Masse

7,2

kg

±5 %

Kabellänge

3,0

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

2 × D-Sub-Spezial

Empfohlene Controller / Verstärker

E-712.6CD Digitalcontroller

Der maximale Rotationswinkel in θZ beträgt 8 mrad, die Kippwinkel in X und Y betragen 3 mrad.

Aufgrund der Parallelkinematik ist in der Extremposition der Kippwinkel keine lineare Bewegung in X oder Y gleichzeitig möglich.

Zeichnungen / Bilder

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Datenblatt

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PI Datenblatt P-587

6-Achsen-Piezopräzisionsversteller große Stellwege, mit direkter Positionsmessung
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Dokumentation

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Benutzerhandbuch PZ251

P-587.6CD 6-Achsen-Nanopositioniersystem mit kapazitiven Sensoren
1.0.0
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